本实用新型专利技术公开一种样品制备夹具的固定器，在底座上设置固定销，所述固定销贯穿所述螺纹孔将所述夹具固定在所述底座上，在固定销贯穿螺纹孔的过程即限定了夹具的上夹片与下夹片的位置，使得上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者相互对齐，避免了出现现有技术中制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于受人为因素或者烘烤阶段的因素的影响使夹具的上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者没有对齐，使芯片受力不均匀造成芯片损伤，导致样品制备的成功率降低的问题，提高了样品制备的成功率，为后续进行拉力破坏性实验正常进行奠定了基础。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种样品制备夹具的固定器，在底座上设置固定销，所述固定销贯穿所述螺纹孔将所述夹具固定在所述底座上，在固定销贯穿螺纹孔的过程即限定了夹具的上夹片与下夹片的位置，使得上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者相互对齐，避免了出现现有技术中制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于受人为因素或者烘烤阶段的因素的影响使夹具的上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者没有对齐，使芯片受力不均匀造成芯片损伤，导致样品制备的成功率降低的问题，提高了样品制备的成功率，为后续进行拉力破坏性实验正常进行奠定了基础。【专利说明】样品制备夹具的固定器
本技术涉及固定装备
，尤其涉及一种样品制备夹具的固定器。
技术介绍
为了确保芯片在不同制程中的质量，需要在可靠性实验室中进行多种实验，其中，有一项实验是对芯片做拉力破坏性实验，该实验通过观察芯片的金属层与金属层的剥离状态来分析制程是否正常。 每次做拉力破坏性实验之前，实验室都需要准备大量进行拉力破坏性实验的样品，样品的制备过程是将芯片固定在夹具上的过程。如上所述的夹具主要包括上夹片和下夹片，上夹片和下夹片大小相同，且两者均为方形，在两者的四个角处均设置有螺纹孔，所述螺纹孔用于将夹具装载在拉力试验机上。夹具在固定芯片时，需要确保上夹片与下夹片互相对齐，以便后续将夹具装载在拉力试验机上进行拉力破坏性实验。 样品的制备过程具体如下:首先在下夹片上涂胶，之后将其送入烤炉使胶固化以在下夹片表面形成平坦的胶层，将下夹片从烤炉取出冷却；同理，将上夹片也作如同下夹片的操作；接下来在有胶层的下夹片上涂胶并将待进行拉力破坏性实验的芯片黏贴到下夹片的中间位置并送入烤炉使胶固化，之后在有胶层的上夹片上涂胶并将其黏贴在已固定了芯片的下夹片上并送入烤炉使胶固化，最终芯片被固定在上夹片与下夹片中间，样品制备结束。 但是在样品的制备过程中，会受到很多干扰因素的影响，这里的干扰因素包括人为因素及烘烤阶段的一些因素。例如在上夹片与下夹片粘合的时候，必须以上夹片自身的重力盖在下夹片上，操作中不能挤压，旋扭(比如盖的时候没有对准，绝对不能人为再去把上夹片与下夹片扭正)，但若两者不对齐会影响拉力破坏性实验的分析数据的准确性。此夕卜，上夹片与下夹片粘合后进烤炉烘烤时，因为样品凸起有一定的厚度，会使得烘烤时上夹片旋转，烘烤后上夹片与下夹片对不齐。而此阶段仅仅是使用夹具将样品固定，还没有进行拉力破坏性实验就出现由于上夹片与下夹片无法对齐导致芯片的损伤，使得该芯片无法进行后续拉力破坏性实验，而制备样品的过程已经耗费了大量的人力物力，但其样品制备失败使得后续实验无法正常进行，大大提高了成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种样品制备夹具的固定器，以解决现有技术中制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于受人为因素或者烘烤阶段的因素的影响使夹具的上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者没有对齐，使芯片受力不均匀造成芯片损伤，导致样品制备的成功率降低的问题。 为了解决上述技术问题，本技术提供一种样品制备夹具的固定器，所述夹具包括上夹片、下夹片及贯穿所述上夹片及下夹片的螺纹孔，所述样品制备夹具的固定器包括:底座及设置于所述底座上的固定销，所述固定销贯穿所述螺纹孔以将所述夹具固定在所述底座上。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述底座上设置有多个凹槽，所述上夹片及下夹片横跨于所述凹槽上。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述多个凹槽平行分布于所述底座上。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述夹具为方形，所述夹具的四个角处均设置有所述螺纹孔。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述上夹片及所述下夹片均为方形且大小相同。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述固定销设置于所述底座上的位置与所述夹具上的螺纹孔位置相匹配。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述固定销的直径比所述螺纹孔的直径小1.5mm?1.8mmο 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述上夹片与所述下夹片之间夹持一样品。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述底座为不锈钢底座。 可选的，在所述的样品制备夹具的固定器中，所述固定销为不锈钢固定销。 在本技术所提供的样品制备夹具的固定器中，在底座上设置固定销，所述固定销贯穿所述螺纹孔将所述夹具固定在所述底座上，在固定销贯穿螺纹孔的过程即限定了夹具的上夹片与下夹片的位置，使得上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者相互对齐，避免了出现现有技术中制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于受人为因素或者烘烤阶段的因素的影响使夹具的上夹片与下夹片固定芯片的过程中两者没有对齐，使芯片受力不均匀造成芯片损伤，导致样品制备的成功率降低的问题，提高了样品制备的成功率，为后续进行拉力破坏性实验正常进行奠定了基础。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术一实施例中样品制备夹具的固定器的结构示意图； 图2是本技术一实施例中样品制备夹具的固定器固定夹具时的示意图。 【具体实施方式】 以下结合附图和具体实施例对本技术提出的样品制备夹具的固定器作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。 请参考图1，其为本技术一实施例中样品制备夹具的固定器的结构示意图。所述夹具2包括上夹片及贯穿所述上夹片及下夹片的螺纹孔，如图1所示，所述样品制备夹具的固定器包括底座11及设置于所述底座11上的固定销10，所述固定销10贯穿所述螺纹孔以将所述夹具2固定在所述底座11上。 本技术的样品制备夹具的固定器I的应用原理: 参照图2，其为本技术一实施例中样品制备夹具的固定器I固定夹具2时的示意图。结合如图2所示的内容，在样品制备过程中，对于上夹片，首先在上夹片上涂胶，之后将其送入烤炉使胶固化以在上夹片表面形成平坦的胶层，将上夹片从烤炉取出冷却；对于下夹片，在先在下夹片上涂胶之前可以先将下夹片固定在样品制备夹具的固定器I上，仅需要将首先将下夹片的螺纹孔套接于所述底座11的固定销10上即可，之后再送入烤炉使胶固化以在下夹片表面形成平坦的胶层，将固定有下夹片的样品制备夹具的固定器I从烤炉取出冷却；接下来在有胶层的下夹片上涂胶并将待进行拉力破坏性实验的芯片黏贴到下夹片的中间位置并将此时的样品制备夹具的固定器I送入烤炉使胶固化，之后在有胶层的上夹片上涂胶并将上夹片上的螺纹孔套接于之前已套接有下夹片的固定销10上，使上夹片与下夹片相互对齐的同时将上夹片黏贴在已固定了芯片的下夹片上，接着将此时的样品制备夹具的固定器I再次送入烤炉使胶固化，最终芯片被固定在上夹片与下夹片中间，样品制备结束。当然，本技术包括但不局限于这一种实施例，只要在上夹片与下夹片黏贴时，两者都是通过固定销10来限定其位置，以保证两者相互对齐的即可。 较佳的，这里还可以首先在下夹片上涂胶，之后将其送入烤炉使胶固化以在下夹片表面形成平坦的胶层，将下夹片从烤炉取出冷却；同理，将上夹片也作如同下夹片的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种样品制备夹具的固定器，所述夹具包括上夹片、下夹片及贯穿所述上夹片及下夹片的螺纹孔，其特征在于，所述样品制备夹具的固定器包括底座及设置于所述底座上的固定销，所述固定销贯穿所述螺纹孔以将所述夹具固定在所述底座上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈霞莉，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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