沉积源运送装置制造方法及图纸

根据本发明专利技术的一方面的沉积源运送装置包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。

【技术实现步骤摘要】
沉积源运送装置
本专利技术涉及一种沉积源运送装置，更详细地，涉及适用于离子注入系统的沉积源运送装置。
技术介绍
一般来讲，作为平板显示器之一的电致发光显示装置，根据作为发光层使用的物质区分为无机电致发光显示装置和有机电致发光显示装置，由于有机电致发光显示装置能够用低电压驱动，且为轻量薄型的同时，具备不仅视角宽而且响应速度快的优点，因此受到瞩目。 这种有机电致发光显示装置的有机电致发光元件由在基板上以层压方式形成的阳极、有机物层及阴极构成。有机物层包括通过空穴和电子的再结合而形成激子并发射光的有机发光层的有机物层，此外，为了用有机发光层顺畅地传输空穴和电子以提高发光效率，使电子注入层和电子传输层的有机物层介于所述阴极和有机发光层之间的同时，使空穴注入层和空穴传输层的有机物层介于阳极和有机发光层之间。 由上述结构形成的有机电致发光元件一般由如真空沉积法、离子镀法及溅射法等物理气相沉积法、或通过气体反应进行的化学气相沉积法制作。特别是，为了形成有机电致发光元件的有机物层，广泛使用将在真空中蒸发的有机物质沉积在基板上的真空沉积法，在这种真空沉积法中，使用将在真空腔室内蒸发的有机物质喷射到基板的沉积源(6^1181011 0611，泄流室X沉积源包括收容有有机物质的坩埚和加热坩埚的加热机构。 在基板趋于大型化的形式下，为了将具有良好的阶梯覆盖能力和均匀度的有机物层形成在基板上，沉积源在真空腔室内移动并向静止的基板提供通过蒸发有机物质形成的有机气相物质。 如此，沉积源由移动的移动源形成的情况下，为了沉积源的移动而设置轨道，且沉积源在轨道上移动。此时，轨道上设置有沿轨道移动的滑动导轨，在滑动导轨上安装有沉积源主体。 在滑动导轨的内部插入设置有用于联动的多个球或轴承，并为了减少球与轨道的摩擦，对球供给润滑油(#6386).如此，在使用设置有球的滑动导轨的情况下，当沉积源在轨道上移动时，会有振动传递到沉积源。 这种振动对离子注入系统带来噪音，这会带来传感器错误及膜厚度不均匀等问题。特别是，在摩擦大的情况下，移动速度降低，这诱导膜厚度的不均匀。此外，因摩擦而球产生热或因腔室内的热而润滑油被加热时，则由于润滑油蒸发而气体引发腔室内部的污染，这成为导致不良的原因。此外，由于为了润滑油的再供给而需要中断操作，因此发生操作时间延迟且生产率降低的问题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述问题而提出的，目的在于提供一种能够将振动的影响最小化并提高寿命的离子注入系统的沉积源运送装置。 根据本专利技术的一方面的沉积源运送装置包括:导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。 所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件能够以相同的极性相互面对的方式配置，并且所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件可形成为沿沉积源框架的长度方向延伸而形成的板状。 所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的上表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述支撑部件的下部，并在所述支撑部件与所述第二悬浮部件之间可设置有具有弹性的缓冲部件。 所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件能够以相互不同的极性相互面对的方式配置，所述第一悬浮部件可由包括磁芯和缠绕在形成于磁芯上的突起的线圈的电磁铁形成。 所述第二悬浮部件可由强磁性体板形成，所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件可包括与沉积源框架的下表面相接触的上部支撑部、在所述上部支撑部的下侧与所述上板的下表面相对的下部支撑部及连接所述下部支撑部与所述上部支撑部的侧面支撑部。 所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的下表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述下部支撑部的上表面，并在所述上部支撑部的下表面与所述上板的上表面之间可设置有具有弹性的缓冲部件。 所述缓冲部件可配置成固定在所述上部支撑部的下表面并与所述上板相隔并且可进一步包括结合在所述沉积源框架的绳和缠绕所述绳的卷取部件。 可进一步包括:第一绳，与所述沉积源框架的一侧端部连接；第一卷取部件，缠绕所述第一绳；第一电动机，旋转所述第一卷取部件；第二绳，与所述沉积源框架的另一侧端部连接；第二卷取部件，缠绕所述第二绳；和第二电动机，旋转所述第二卷取部件。 根据本专利技术的实施例，由于通过磁悬浮移送沉积源，因此使对沉积源的振动最小化，从而能够执行精密的工序。此外，不仅减少摩擦而提高沉积源运送装置的寿命，而且除去摩擦时飞散的颗粒及杂质而能够减少因杂质产生的污染。 【附图说明】 图1是图示根据本专利技术的第一实施例的沉积源运送装置的立体图。 图2是沿图1中I1-1I线截取的剖视图。 图3是表示润滑油的蒸发气体对有机发光元件的寿命的影响的图表。 图4是图示根据本专利技术的第二实施例的沉积源运送装置的剖视图。 图5是图示根据本专利技术的第三实施例的沉积源运送装置的剖视图。 图6是图示根据本专利技术的第四实施例的沉积源运送装置的立体图。 图7是图示根据本专利技术的第四实施例的沉积源运送装置的剖视图。 附图标记说明 101、102、103、104:沉积源运送装置 10:沉积源21:沉积源框架 25、35、45:支撑部件25^45^1:上部支撑部 2513,45?:下部支撑部25(^45(3:侧面支撑部 26、36、46:导轨26^36^46^1:支撑柱 26? ? 3613 ? 46?:上板28、38、48:第一悬浮部件 27、37、47:第二悬浮部件29、39、49:缓冲部件 48?:磁芯48)3:线圈 480:突起51:第一绳 52:第二绳53:第一卷取部件 55:第二卷取部件56:第一电动机 57:第二电动机60:腔室 【具体实施方式】 下面，参照附图对本专利技术的实施例进行详细说明，使得本专利技术所属
的技术人员能够易于实施。本专利技术可以以多种不同的形式实现，并不限定于在此说明的实施例。 在整个说明书中，当提到某部分“包括”某结构部件时，除非有相反的记载，这表示并不排除其它结构部件，而是可进一步包括其它结构部件。此外，在本记载中，所谓“在……上”表示位于对象部件的上侧或下侧，并非一定表示以重力方向为基准位于上部。 图1是图示根据本专利技术的一实施例的沉积源运送装置的立体图，图2是沿图1中II ~ II线截取的剖视图。 参照图1及图2进行说明，则根据本实施例的沉积源运送装置101包括导轨26、通过磁力相对于导轨26悬浮的支撑部件25、及安装在支撑部件25上的沉积源框架21。 沉积源10可具备储存有有机物质的坩埚、用于加热坩埚的加热部件、及喷射有机物质的喷嘴。但本专利技术并不限于此，能够安装在沉积源框架21上的所有种类的沉积源均可适用于本专利技术。 沉积源运送装置101被配置在腔室内，且腔室形成真空空间。在腔室内设置有导轨26，导轨26沿沉积源10的移动方向长长地延伸而形成，且两个导轨26被配置成平行。 导轨26包括朝向上部突出的支撑柱263和被配置成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积源运送装置，包括：导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件；支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及沉积源框架，安装在所述支撑部件上。

【技术特征摘要】
2013.09.12 KR 10-2013-01099601.一种沉积源运送装置，包括: 导轨，沿一方向延伸而形成，并具有形成磁力的第一悬浮部件； 支撑部件，被配置在所述导轨上，并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件；以及 沉积源框架，安装在所述支撑部件上。2.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件以相同的极性相互面对的方式配置。3.根据权利要求2所述的沉积源运送装置， 所述导轨包括朝向上部突出的支撑柱和从所述支撑柱弯曲的上板，所述支撑部件形成为沿所述沉积源框架的长度方向延伸而形成的板状。4.根据权利要求3所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件固定设置在所述上板的上表面，所述第二悬浮部件固定设置在所述支撑部件的下部。5.根据权利要求4所述的沉积源运送装置， 在所述支撑部件与所述第二悬浮部件之间设置有具有弹性的缓冲部件。6.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件由永久磁铁形成，所述第一悬浮部件及所述第二悬浮部件以相互不同的极性相互面对的方式配置。7.根据权利要求1所述的沉积源运送装置， 所述第一悬浮部件包括磁芯和缠...

【专利技术属性】
技术研发人员：高晟洙，朴旻亨，金在福，宋原准，李宽熙，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR