用于从衬底去除静电的设备和方法技术

本申请提供了用于从衬底去除静电的设备和方法。该设备包括：真空室；安装在真空室之内的衬底台；以及安装在真空室之内并与衬底台物理分离的第一电极和第二电极，其中，通过施加至第一电极和第二电极不同的电压在第一电极和第二电极之间形成电场，衬底台的至少一部分放置在电场之内。

【技术实现步骤摘要】
用于从衬底去除静电的设备和方法本申请要求于2013年10月10日向韩国知识产权局提交的第10-2013-0120653号韩国专利申请的优先权，其全部公开通过引用并入本文。
本专利技术涉及用于从衬底去除静电的设备和方法。
技术介绍
用于显示器（例如有机发光显示器、液晶显示器和等离子体显示器）的衬底在成为成品之前需要经过多个制造处理。例如，用于显示器的衬底经过处于大气状态的处理室、处于真空状态的处理室和处于真空状态的负载锁止室。在处于大气状态的处理室中存在许多气体分子，这些气体分子受外力作用而流动。另一方面，在处于真空状态的处理室和处于真空状态的负载锁止室中存在很少量的气体分子。由于这些室中的极小量的气体分子（如果存在的话），所以实际上没有气体分子流动。当经过处于大气状态的处理室、处于真空状态的处理室和处于真空状态的负载锁止室时，用于显示器的衬底会受到由周围使用在处理中的元件产生的静电的影响。因为气体分子在处于大气状态的处理室中流动，所以可通过使用离子发生器向流动的气体分子提供离子而从供给至处于大气状态的处理室中的衬底去除静电。也就是说，由离子发生器提供的离子可使流动的气体分子离子化，当离子化的气体分子到达衬底的带有静电的一部分时可中和衬底的该部分。然而，用于从供给至处于大气状态的处理室中的衬底去除静电的离子发生器仅在存在气体分子流动时才能去除衬底的静电。因此，很难使用离子发生器从处于真空状态的处理室和处于真空状态的负载锁止室中的衬底去除静电，其中该处理室和该负载锁止室中没有气体分子流动。除非静电被有效地去除，否则衬底的质量会受静电影响而下降。
技术实现思路
本专利技术的方面提供了用于从衬底去除静电的设备，该设备能够通过中和及因此去除衬底的静电来防止真空中的衬底被静电损坏。本专利技术的方面还提供了用于从衬底去除静电的方法，该方法能够通过中和及因此去除衬底的静电来防止真空中的衬底被静电损坏。然而，本专利技术的方面并不限制于本文所阐述的方面。通过参考下面给出的本专利技术的详细描述，本专利技术的上述及其他方面对于本专利技术所属领域的技术人员而言将变得显而易见。根据本专利技术的一方面，提供了用于从衬底去除静电的设备。该设备包括：真空室，衬底台，以及第一电极和第二电极，其中衬底台安装在真空室之内，第一电极和第二电极安装在真空室之内并与衬底台物理地分离，其中通过施加至第一电极和第二电极的不同的电压而在第一电极和第二电极之间形成电场，并且衬底台的至少一部分放置在电场之内。正电压可施加至第一电极，负电压可施加至第二电极，其中，正电压的绝对值可等于负电压的绝对值。多个第一电极和多个第二电极可沿衬底台的第一方向交替布置，以形成包括两个或更多电极的一列。衬底台可被配置为沿与第一方向垂直的第二方向移动。在第一方向上，最靠外的第一电极与最靠外的第二电极之间的距离可小于或大于放置在衬底台上的衬底的宽度。在与第一方向垂直的第二方向上，第一电极和第二电极中每个的宽度可小于放置在衬底台上的衬底的宽度的一半。该设备还可包括杆形固定单元，多个联接器，供能单元，以及控制单元，其中杆形固定单元安装在真空室之内并且上述一列固定至杆形固定单元；多个联接器安装在真空室之内并分别联接至第一电极和第二电极，且通过螺栓联接至固定单元，以使得其能够沿固定单元移动；供能单元安装在真空室之外，并电连接至第一电极和第二电极中每个，以将不同的电压施加至第一电极和第二电极；以及控制单元控制供能单元的电压施加。可在与第一方向垂直的第二方向上设置多个上述一列。在第二方向上，最靠外的第一电极与最靠外的第二电极之间的距离可等于或大于放置在衬底台上的衬底的宽度。多个第一电极和多个第二电极可沿衬底台的第一方向交替布置，以形成包括两个或更多电极的一列，并沿与第一方向垂直的第二方向延伸。在第二方向上，第一电极和第二电极中每个的长度可等于或大于放置在衬底台上的衬底的宽度。该设备还包括板形固定单元，供能单元，以及控制单元，其中板形固定单元安装在真空室之内且第一电极和第二电极固定在其上；供能单元安装在真空室之外，并电连接至第一电极和第二电极中的每一个，以及将不同的电压施加至第一电极和第二电极；以及控制单元控制供能单元的电压施加。真空室可为处理室，在处理室中进行制造放置在衬底台上的衬底的处理，其中衬底台可为静电夹具。真空室可为负载锁止室，其提供在进行制造放置在衬底台上的衬底的处理之前或之后衬底处于其中待用的空间，其中衬底台可为辊。根据本专利技术的另一方面，提供了用于从衬底去除静电的方法。该方法可包括：在第一电极和第二电极下放置安装在衬底台上的衬底的至少一部分，衬底台安装在真空室之内，第一电极和第二电极安装在真空室之内并与衬底台物理地分离；以及通过向第一电极和第二电极施加不同的电压在第一电极和第二电极之间形成电场。形成电场可包括通过沿第二方向水平移动衬底台来水平移动衬底，第二方向垂直于第一电极并且第一电极和第二电极布置在第一方向上。形成电场可在衬底离开真空室之前进行。在衬底离开真空室之前可以是立即在衬底与衬底台分离之前。附图说明通过参照附图对示例性实施方式进行详细描述，本专利技术的上述及其他方面和特征将变得显而易见，在附图中：图1为根据本专利技术实施方式的用于从衬底去除静电的设备的剖视图；图2为示出了一些元件以解释使用图1所示的第一电极与第二电极之间的电场从衬底去除静电的原理的剖视图；图3为图1所示的第一电极、第二电极和衬底的立体图；图4为图3所示的第一电极、第二电极和固定单元的仰视图；图5为示出第一电极、第二电极和衬底之间的位置关系的剖视图；图6为示出图3所示的第一电极、第二电极和衬底之间的另一位置关系的剖视图；图7为示出第一电极和第二电极的与图4的布置不同的另一布置的仰视图；图8为图3所示的第一电极、第二电极和衬底的另一示例的立体图；图9为图8所示的第一电极、第二电极和固定单元的仰视图；图10为图3所示的第一电极、第二电极和衬底的另一示例的立体图；图11为图10所示的第一电极、第二电极和固定单元的仰视图；以及图12为根据本专利技术另一实施方式的用于从衬底去除静电的设备的剖视图。具体实施方式通过参照附图以及下文中示例性实施方式的详细描述，可以更容易地理解本专利技术的优点和特征以及实现这些的方法。然而，本专利技术能够以多种不同形式实现并且不应解释为限于本文中公开的实施方式。提供这些实施方式旨在使本公开透彻且完整并能够向本领域技术人员全面表达本专利技术的构思，本专利技术将仅由所附的权利要求限定。应理解，当元件或层被称为位于另一元件或层“上”时，元件或层可直接位于另一元件或层上或存在插入的元件或层之间。在全文中相同的参考标记指示相同的元件。应理解，虽然本文可使用用语第一、第二、第三等以描述各个元件，但这些元件不应由这些用语限制。这些用语仅用于将本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于从衬底去除静电的设备，包括：真空室；衬底台，安装在所述真空室之内；以及第一电极和第二电极，安装在所述真空室之内并与所述衬底台物理地分离，其中，通过施加至所述第一电极和所述第二电极的不同电压，所述第一电极和所述第二电极之间形成有电场，以及所述衬底台的至少一部分放置在所述电场之内。

【技术特征摘要】
2013.10.10 KR 10-2013-01206531.一种用于从衬底去除静电的设备，包括：
真空室；
衬底台，安装在所述真空室之内；以及
第一电极和第二电极，安装在所述真空室之内并与所述衬底台物理地分离，
其中，通过施加至所述第一电极和所述第二电极的不同电压，在所述衬底与所述衬底台刚要分离之前的时刻，在所述第一电极和所述第二电极之间形成电场，以及所述衬底台的至少一部分放置在所述电场之内以通过所述电场从所述衬底去除静电。


2.如权利要求1所述的设备，其中，
多个所述第一电极和多个所述第二电极沿所述衬底台的第一方向交替布置，以形成包括两个或更多电极的一列，
所述衬底台配置为沿与所述第一方向垂直的第二方向移动。


3.如权利要求2所述的设备，其中，在所述第一方向上，最靠外的第一电极与最靠外的第二电极之间的距离小于或大于放置在所述衬底台上的衬底的宽度。


4.如权利要求2所述的设备，其中，在与所述第一方向垂直的所述第二方向上，所述第一电极和所述第二电极中每个的宽度小于放置在所述衬底台上的所述衬底的宽度的一半。


5.如权利要求2所述的设备，还包括：
杆形固定单元，安装在所述真空室之内，并且所述一列固定在其上；
多个联接器，安装在所述真空室之内，并分别联接至所述第一电极和所述第二电极，且通过螺栓联接至所述杆形固定单元，以使得其能够沿所述杆形固定单元移动；
供能单元，安装在所述真空室之外，并电连接至所述第一电极和所述第二电极中的每个，以将不同的电压施加至所述第一电极和所述第二电极；以及
控制单元，控制所述供能单元的电压施加。


6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东勳，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR