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一种硅片冷却装置制造方法及图纸
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下载一种硅片冷却装置的技术资料
文档序号:10876110
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本实用新型公开了一种硅片冷却装置,包括工件板和用于固定连接硅块的玻璃板,所述玻璃板粘接在工件板一侧,所述工件板与玻璃板粘接面上设有冷却槽。通过冷却槽的设计,降低切割装置内温度,减少高温对砂浆的影响,从而克服砂浆积累对硅片的影响,提高了切割硅...
该专利属于中卫市银阳新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中卫市银阳新能源有限公司授权不得商用。
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