【技术实现步骤摘要】
一种硅片切割砂浆循环系统
本技术涉及一种循环利用系统,特别是,涉及一种硅片切割砂浆循环系统。
技术介绍
砂浆在切割一次后,大量硅粉、钢线磨损后的金属化合物混入砂浆里,附着并包围在SiC颗粒上,使SiC颗粒在切割前沿硅块表面打滑,切割力减弱;为了消除硅粉及部分金属化合物,每次切割后需要更换大量的砂浆,但经过扫描电镜观察,一次切割后的废砂浆里,90%以上的SiC仍未充分利用,频繁的更换砂浆,造成生产中原料的浪费,不利于降低生产成本。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术的目的在于提供一种硅片切割砂浆循环系统,利用砂浆纯化装置对砂浆进行纯化的同时,补充新的砂浆进入纯化后的砂浆中,使SiC颗粒的保持在有效浓度内,保证生产中切割效率的同时,大大降低了生产成本。 为解决上述问题,本技术所采用的技术方案如下: 一种硅片切割砂浆循环系统,包括硅片切割室、过滤网和砂浆罐,所述过滤网设置在硅片切割室与砂浆罐之间;还包括砂浆纯化装置和砂浆补充罐,所述砂浆纯化装置设置在过滤网与砂浆罐之间,所述砂浆补充罐与砂浆罐通过管道连接;所述硅片切割室、砂浆纯化装置、砂浆罐通过管道依次连接形成循环通路。 优选的,所述砂浆纯化装置为高速离心机。 优选的,所述沙浆纯化装置内设有用于检测SiC颗粒浓度的检测模块。 优选的,所述砂浆罐与砂浆纯化装置、砂浆补充罐之间的管路上设有阀门。 优选的,还包括过滤罐,所述过滤罐设置在砂浆罐与硅片切割室之间的管道上。 优选的,所述过滤罐由罐体、罐盖和内置过滤网组成,所述内置过滤网设置在罐体内,所述罐盖通过螺接设置在罐体顶 ...
【技术保护点】
一种硅片切割砂浆循环系统,包括硅片切割室(1)、过滤网(2)和砂浆罐(3),所述过滤网(2)设置在硅片切割室(1)与砂浆罐(3)之间;其特征在于,还包括砂浆纯化装置(4)和砂浆补充罐(5),所述砂浆纯化装置(4)设置在过滤网(2)与砂浆罐(3)之间,所述砂浆补充罐(5)与砂浆罐(3)通过管道连接;所述硅片切割室(1)、砂浆纯化装置(4)、砂浆罐(3)通过管道依次连接形成循环通路。
【技术特征摘要】
1.一种硅片切割砂浆循环系统,包括硅片切割室⑴、过滤网⑵和砂浆罐(3),所述过滤网(2)设置在硅片切割室(I)与砂浆罐(3)之间;其特征在于,还包括砂浆纯化装置(4)和砂浆补充罐(5),所述砂浆纯化装置(4)设置在过滤网(2)与砂浆罐(3)之间,所述砂浆补充罐(5)与砂浆罐(3)通过管道连接;所述硅片切割室(I)、砂浆纯化装置(4)、砂浆罐(3)通过管道依次连接形成循环通路。2.如权利要求1所述的硅片切割砂浆循环系统,其特征在于,所述砂浆纯化装置(4)为高速离心机。3.如权利要求1所述的硅片切割砂浆循环系统,其特征在于,所述沙浆纯化装置(4)内设有用于检测SiC颗粒浓度的检测模...
【专利技术属性】
技术研发人员:张建,狄红祥,靳达兴,
申请(专利权)人:中卫市银阳新能源有限公司,
类型:新型
国别省市:宁夏;64
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