【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于大半导体行业的抽真空装置，其特征在于，包括真空泵和用于降低所述真空泵负载的减压模块，所述真空泵包括泵体，泵入口管，五级转子，驱动转子转动的泵马达以及连接所述真空泵和所述减压模块的真空管道。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑洪，
申请(专利权)人：上海协微精密机械有限公司，BSA株式会社，
类型：新型
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。