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本申请提供了用于从衬底去除静电的设备和方法。该设备包括：真空室；安装在真空室之内的衬底台；以及安装在真空室之内并与衬底台物理分离的第一电极和第二电极，其中，通过施加至第一电极和第二电极不同的电压在第一电极和第二电极之间形成电场，衬底台的至少...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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