单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉，包括壳体及设置在壳体内的上部保温桶、中部保温桶、坩埚、加热件和反射板，所述上部保温桶设置在中部保温桶的上部，所述反射板设置在中部保温桶的底部，所述坩埚位于中部保温桶的内部，所述加热件位于坩埚和中部保温桶之间；所述上部保温桶与壳体的侧壁之间设置有上部保温层，所述中部保温桶和壳体的侧壁之间设置有中部保温层，所述反射板和壳体的底壁之间设置有底部保温层。本实用新型专利技术中，单晶炉在上部保温层、中部保温层和底部保温层的共同保温作用下，保证了单晶炉内温度的稳定，减少了热能的损耗，降低了用电成本。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉
本技术涉及半导体领域，特别是，涉及一种单晶炉。
技术介绍
在生产单晶硅棒时，需要使用加热器将坩埚内的多晶硅料加热至熔化，然后再采用直拉法拉制单晶硅棒，在此过程中，需要使用保温材料包裹在加热器外围，以防止热量散失，降低加热器功耗。现有技术中，单晶炉的结构设计不合理，导致保温性能较差，造成电费成本较高。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种保温性能好，可大幅降低用电成本的单晶炉。为解决上述问题，本技术所采用的技术方案如下：一种单晶炉，包括壳体及设置在壳体内的上部保温桶、中部保温桶、坩埚、加热件和反射板，所述上部保温桶设置在中部保温桶的上部，所述反射板设置在中部保温桶的底部，所述坩埚位于中部保温桶的内部，所述加热件位于坩埚和中部保温桶之间；所述上部保温桶与壳体的侧壁之间设置有上部保温层，所述中部保温桶和壳体的侧壁之间设置有中部保温层，所述反射板和壳体的底壁之间设置有底部保温层。优选的，还包括用于将坩埚悬置在中部保温桶内的托杆。优选的，所述托杆的顶端固定有坩埚底座，所述坩埚设置在坩埚底座上。优选的，所述上部保温桶上部开口处设置有导流筒。优选的，所述上部保温层为普通保本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉，其特征在于，包括壳体及设置在壳体内的上部保温桶、中部保温桶、坩埚、加热件和反射板，所述上部保温桶设置在中部保温桶的上部，所述反射板设置在中部保温桶的底部，所述坩埚位于中部保温桶的内部，所述加热件位于坩埚和中部保温桶之间；所述上部保温桶与壳体的侧壁之间设置有上部保温层，所述中部保温桶和壳体的侧壁之间设置有中部保温层，所述反射板和壳体的底壁之间设置有底部保温层。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉，其特征在于，包括壳体及设置在壳体内的上部保温桶、中部保温桶、坩埚、加热件和反射板，所述上部保温桶设置在中部保温桶的上部，所述反射板设置在中部保温桶的底部，所述坩埚位于中部保温桶的内部，所述加热件位于坩埚和中部保温桶之间；所述上部保温桶与壳体的侧壁之间设置有上部保温层，所述中部保温桶和壳体的侧壁之间设置有中部保温层，所述反射板和壳体的底壁之间设置有底部保温层。2.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，还包括用于将坩埚悬置在中部保温桶内的托杆。3.如权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述托杆的顶端固定有坩埚底座，所述坩埚设置在坩埚底座上。4.如权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述上部保温桶上部开口处设置有导流筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：雍华，狄红祥，
申请(专利权)人：中卫市银阳新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏,64