【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆切割装置,其特征在于,包括晶圆承载平台、L形可伸缩支架、晶圆固定框架、滚轮和切割刀,所述切割刀固定在所述L形可伸缩支架的顶端,所述晶圆承载平台连接在所述L形可伸缩支架的中间位置,所述晶圆承载平台上覆盖有粘性膜,所述晶圆固定框架设置于所述晶圆承载平台上,用以固定待切割晶圆,所述滚轮安装于所述晶圆承载平台一侧,用以在使用所述切割刀切割待切割晶圆后对待切割晶圆实施压力,从而将待切割晶圆分割为若干晶粒。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘思佳,
申请(专利权)人:苏州凯锝微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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