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沉积源运送装置制造方法及图纸
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下载沉积源运送装置的技术资料
文档序号:11211319
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根据本发明的一方面的沉积源运送装置包括:导轨,沿一方向延伸而形成,并具有形成磁力的第一悬浮部件;支撑部件,被配置在所述导轨上,并具有与所述第一悬浮部件相对的第二悬浮部件;以及沉积源框架,安装在所述支撑部件上。...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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