基板翻转装置以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供能够使多张基板一起适当地翻转的技术。为了达到该目的，基板翻转装置具有：支撑机构(70)，将多张基板(W)支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态；夹持翻转机构(80)，对被支撑机构(70)支撑的多张基板(W)分别进行夹持，并且使多张基板(W)一起翻转。在支撑机构(70)中，支撑基板(W)的支撑构件(74)一边在上下方向上观察时远离基板的中心，一边向下方移动，从支撑位置移动至待避位置。另一方面，在夹持翻转机构(80)中，夹持基板的夹持构件(83)通过夹持构件驱动部从远离位置移动至接近位置，在该接近位置被弹性构件朝向基板的侧面施加弹性力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板翻转装置以及基板处理装置
本专利技术涉及对多个半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、等离子显示器用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盘用基板等(以下，仅称为“基板”)进行处理的技术。
技术介绍
对基板进行处理的基板处理装置具有多种。例如，专利文献1、2的基板处理装置，经由基板交接部连接分度室和清洗处理室，所述分度室中汇集有未处理基板以及已处理基板，在所述清洗处理室中对基板进行擦洗清洗处理。在分度室以及清洗处理室中分别配置有各室专用的搬运机械手。但是，在专利文献1的基板处理装置中，具有对基板的背面进行擦洗清洗的情况，在清洗处理室内，针对多个清洗处理部分别单独地设置有使基板的表背面翻转的翻转部。就使基板表背面翻转的技术而言，例如，在专利文献2中公开了如下的结构，即，将基板夹入在立设有支撑销的平板状的两个板(可动板以及固定板)之间，使该两个板与基板一起旋转180°，来使基板表背面翻转。另外，例如在专利文献3中公开了如下的结构，即，一边使一对卡盘保持基板的端缘，一边使该卡盘与其所保持的基板一起旋转180°，来使基板表背面翻转。另外，例如根据专利文献4所公开的结构，首先，利用夹持构件保持基板(即，通过下部支撑销从下表面侧支撑的基板)的沿着径向的两端缘部。然后，使下部支撑销沿着横向移动来解除下部支撑销支持基板的支撑状态。之后，使夹持构件与其所夹持的基板一起旋转180°，来使基板表背面翻转。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009－146975号公报专利文献2：日本特开2009－252888号公报专利文献3：日本特开平10－321575号公报专利文献4：日本特许第4287663号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在基板处理装置中，总是要求提高生产量，使多张基板同时翻转的技术作为有助于提高生产量的有效技术而被关注。但是，适当地使多张基板一起翻转并不容易。例如，根据专利文献4所述的技术，在使下部支撑销退避时，基板的下表面与下部支撑销接触，担心会在基板的下表面产生伤痕。另外，在专利文献4所记载的技术中，夹持构件受到来自缸体的驱动力接近基板的端缘部来夹持基板，可能发生如下的情况，例如，在基板的位置、尺寸与期望的位置、尺寸具有微小的偏差的情况下，各夹持构件会过于靠近基板的侧面而使基板破损，或者，各夹持构件配置在距离基板的侧面过远的位置，导致基板落下等。本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供能够使多张基板一起适当地翻转的技术。用于解决问题的手段第1技术方案为一种基板翻转装置，用于使基板翻转，具有：支撑机构，将多张基板支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态，以及夹持翻转机构，对所述支撑机构所支撑的多张所述基板分别进行夹持，并且使多张所述基板一起翻转；所述夹持翻转机构具有：一对夹持构件，从多张所述基板的每一张基板的两端缘部夹持所述基板，以及夹持构件驱动部，使一对所述夹持构件分别在接近位置与远离位置之间同时移动，所述接近位置指该夹持构件的一部分与基板的侧面接近或抵接的位置，所述远离位置指所述夹持构件与所述侧面相分离的位置；所述支撑机构具有：多个支撑构件，分别从多张所述基板的每一张基板的下表面侧支撑所述基板，支撑构件驱动部，使多个所述支撑构件分别在支撑位置与待避位置之间移动，所述支撑位置指该支撑构件的一部分与基板的下表面抵接的位置，所述待避位置指所述支撑构件与所述下表面相分离的位置；所述支撑构件驱动部使多个所述支撑构件分别一边在上下方向上观察时远离所述基板的中心，一边向下方移动，来使该支撑构件从所述支撑位置移动至所述待避位置。第2技术方案为在第1技术方案的基板翻转装置中，该基板翻转装置具有与被所述支撑机构支撑的多张所述基板分别相对应地设置的检测部，该检测部用于检测所对应的基板的异常。第3技术方案为在第2技术方案的基板翻转装置中，所述检测部具有第1投光部以及第1受光部，从上下方向观察，所述第1投光部以及所述第1受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且分开配置在所述基板的上方和下方。第4技术方案为在第2或第3技术方案的基板翻转装置中，所述检测部具有第2投光部以及第2受光部，从上下方向观察，所述第2投光部以及所述第2受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且配置在与所述基板的主面相接近的同一水平面内。第5技术方案为在第4技术方案的基板翻转装置中，所述检测部具有第3投光部以及第3受光部，从上下方向观察，所述第3投光部以及所述第3受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且配置在与所述基板的主面接近的同一水平面内，连接所述第2投光部和所述第2受光部的直线与连接所述第3投光部和所述第3受光部的直线不平行。第6技术方案为在第1～第5任意技术方案的基板翻转装置中，所述夹持翻转机构具有开闭检测部，该开闭检测部用于检测一对所述夹持构件分别位于所述远离位置和所述接近位置中的哪一位置。第7技术方案为一种基板处理装置，具有：第1～第6任一技术方案的基板翻转装置；用于清洗基板的表面的表面清洗部；用于清洗基板的背面的背面清洗部；以及在所述表面清洗部、所述背面清洗部和所述基板翻转装置之间搬运基板的第1搬运机械手。第8技术方案为在第7技术方案的基板处理装置中，该基板处理装置具有：处理区，配置有所述表面清洗部、所述背面清洗部以及所述第1搬运机械手，分度区，配置有第2搬运机械手，用于将未处理基板交付至所述处理区，并且从所述处理区取出已处理基板；所述基板翻转装置设置在所述分度区与所述处理区的连接部分，在所述第1搬运机械手和所述第2搬运机械手中的一个搬运机械手将基板搬入所述基板翻转装置的情况下，另一个搬运机械手将被所述基板翻转装置翻转的该基板搬出。专利技术的效果根据第1技术方案，通过夹持构件驱动部，使一对夹持构件分别从远离位置移动至接近位置，在该接近位置，通过弹性构件朝向基板的侧面分别对一对夹持构件施加弹性力。根据该结构，各夹持构件对基板施加所需的足够的弹性力，因此能够通过一对夹持构件在不划伤基板的情况下可靠地夹持基板。而且，根据第1技术方案，使支撑构件在上下方向观察时远离基板的中心，并且向下方移动，因此能够在支撑构件不会划伤基板的情况下使支撑构件适当地移动至待避位置。因此，根据第1技术方案，能够使多张基板一起适当地翻转。根据第2技术方案，能够分别检测多张基板的异常，因此使多张基板安全地翻转。根据第3技术方案，具有第1投光部和第1受光部，从上下方向观察，第1投光部和第1受光部隔着对应的基板彼此相向配置且分开地配置在该基板的上方和下方。因此，通过监测第1受光部的受光量，能够在对应的基板发生有无异常的情况下，马上检测到该有无异常。根据第4技术方案，具有第2投光部和第2受光部，从上下方向观察，第2投光部和第2受光部隔着对应的基板彼此相向且配置在与该基板的主面接近的同一水平面内。因此，通过监测第2受光部的受光量，能够在对应的基板发生姿势异常的情况下，马上检测到该姿势异常。根据第5技术方案，连接第3投光部和第3受光部的直线与连接第2投光部和第2受光部的直线不平行。因此，通过第2受光部和第3受光部的受光量，能够在对应的基板发生姿势异常的情况下，马上可靠地检测到该姿势异常。根据第6技术方案，能够检测一对夹持构件是否夹持基板，因本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板翻转装置，用于使基板翻转，其特征在于，具有：支撑机构，将多张基板支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态，夹持翻转机构，对所述支撑机构所支撑的多张所述基板分别进行夹持，并且使多张所述基板一起翻转；所述夹持翻转机构具有：一对夹持构件，从多张所述基板的每一张基板的两端缘部夹持所述基板，夹持构件驱动部，使一对所述夹持构件分别在接近位置与远离位置之间移动，所述接近位置指该夹持构件的一部分与基板的侧面接近或抵接的位置，所述远离位置指所述夹持构件与所述侧面相分离的位置，弹性构件，朝向所述基板的侧面对配置在所述接近位置的所述夹持构件施加弹性力；所述支撑机构具有：多个支撑构件，分别从多张所述基板的每一张基板的下表面侧支撑所述基板，支撑构件驱动部，使多个所述支撑构件分别在支撑位置与待避位置之间移动，所述支撑位置指该支撑构件的一部分与基板的下表面抵接的位置，所述待避位置指所述支撑构件与所述下表面相分离的位置；所述支撑构件驱动部使多个所述支撑构件分别一边在上下方向上观察时远离所述基板的中心，一边向下方移动，来使该支撑构件从所述支撑位置移动至所述待避位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.06.15 JP 2012-1359991.一种基板翻转装置，用于使基板翻转，其特征在于，具有：支撑机构，将多张基板支撑为呈水平姿势且在上下方向上隔开间隔地层叠的状态，以及夹持翻转机构，对所述支撑机构所支撑的多张所述基板分别进行夹持，并且使多张所述基板一起翻转；所述夹持翻转机构具有：一对夹持构件，从多张所述基板的每一张基板的两端缘部夹持所述基板，以及夹持构件驱动部，使一对所述夹持构件分别在接近位置与远离位置之间同时移动，所述接近位置指该夹持构件的一部分与基板的侧面接近或抵接的位置，所述远离位置指所述夹持构件与所述侧面相分离的位置；所述支撑机构具有：多个支撑构件，分别从多张所述基板的每一张基板的下表面侧支撑所述基板，支撑构件驱动部，使多个所述支撑构件分别在支撑位置与待避位置之间移动，所述支撑位置指该支撑构件的一部分与基板的下表面抵接的位置，所述待避位置指所述支撑构件与所述下表面相分离的位置；所述支撑构件驱动部使多个所述支撑构件分别一边在上下方向上观察时远离所述基板的中心，一边向下方移动，来使该支撑构件从所述支撑位置移动至所述待避位置。2.如权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，该基板翻转装置具有与被所述支撑机构支撑的多张所述基板分别相对应地设置的检测部，该检测部用于检测所对应的基板的异常。3.如权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，所述检测部具有第1投光部以及第1受光部，从上下方向观察，所述第1投光部以及所述第1受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且分开配置在所述基板的上方和下方。4.如权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，所述检测部具有第2投光部以及第2受光部，从上下方向观察，所述第2投光部以及所述第2受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且配置在与所述基板的主面相接近的同一水平面内。5.如权利要求4所述的基板翻转装置，其特征在于，所述检测部具有第3投光部以及第3受光部，从上下方向观察，所述第3投光部以及所述第3受光部隔着与该检测部建立对应的基板彼此相向配置，并且配置在与所述基板的...

【专利技术属性】
技术研发人员：篠原敬，涩川润，加藤洋，
申请(专利权)人：斯克林集团公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP