显示面板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种显示面板及其制造方法，该显示面板包括：其上限定像素区域和外围区域的基底基板；设置在基底基板上的半导体图案；设置在基底基板的像素区域中的显示元件；以及配置为控制显示元件的第一薄膜晶体管，其中第一薄膜晶体管包括设置在半导体图案的第一部分上的输入电极、设置在半导体图案的第二部分上的输出电极、半导体图案的在第一部分和第二部分之间的第三部分、以及设置在第三部分上并与第三部分绝缘的控制电极。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及显示面板和该显示面板的制造方法。更具体地，本公开涉及具有改善的开口率的显示面板和该显示面板的制造方法。
技术介绍
显示面板通常包括设置在基底基板上的多个像素。基底基板包括多个像素区域和邻近于像素区域设置的外围区域。在这样的显示面板中，像素可以分别布置在像素区域中。 每个像素包括显示元件和控制显示元件的电路部。包括在像素中的显示元件和电路部设置在多个像素区域中的相应像素区域中。当在平面图中观看时，每个像素区域的开口率通过显示元件的面积与每个像素区域的面积之比来确定。随着电路部变得复杂，开口率降低且显示面板的制造工艺变得复杂。
技术实现思路
本公开提供具有改善的开口率的显示面板。 本公开提供具有简化的制造工艺的显示面板的制造方法。 本专利技术的示范实施方式提供一种显示面板，包括:其上限定像素区域和外围区域的基底基板；设置在基底基板上的半导体图案；设置在基底基板的像素区域中的显示元件；以及配置为控制显示元件的第一薄膜晶体管，其中第一薄膜晶体管包括设置在半导体图案的第一部分上的输入电极、设置在半导体图案的第二部分上的输出电极、半导体图案的在第一部分和第二部分之间的第三部分、以及设置在第三部分上并与第三部分绝缘的控制电极。 在示范实施方式中，半导体图案可以包括金属氧化物半导体材料。 在示范实施方式中，第三部分可以包括邻近于第一部分设置并包括从金属氧化物半导体材料还原的金属的输入区域、邻近于第二部分设置并包括从金属氧化物半导体材料还原的金属的输出区域、以及设置在输入区域和输出区域之间的沟道区域。 在示范实施方式中，输入区域和输出区域可以具有自第三部分的上表面的预定厚度，输入区域和输出区域的每个可以包括包含被还原的金属的金属层。 在示范实施方式中，显示面板可以还包括:设置在基底基板的外围区域中并连接到第一薄膜晶体管的输入电极的数据线；设置在基底基板的外围区域中并连接到第一薄膜晶体管的控制电极的栅线，其中数据线设置在半导体图案上。 在示范实施方式中，显示面板可以还包括:配置为控制显示元件的驱动电流的第二薄膜晶体管；以及电容器，包括连接到第一薄膜晶体管的输出电极的下电极和连接到第二薄膜晶体管的控制电极的上电极，其中显示元件包括有机发光二极管。 在示范实施方式中，第一薄膜晶体管的输出电极和下电极可以包括彼此相同的材料，第二薄膜晶体管的控制电极和上电极可以包括彼此相同的材料。 在示范实施方式中，第一薄膜晶体管的输出电极和下电极可以设置在彼此相同的层中，第二薄膜晶体管的控制电极和上电极可以设置在彼此相同的层中。 在示范实施方式中，有机发光二极管可以包括:连接到第二薄膜晶体管的输出电极的第一电极；设置在第一电极上的有机发光层；以及设置在有机发光层上的第二电极。 在示范实施方式中，第二薄膜晶体管的控制电极和有机发光二极管的第一电极可以包括彼此相同的材料。 在示范实施方式中，显示面板可以还包括:面对基底基板的相对基板；以及夹置在基底基板和相对基板之间的液晶层，其中显不兀件包括液晶电容器。 本专利技术的示范实施方式提供一种显示面板，包括:基底基板；设置在基底基板上的金属氧化物半导体图案；设置在基底基板上的显示元件；以及配置为控制显示元件的薄膜晶体管，其中薄膜晶体管包括:设置在金属氧化物半导体图案的第一部分上的输入电极、金属氧化物半导体图案的连接到第一部分的第二部分、连接到金属氧化物半导体图案的第二部分并包括从金属氧化物半导体图案还原的金属的输出电极、以及设置在金属氧化物半导体图案的第二部分上并与第二部分绝缘的控制电极。 本专利技术的示范实施方式提供一种显示面板的制造方法，包括:在限定有像素区域和外围区域的基底基板上提供半导体层和导电层；图案化半导体层和导电层以形成包括第一部分、第二部分和第三部分的半导体图案，并形成薄膜晶体管的设置在第一部分上的输入电极以及薄膜晶体管的设置在第二部分上的输出电极，其中半导体图案的第三部分在第一部分和第二部分之间；提供薄膜晶体管的控制电极以交叠第三部分的第一部并与半导体图案绝缘，其中第三部分的第二部被控制电极暴露；以及在像素区域中提供连接到输出电极的显示元件。 在示范实施方式中，在提供控制电极之后，该方法可以还包括还原第三部分的被控制电极暴露的第二部以形成邻近于第一部分设置并包括金属层的输入区域、邻近于第二部分设置并包括金属层的输出区域、以及设置在输入区域和输出区域之间的沟道区域。 在示范实施方式中，图案化半导体层和导电层可以包括:在导电层上提供光致抗蚀剂层；使用掩模第一次灰化光致抗蚀剂层以去除光致抗蚀剂层的交叠半导体图案的第三部分的一部分，其中掩模包括交叠半导体图案的第三部分的半透射区域和交叠半导体图案的第一部分和第二部分的非透射区域；第二次灰化光致抗蚀剂层以暴露导电层的交叠半导体图案的第三部分的一部分；以及蚀刻导电层以暴露半导体图案的第三部分。 在示范实施方式中，图案化半导体层和导电层可以包括提供连接到第一薄膜晶体管的输入电极并设置在外围区域中的数据线。 在示范实施方式中，数据线可以交叠半导体图案。 根据在此描述的不范实施方式,第一薄膜晶体管的输入电极和输出电极直接设置在半导体图案的一部分上。因此，用于将输入电极和输出电极连接到半导体图案的一部分的接触孔被省略。因此，用于控制显示元件的第一薄膜晶体管的结构变得简化，因此显示面板的开口率可以增加。 在这样的实施方式中，包括在电路部中的组件可以通过相同的工艺形成，例如，部分的第一薄膜晶体管和部分的电容器通过相同的工艺形成。因此，显示面板的制造工艺变得简化，显示面板的制造时间变短。 【附图说明】 通过结合附图参考以下详细说明，本专利技术的示范实施方式的以上及其他特征将容易变得明显，在附图中: 图1是示出根据本专利技术的显示面板的示范实施方式的平面图； 图2是示出根据本专利技术的显示面板的像素的示范实施方式的等效电路图； 图3是示出根据本专利技术的示范实施方式的显示面板的像素的示范实施方式的平面图； 图4是图3中的显示面板沿线1-1’截取的截面图； 图5是图3中的显示面板沿线11-11’截取的第二截面图； 图6A和6B是示出根据本专利技术的显示面板的替代示范实施方式的截面图； 图7是示出根据本专利技术的显示面板的替代示范实施方式的一部分的透视图； 图8是示出根据本专利技术的显示面板的像素的替代示范实施方式的等效电路图； 图9是示出根据本专利技术的显示面板的像素的替代示范实施方式的平面图； 图10是图9中的显示面板沿线II1-1II’截取的截面图； 图1lA至IlH是示出根据本专利技术的显示面板的制造工艺的示范实施方式的视图；以及 图12A至12E是示出图1lB的显示面板的制造工艺的示范实施方式的截面图。 【具体实施方式】 在下文将参考附图更充分地描述本专利技术，在附图中示出了本专利技术的各种实施方式。然而，本专利技术可以以许多不同的形式实施，不应该理解为限于在此阐述的实施方式。而是，提供这些实施方式使得本公开彻底和完整，并将向本领域技术人员充分传达本专利技术的范围。相同的附图标记始终指代相同的元件。 将理解，当元件或层被称为“在”另一元件或层“上”、“连接到”或“联接到”另一元件或层时，它本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板，包括：基底基板，其上限定像素区域和外围区域；半导体图案，设置在所述基底基板上；显示元件，设置在所述基底基板的所述像素区域中；以及第一薄膜晶体管，配置为控制所述显示元件，其中所述第一薄膜晶体管包括：输入电极，设置在所述半导体图案的第一部分上；输出电极，设置在所述半导体图案的第二部分上；所述半导体图案的在所述第一部分和第二部分之间的第三部分；以及控制电极，设置在所述第三部分上并与所述第三部分绝缘。

【技术特征摘要】
2013.09.11 KR 10-2013-01092241.一种显不面板，包括: 基底基板，其上限定像素区域和外围区域； 半导体图案，设置在所述基底基板上； 显示元件，设置在所述基底基板的所述像素区域中；以及 第一薄膜晶体管，配置为控制所述显示元件，其中所述第一薄膜晶体管包括: 输入电极，设置在所述半导体图案的第一部分上； 输出电极，设置在所述半导体图案的第二部分上； 所述半导体图案的在所述第一部分和第二部分之间的第三部分；以及 控制电极，设置在所述第三部分上并与所述第三部分绝缘。2.如权利要求1所述的显示面板，其中所述半导体图案包括金属氧化物半导体材料。3.如权利要求2所述的显示面板，其中所述第三部分包括: 输入区域，邻近于所述第一部分设置并包括从所述金属氧化物半导体材料还原的金属； 输出区域，邻近于所述第二部分设置并包括从所述金属氧化物半导体材料还原的金属；以及 沟道区域，设置在所述输入区域和所述输出区域之间。4.如权利要求3所述的显示面板，其中 所述输入区域和所述输出区域具有自所述第三部分中的所述金属氧化物半导体材料的上表面的预定厚度，并且 所述输入区域和输出区域的每个包括包含所述还原金属的金属层。5.如权利要求2所述的显示面板,还包括: 数据线，设置在所述基底基板的所述外围区域中并连接到所述第一薄膜晶体管的所述输入电极；以及 栅线，设置在所述基底基板的所述外围区域中并连接到所述第一薄膜晶体管的所述控制电极， 其中所述数据线设置在所述半导体图案上。6.如权利要求2所述的显示面板,还包括: 第二薄膜晶体管，配置为控制所述显示元件的驱动电流；以及 电容器，包括: 下电极，连接到所述第一薄膜晶体管的所述输出电极；以及 上电极，连接到所述第二薄膜晶体管的控制电极， 其中所述显示元件包括有机发光二极管。7.如权利要求6所述的显示面板，其中 所述第一薄膜晶体管的所述输出电极和所述下电极包括彼此相同的材料，并且 所述第二薄膜晶体管的所述控制电极和所述上电极包括彼此相同的材料。8.如权利要求6所述的显示面板，其中 所述第一薄膜晶体管的所述输出电极和所述下电极设置在彼此相同的层中，并且 所述第二薄膜晶体管的所述控制电极和所述上电极设置在彼此相同的层中。9.如权利要求6所述的显示面板，其中所述有机发光二极管包括: 第一电极，连接到所述第二薄膜晶体管的输出电极； 有机发光层，设置在所述第一电极上；以及 第二电极，设置在所述有机发光层上。10.如权利要求9所述的显示面板，其中所述第二薄膜晶体管的所述控制电极和所述有机发光二极管的所述第一电极包括彼此相同的材料。11.如权利要求1所述的显示面板，还包括: 相对基板，面对所述基底基板；和 液晶层，夹置在所述基底基板和所述相对基板之...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵承奂，姜闰浩，金东朝，申永基，沈栋，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR