一种切断体及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种在钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝切断工件时，加工变质层深度浅，能够得到平滑的表面的切断体的树脂被覆锯丝的设计方法。(1)以规定的硬度的树脂被覆钢丝，(2)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件，(3)调查工件的切断面的加工变质层深度，(4)确认加工变质层深度的合格与否，(5)不合格时，以更硬的树脂被覆钢丝，通过反复进行上述(2)～(4)，以使工件的切断面的加工变质层深度达到合格的方式调节树脂的硬度。

【技术实现步骤摘要】
树脂被覆锯丝的设计方法 本申请是申请号：201180010405. 8,申请日：2011. 02. 23,专利技术名称：树脂被覆锯 丝的设计方法的申请（PCT/JP2011/054032)的分案申请。
本专利技术涉及以锯床切断硅和陶瓷等的工件时所使用的锯丝，详细地说，是涉及设 计在钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝的方法。
技术介绍
硅和陶瓷等的工件，被安装有锯丝的锯床切断。锯丝沿一个方向或双方向（往返 方向）运行，通过使该锯丝与工件接触，工件被以任意的宽度切割。 在工件的切断时，已知的方法有，一边向锯丝喷射含有磨粒（以下称为游离磨 粒。）的研磨浆一边切断工件的方法（现有方法1)，和使用在基底丝的表面附着固定有磨粒 的带固定磨粒锯丝切断工件的方法（现有方法2)。前者的方法中，喷射的研磨浆所含的游 离磨粒被卷入工件与锯丝之间，锯丝与工件的磨耗被促进，由此工件的磨削加工得到促进， 工件被切断。另一方面，后者的方法中，通过固定在表面的磨粒使工件的磨耗得到促进，从 而工件的磨削加工促进，工件被切断。 另外，在专利文献1中，公开有一种方法（现有方法3)，其是使用以带磨粒的树脂 皮膜被覆高碳钢等的钢丝的外周面的金属丝，一边埋入含有游离磨粒的溶液，一边切断工 件的方法。 于是，以锯丝切断硅的切断体，例如，作为太阳能电池的基板使用。不过，在切断体 的切断面，在切断时形成有加工变质层（也称为损伤层。）。有该加工变质层残留的状态 下，其被指出对于基板的接合品质变差，无法充分地获得作为太阳能电池的特性（专利文 献2)，需要除去该加工变质层。 先行技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开2006 - 179677号公报 专利文献2 :日本特开2000 - 323736号公报 图1表示如上述现有方法1的这样，作为锯丝使用钢丝，向钢丝喷射游离磨粒，一 边卷入磨粒一边进行切断时的情况。若根据本【专利技术者】们的研究则可知，在该方法中，磨粒沿 着对于工件切入钢丝的方向被卷入，并且钢丝与工件的切断面（工件壁面）之间有磨粒卷 入，因此工件的切断面也被实施磨削加工，形成加工变质层。另外判明，切断面的表面粗糙 度也变粗。 图2表示如上述现有方法2、3这样，将固定磨粒固定在锯丝的表面，或一边埋入磨 粒一边切断工件时的情况。根据本【专利技术者】们的研究，这些方法均与上述图1同样，对于工件 的切断面（工件的壁面）也会实施磨削加工，因此加工变质层形成得深。 如上述图1、图2所示，在现有方法中，在切断体的切断面形成有加工变质层，因此 如上述专利文献2所指出的，需要通过下游侧的工序除去该加工变质层。如果省略这一加 工变质层除去工序，则能够提高切断体的成品率和生产率。 另外，上述切断面除了形成加工变质层以外，由于切断时所使用的磨粒还导致有 凹凸形成而变得粗糙。但是切断体的表面通常要求是平滑的，因此在下游侧的工序实施蚀 亥IJ。如果省略该蚀刻工序，则能够提高切断体的生产率。
技术实现思路
本专利技术鉴于这样的状况而完成，其目的在于，提供一种树脂被覆锯丝的设计方法， 其在使用钢丝的表面被覆有树脂的树脂被覆锯丝切断工件时，能够得到加工变质层深度 浅，有着平滑的表面的切断体。 本专利技术包含以下的形态。 [1] 一种树脂被覆锯丝的设计方法，其包括以规定硬度的树脂被覆钢丝，得到树脂 被覆锯丝的工序，其中， 通过反复进行下述（1)?（4)，以使工件的切断面的加工变质层深度合格的方式 调节树脂的硬度。 (1)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件。 (2)调查工件的切断面的加工变质层深度。 (3)确认加工变质层深度的合格与否。 (4)不合格时，用更硬的树脂被覆钢丝。 还有，作为上述合格与否的标准，只要能够得到本专利技术的效果这样的加工变质层 深度即可，例如，可列举如后述这样，加工变质层深度5 μ m以下作为合格的标准。 [2]根据[1]所述的设计方法，其中，所述加工变质层深度比5μπι深时，以更硬的 树脂被覆钢丝。 [3] -种树脂被覆锯丝的设计方法，其包括以规定硬度的树脂被覆钢丝，得到树脂 被覆锯丝的工序，其中， 通过反复进行下述（1)?（4)，以使工件的切断面的表面粗糙度合格的方式调节 树脂的硬度。 (1)以所得到的树脂被覆锯丝切断工件。 (2)调查工件的切断面的表面粗糙度。 (3)确认表面粗糙度的合格与否。 (4)不合格时，以更硬的树脂被覆钢丝。 还有，作为上述合格与否的标准，只要能够得到本专利技术的效果这样的表面粗糙度 即可，例如，可列举如后述这样，表面粗糙度0. 5 μ m以下为合格的标准。 [4]根据[3]所述的设计方法，其中，所述表面粗糙度比0. 5μπι粗时，以更硬的树 脂被覆钢丝。 [5]根据[1]?[4]中任一项所述的设计方法，其中，所述树脂的膜厚为2? 15 μ m〇 [6]根据[1]?[5]中任一项所述的设计方法，其中，所述钢丝的线径为130μπι以 下。 [7] -种以树脂被覆锯丝切断工件来制造切断体的方法，其中，包括如下工序：对 于以调节硬度树脂被覆钢丝的树脂被覆锯丝喷射磨粒的工序；以及一边利用所述树脂抑制 磨粒被卷入到切断面与树脂被覆锯丝之间，一边使磨粒沿着所述被覆锯丝对于所述工件切 入的方向卷入，从而切断工件的工序。 [8]根据[7]所述的制造方法，其中，以使所述工件的切断面的加工变质层深度为 5μπι以下而进行切断。 [9]根据[7]所述的制造方法，其中，以使所述工件的切断面的表面粗糙度为 0. 5μπι以下而进行切断。 [10]根据[7]?[9]中任一项所述的制造方法，其中，使所述工件的切断量相对于 树脂被覆锯丝的线径为1?1. 1倍，如此进行切断。 [11]根据[7]?[10]中任一项所述的制造方法，其中，作为所述磨粒，喷射金刚石 磨粒来进行切断。 [12]根据[7]?[11]中任一项所述的制造方法，其中，作为所述树脂，使用120°C 下的硬度为〇. 〇7GPa以上的。 [13] -种根据[7]?[12]的任一种方法制造的切断体。 [14] 一种[7]?[12]的任一种制造方法所使用的树脂被覆锯丝。 根据本专利技术，以树脂被覆锯丝的表面，并且调节其硬度。因此，能够一边卷入磨粒 而进行切断，一边利用树脂抑制磨粒卷入切断面与树脂被覆锯丝之间。因此能够抑制切断 体表面的加工变质层的形成。另外，若使用该树脂被覆锯丝切断工件，则能够制造具有平滑 的表面的切断体。因此，能够省略以下游侧的工序除去加工变质层，或者用于使表面平滑的 蚀刻工序，能够提高切断体的生产率。 此外，如果使用本专利技术的树脂被覆锯丝，则可抑制磨粒被卷入到切断面与树脂被 覆锯丝之间，因此能够减小切断量，能够提高切断体的生产率。 【附图说明】 图1是表示以钢丝切断工件时的情况的模式图。 图2是表示以带固定磨粒的钢丝切断工件时的情况的模式图。 图3是表示以树脂被覆锯丝切断工件时的情况的模式图。 图4是拍摄表2的No. 32的工件切断后的树脂被覆锯丝（比较例）的表面的附图 代用照片。 图5 (a)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种切断体的制造方法，其特征在于，在用树脂被覆锯丝切断工件时，向用调节了硬度的树脂被覆钢丝而成的树脂被覆锯丝喷射磨粒，一边利用所述树脂抑制磨粒卷入切断面和树脂被覆锯丝之间，一边使磨粒沿着所述被覆锯丝相对于所述工件切入的方向卷入而切断工件。

【技术特征摘要】
2010.02.23 JP 2010-038017;2010.07.15 JP 2010-161091. 一种切断体的制造方法，其特征在于，在用树脂被覆锯丝切断工件时，向用调节了硬 度的树脂被覆钢丝而成的树脂被覆锯丝喷射磨粒，一边利用所述树脂抑制磨粒卷入切断面 和树脂被覆锯丝之间，一边使磨粒沿着所述被覆锯丝相对于所述工件切入的方向卷入而切 断工件。2. 根据权利要求1所述的制造方法，其中，以使所述工件的切断面的加工变质层深度 达到5 μ m以...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉川一男，浦塚昭典，家口浩，古保里隆，松岛义武，
申请(专利权)人：株式会社钢臂功科研，
类型：发明
国别省市：日本;JP