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石英玻璃晶粒的制造包括：使热解制造的硅酸粒化以及形成SiO2颗粒（9）、通过在含卤素的气氛中加热来干燥并且净化SiO2-颗粒（9）以及在处理气体中使SiO2-颗粒玻化，该处理气体包含至少30%体积百分比的氦气和/或氢气。该过程是耗时和高成本...
该专利属于赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司授权不得商用。

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