【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开了一种用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头，包括线偏振激光源模块、物镜、分光器模块、自聚焦伺服模块、离焦量测量模块、角度测量模块和机架；本技术通过将一束能量呈高斯分布的线偏振激光聚焦到被测表面上，从反射光中提取被测表面的离焦量并以此作为自聚焦伺服单元的反馈信号实现自动聚焦，同时在对焦的过程中完成对被测面倾角的测量，有效消除了表面倾角对探头灵敏度的影响；能够通过测得的离焦量消除伺服跟踪误差造成的形貌测量误差，实现了纳米级的精度和毫米级的量程，本技术结合高精度运动机构能够实现对自由曲面轮廓的精密扫描测量。【专利说明】一种用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头
本技术涉及形貌测量领域，尤其涉及一种用于自由曲面形貌测量的光学自聚 焦探头。
技术介绍
现代光学技术的迅猛发展，对光学零件提出了越来越高的要求，如高分辨率对地 观测光学系统、光刻机物镜、激光核聚变光学系统中，不但要求光学零件具有高的面形精 度，面形也越来越复杂，传统的球面光学元件已经无法满足要求，于此同时，某些场合要求 系统小巧轻便，而传统的球面光学元件往往需要构建...
【技术保护点】
一种用于自由曲面形貌测量的光学自聚焦探头，其特征在于，包括线偏振激光源模块、物镜（12）、分光器模块、自聚焦伺服模块、离焦量测量模块、角度测量模块和机架（27）；其中，所述线偏振激光源模块包括半导体激光器（24）、第一光纤耦合器（23）、单模光纤（22）、第二光纤耦合器（20）、光纤准直器（21）和偏振器（19）；分光器模块包括偏振分光棱镜（7）、1/4λ玻片（8）、转向镜（5）和非偏振分光棱镜（6）；自聚焦伺服模块包括音圈电机、超精密导轨（9）及滑块（10）、光栅尺（16）及光栅尺读数头（17）、聚焦控制器（25）、音圈电机驱动器（18），其中，音圈电机由线圈（11）和磁...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：居冰峰，杜慧林，孙安玉，孙泽青，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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