玻璃薄膜输送装置制造方法及图纸

提供一种在重叠在保护片上而卷取时将玻璃薄膜适当地冷却来抑制损坏的玻璃薄膜输送装置。将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送的玻璃薄膜输送装置（100）包括：开卷部（2），从卷将玻璃薄膜开卷；玻璃薄膜输送部（3），将从开卷部（2）开卷后的玻璃薄膜输送；卷取部（4），一边在由玻璃薄膜输送部（3）输送来的玻璃薄膜上层叠保护片一边卷取为卷状；和层叠辊（12），设在卷取部（4）之前。层叠辊（12）的表面温度比保护片的温度高，使保护片升温，促进保护片含有的气化成分的蒸发。蒸发的气化成分积存在层叠辊（12）与保护片之间及保护片与玻璃薄膜之间，作为热传递介质发挥功能，将玻璃薄膜的温度适当地降低。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃薄膜输送装置
本专利技术涉及柔性且能够卷为卷状的薄膜玻璃（玻璃薄膜）的真空/减压下的输送装置。特别是，本专利技术涉及与含有水分等气化成分的保护片一起将玻璃薄膜卷取为卷状的输送装置。
技术介绍
近年来，作为显示影像等的显示设备用的基板材料，使用气体隔绝性及透光性等良好的薄膜玻璃即玻璃薄膜。目前，通常的玻璃薄膜的厚度是200μm左右，但最近开发了比200μm薄的厚度30μm～150μm左右的很薄的玻璃薄膜。这样的很薄的玻璃薄膜因其较薄而具有挠性，所以能够作为将玻璃薄膜卷取为卷状的玻璃卷处置。在玻璃卷中，以防止卷为卷状的玻璃薄膜与在内周侧及外周侧相邻的玻璃薄膜接触而损坏的目的，有在相邻的玻璃薄膜间夹入树脂制的保护片（例如保护薄膜或衬纸）的结构。专利文献1公开了在相邻的玻璃薄膜间夹入了保护片的玻璃卷的制造方法。专利文献1所公开的玻璃卷的制造方法是通过下拉法成形玻璃薄膜并将该成形的玻璃薄膜重叠在保护片上而卷取为卷状的玻璃卷的制造方法。该制造方法的特征在于，一边对上述保护片赋予比上述玻璃薄膜大的输送方向的张力一边将上述玻璃薄膜和上述保护片卷取。作为对这样的具有挠性的玻璃薄膜有效率地实施各种处理的方法，提出了各种各样从玻璃卷将玻璃薄膜开卷并以卷到卷方式输送、同时在其表面上实施涂层等的各种处理的技术，所述玻璃卷是将长尺寸的玻璃薄膜卷为卷状而成的。作为对于该玻璃薄膜的表面的各种处理，例如有真空蒸镀或溅射等、在被减压到真空压附近的真空容器内进行的处理。在被减压到真空压附近的容器内各种各样地产生因压力变化带来的影响。因此，提出了考虑产生的影响而一边将玻璃薄膜输送一边实施真空蒸镀或溅射等的处理（表面处理）的各种各样的技术。专利文献2公开了在真空压附近下输送薄膜玻璃的薄膜玻璃的输送装置。专利文献2所公开的薄膜玻璃的输送装置是具备能够控制真空容器内的压力的压力控制机构、在被减压到真空压附近的上述真空容器内输送长尺寸的薄膜玻璃的装置。在该装置中，上述压力控制机构在卷状的上述薄膜玻璃配置在上述真空容器内的状态下，花费3分钟以上的时间使上述真空容器内的压力减压到10000Pa后，减压到真空压附近。在该薄膜玻璃的输送装置中，在上述条件下减压后，将夹在玻璃卷的薄膜玻璃间的保护薄膜在开卷时从薄膜玻璃拆下，此外，在被实施了表面处理的薄膜玻璃的卷取时，在薄膜玻璃间夹入保护薄膜，将薄膜玻璃卷取为卷状。但是，在真空中或减压下，如在上述专利文献1及专利文献2所公开那样，当将树脂制的保护片与玻璃薄膜重叠而卷在一起时，在单纯重叠卷绕时，产生以下这样的问题。即，在玻璃薄膜通过成膜处理等成为高温（例如200℃以上）的情况下，如果保护片接触在高温的玻璃薄膜上，则保护片有可能受到损坏及/或断裂等的损伤。在该状态下，如果将保护片和玻璃薄膜重叠卷取，则有可能以此为触发事件而通过保护片的起伏等使玻璃薄膜损坏。即，在将高温的玻璃薄膜卷取时需要适当地冷却。特别是，在将玻璃薄膜在真空腔室中处理、在该腔室内将保护片和玻璃薄膜重叠卷取的情况下，由于腔室内是真空，所以没有被充分冷却，在高温的状态下将玻璃薄膜卷取。在这样的情况下，需要在防止保护片的损伤的同时，将玻璃薄膜适当地冷却。专利文献1：特开2011－201765号公报专利文献2：特开2012－1405号公报。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能够在抑制玻璃薄膜的损坏的同时、将玻璃薄膜和保护片重叠卷取的玻璃薄膜输送装置。有关本专利技术的玻璃薄膜输送装置在真空中或减压下将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送。该装置具备：开卷部，从卷绕有上述玻璃薄膜的卷将该玻璃薄膜开卷；玻璃薄膜输送部，将由上述开卷部开卷后的上述玻璃薄膜输送；和卷取部，在由上述玻璃薄膜输送部输送的上述玻璃薄膜上层叠保护片并卷取为卷状，所述保护片具有与上述玻璃薄膜大致同宽且长尺寸的形状，并含有气化成分。上述卷取部将上述保护片升温，由此使上述气化成分气化。附图说明图1是表示有关本专利技术的第1实施方式的玻璃薄膜输送装置的结构的概略图。图2（A）是表示图1的A部的详细情况的图，图2（B）是表示B部的详细情况的图。图3是表示有关本专利技术的第2实施方式的玻璃薄膜输送装置的结构的概略图。图4是表示有关本专利技术的第3实施方式的玻璃薄膜输送装置的结构的概略图。具体实施方式以下，一边参照附图，一边说明有关本专利技术的实施方式的玻璃薄膜输送装置。另外，在以下说明的各实施方式及图中，对于玻璃薄膜输送装置的相同的构成部件，赋予相同的附图标记及相同的名称。因而，对于被赋予相同的附图标记及相同的名称的构成部件不重复相同的说明。［第1实施方式］一边参照图1及图2，一边对有关本专利技术的第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100进行说明。图1是表示有关第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100的结构的概略图。图2（A）是表示图1的A部的详细情况的图，图2（B）是表示图1的B部的详细情况的图。在该玻璃薄膜输送装置100中，将和保护片一起卷取为卷状的处理前的玻璃薄膜与保护片分离而输送，然后与别的保护片一起卷取为卷状。玻璃薄膜输送装置100具有：开卷部2，从玻璃卷R1将玻璃薄膜开卷，所述玻璃卷R1是将长尺寸且带状的玻璃薄膜、例如宽度1米左右、厚度30μm～200μm左右的很薄的玻璃薄膜卷为卷状而成的；玻璃薄膜输送部3，将开卷了的玻璃薄膜向表面处理工序输送，在所述表面处理工序中实施溅射、等离子CVD、蒸镀、离子镀、AIP法、等离子照射处理、离子注入等的减压下或真空下的表面处理；卷取部4，将被实施了表面处理的玻璃薄膜再次卷取为卷状的玻璃卷R2。玻璃薄膜输送装置100例如是从以卷状卷绕了延续100m以上的长尺寸的玻璃薄膜的玻璃卷R1将该玻璃薄膜开卷、以所谓卷到卷方式输送的装置。具体而言，在玻璃卷R1中，在玻璃薄膜GF的单面上，重合层叠有成形为与玻璃薄膜GF大致同宽的树脂制的保护片PF。保护片PF的厚度为与玻璃薄膜GF相同程度，但只要有能够将玻璃薄膜GF从损坏或损伤保护的厚度，也可以不是与玻璃薄膜GF相同程度。将这样玻璃薄膜GF与保护片PF重合而成为2层的层叠薄膜LF卷绕到后述的开卷部2的开卷芯2a上，成为玻璃卷R1。开卷芯2a例如由不锈钢材料等形成。玻璃卷R1优选的是以在卷绕起始处层叠薄膜LF的保护片PF侧接触在开卷芯2a的卷绕芯的方式被卷绕。并且，成为从开卷芯2a的卷绕芯朝向外周侧、保护片PF和玻璃薄膜GF交替地重合的卷。当从开卷部2将玻璃薄膜GF开卷时，有首先将层叠薄膜LF开卷、将开卷的层叠薄膜LF分离为玻璃薄膜GF和保护片P的方法、和将层叠薄膜LF中的外周侧的玻璃薄膜GF先开卷后将保护片PF开卷的、将玻璃薄膜GF和保护片PF交替地开卷的方法。一边参照图1，一边说明第1实施方式的玻璃薄膜输送装置100的结构。在以下的说明中，将朝向图1的纸面的上下方向作为玻璃薄膜GF输送装置100的上下方向，将同样朝向纸面的左右方向作为玻璃薄膜输送装置100的左右方向。玻璃薄膜输送装置100如上述那样，具备从玻璃卷R1将玻璃薄膜GF开卷的开卷部2、将开卷的玻璃薄膜GF向表面处理工序输送的玻璃薄膜输送部3、和将被实施了表面处理的玻璃薄膜GF再次卷取为卷状的卷取部4。这样的结构的玻璃薄膜输送装置100例如设在框体形的真空腔室6内。真空腔室6形成为内部为空洞本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃薄膜输送装置，在真空中或减压下将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送，其特征在于，具备：开卷部，从卷绕有上述玻璃薄膜的卷将该玻璃薄膜开卷；玻璃薄膜输送部，将由上述开卷部开卷后的上述玻璃薄膜输送；和卷取部，在由上述玻璃薄膜输送部输送的上述玻璃薄膜上层叠保护片并卷取为卷状，所述保护片具有与上述玻璃薄膜大致同宽且长尺寸的形状，并含有气化成分；上述卷取部将上述保护片升温，由此使上述气化成分气化。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.08.07 JP 2012-1749211.一种玻璃薄膜输送装置，在真空中或减压下将长尺寸的玻璃薄膜连续地输送，其特征在于，具备：开卷部，从卷绕有上述玻璃薄膜的卷将该玻璃薄膜开卷；玻璃薄膜输送部，将由上述开卷部开卷后的上述玻璃薄膜输送；层叠辊，在保护片上层叠由上述玻璃薄膜输送部输送的上述玻璃薄膜，所述保护片具有与上述玻璃薄膜大致同宽且长尺寸的形状，并含有气化成分；和卷取部，将上述层叠了的玻璃薄膜和保护片卷取为卷状；上述层叠辊被温度控制，在上述层叠辊上将上述保护片升温，由此使上述气化成分气化。2.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，上述层叠辊具备加热机构，所述加热机构将上述层叠辊加热，以使上述层叠辊的表面温度成为比上述保护片的温度高的温度。3.如权利要求1所述的玻璃薄膜输送装置，其特征在于，在上述层叠辊处，对上...

【专利技术属性】
技术研发人员：玉垣浩，
申请(专利权)人：株式会社神户制钢所，
类型：发明
国别省市：日本;JP