用于制造合成的石英玻璃晶粒的方法技术

技术编号:10880040 阅读:124 留言:0更新日期:2015-01-08 04:26
石英玻璃晶粒的制造包括:使热解制造的硅酸粒化以及形成SiO2颗粒(9)、通过在含卤素的气氛中加热来干燥并且净化SiO2-颗粒(9)以及在处理气体中使SiO2-颗粒玻化,该处理气体包含至少30%体积百分比的氦气和/或氢气。该过程是耗时和高成本的。为了说明从多孔的SiO2颗粒(9)出发使得能够廉价地制造适于熔化由石英玻璃制成的无气泡的部件的、紧密的合成石英玻璃晶粒的方法,按本发明专利技术提出,分别在转筒烘箱(1)的围绕中轴线(7)旋转的转筒(6)中进行SiO2颗粒(9)的净化和玻化以及玻化的石英玻璃晶粒的后处理,其中转筒(6)在玻化时具有由陶瓷材料制成的内壁,并且其中玻化的石英玻璃晶粒在包含少于20%的氦气或氢气的气氛中在300℃或更高的操作温度中并且在至少10分钟的操作持续时间中经历后处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】石英玻璃晶粒的制造包括:使热解制造的硅酸粒化以及形成SiO2颗粒(9)、通过在含卤素的气氛中加热来干燥并且净化SiO2-颗粒(9)以及在处理气体中使SiO2-颗粒玻化,该处理气体包含至少30%体积百分比的氦气和/或氢气。该过程是耗时和高成本的。为了说明从多孔的SiO2颗粒(9)出发使得能够廉价地制造适于熔化由石英玻璃制成的无气泡的部件的、紧密的合成石英玻璃晶粒的方法,按本专利技术提出,分别在转筒烘箱(1)的围绕中轴线(7)旋转的转筒(6)中进行SiO2颗粒(9)的净化和玻化以及玻化的石英玻璃晶粒的后处理,其中转筒(6)在玻化时具有由陶瓷材料制成的内壁,并且其中玻化的石英玻璃晶粒在包含少于20%的氦气或氢气的气氛中在300℃或更高的操作温度中并且在至少10分钟的操作持续时间中经历后处理。【专利说明】
本专利技术涉及一种用于通过使松散(Rieselfjihig)的S12颗粒玻化来制造合成石英玻璃晶粒的方法,包括以下方法步骤:Ca)使热解地制造的娃酸粒化以及由多孔的颗粒微粒形成S12颗粒, (b)干燥S12颗粒,(c)通过在含氯的气氛中加热来净化S12颗粒,Cd本文档来自技高网...
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【技术保护点】
一种用于通过玻化松散的SiO2颗粒来制造合成石英玻璃晶粒的方法,包括以下方法步骤:(a)在形成由多孔的颗粒微粒(9)构成的SiO2颗粒的情况下使热解制造的硅酸粒化,(b)干燥SiO2颗粒,(c)通过在含卤素的气氛中加热来净化SiO2颗粒,(d)在包含至少30%体积百分比的氦气和/或氢气的处理气体中在形成玻化的石英玻璃颗粒的情况下使净化的SiO2颗粒玻化,其特征在于,在根据方法步骤(d)进行玻化之后获得的玻化的石英玻璃晶粒(15)在包含小于20%的氦气或氢气的气氛中在300℃或更高的处理温度时在至少10分钟的处理持续时间期间经历后处理,其中SiO2颗粒的净化和玻化以及玻化的石英玻璃晶粒的后处理分...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:W莱曼T凯泽尔
申请(专利权)人:赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
类型:发明
国别省市:德国;DE

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