【技术实现步骤摘要】
一种娃片冷却装置
本技术涉及硅片生产加工领域，特别是，涉及一种硅片冷却装置。
技术介绍
硅片的切割过程中，会产生大量的热量，导致砂浆内的硅与水会发生化学反应，造成砂浆的粘度急剧升高，而流动性降低，从而使得砂浆夹在相邻两硅片之间不容易滴落并逐渐累积，在硅棒两端产生较大的侧向力，使硅片容易产生外张崩边，甚至会发生断片的严重事故。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种硅片冷却装置，通过冷却槽的设计，降低切割装置内温度，减少高温对砂浆的影响，从而克服砂浆积累对硅片的影响，提高了切割硅片的质量，通过提高成品率进一步降低生产成本。 为解决上述问题，本技术所采用的技术方案如下: 一种硅片冷却装置，包括工件板和用于固定连接硅块的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一侧，所述工件板与玻璃板粘接面上设有冷却槽。 优选的，所述冷却槽两端设有冷却液进出口。 优选的，所述冷却槽内设有冷却管，所述冷却管在冷却槽两端设有冷却液进出口。 优选的，所述冷却管为金属管。 优选的，所述冷却槽为平行设置的直线型槽。 优选的，所述冷却槽为平行设置的...
【技术保护点】
一种硅片冷却装置，其特征在于：包括工件板(1)和用于固定连接硅块的玻璃板(2)，所述玻璃板(2)粘接在工件板(1)一侧，所述工件板(1)与玻璃板(2)粘接面上设有冷却槽(3)。
【技术特征摘要】
1.一种硅片冷却装置，其特征在于:包括工件板(I)和用于固定连接硅块的玻璃板(2)，所述玻璃板(2)粘接在工件板(I) 一侧，所述工件板(I)与玻璃板(2)粘接面上设有冷却槽⑶。2.如权利要求1所述的硅片冷却装置，其特征在于:所述冷却槽(3)两端设有冷却液进出口。3.如权利要求2所述的硅片冷却装置，其特征在于:所述冷却槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳达兴，张建，狄红祥，
申请(专利权)人：中卫市银阳新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
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