物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体制造技术

本发明专利技术提供物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体，其灵敏度优良。物理量传感器(1)的特征在于，其具有：基板(6)，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜部(64)；固定电极(71)，其设置在隔膜部(64)上；以及可动电极(72)，其具有以隔开空隙的方式与固定电极(71)对置配置的可动部(722)，隔膜部(64)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状，固定电极(71)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体，其灵敏度优良。物理量传感器(1)的特征在于，其具有：基板(6)，其具有通过受压而发生挠曲变形的隔膜部(64)；固定电极(71)，其设置在隔膜部(64)上；以及可动电极(72)，其具有以隔开空隙的方式与固定电极(71)对置配置的可动部(722)，隔膜部(64)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状，固定电极(71)的俯视形状呈在规定方向上延伸的长条形状。【专利说明】物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体
本专利技术涉及物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备和移动体。
技术介绍
以往，作为检测压力的传感器，公知有专利文献I所示的压力检测装置。 专利文献I所记载的压力检测装置具有:基板，其具有呈膜状且能够在厚度方向上变形的隔膜(diaphragm);以及应变片，其配置在该基板上。当对隔膜施加压力时，隔膜挠曲，应变片的电阻值根据隔膜的挠曲量而变化。通过检测伴随该压阻元件的电阻值的变化量而产生的电位差作为压力变化的信号，能够检测出施加给隔膜的压力。 但是，这种结构的压力检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有：隔膜部，其通过受压而发生挠曲变形；固定电极，其设置在所述隔膜部上；以及可动电极，其具有与所述固定电极分开地对置配置的可动部，所述隔膜部的俯视形状为长条形状，所述固定电极的俯视形状为沿着所述隔膜部的长边方向延伸的长条形状。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林和也，竹内正浩，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP