曲面衍射光栅的模型的制造方法、曲面衍射光栅的制造方法、曲面衍射光栅以及光学装置制造方法及图纸

在通过机械加工在曲面基板上制造锯齿形状的衍射光栅图案时，工具的角度固定，因而在曲面的中心部、外周部处成为衍射光栅图案的角度不同的形状。另外，在通过半导体工艺在曲面基板上进行光刻、蚀刻，从而形成锯齿形状的衍射光栅图案时，需要调整光刻时的焦点深度和蚀刻角度，从而导致成本变高。本发明专利技术的曲面衍射光栅的模型的制造方法包括：在金属制平面衍射光栅基板上形成衍射光栅图案的工序、在金属制平面衍射光栅基板的、与形成有衍射光栅图案的面相反侧的面上形成焊料的工序；在曲面基板上将与焊料共晶的接合材料成膜的工序；以及利用曲面固定基板和曲面固定基板夹住金属制平面衍射光栅基板并施加负荷的工序。

Method for manufacturing surface diffraction grating model, method for manufacturing curved surface diffraction grating, curved surface diffraction grating and optical device

In the diffraction grating pattern of sawtooth shape in the substrate surface manufactured by machining, the tool angle is fixed, a diffraction grating pattern of different shape is therefore in the center and surface of the peripheral portion. In addition, in the process of the semiconductor lithography, etching the substrate surface, the diffraction grating pattern so as to form a zigzag shape, need to adjust the depth of focus lithography and etching angle, which leads to high cost. Including the manufacturing method of the invention of the diffraction grating surface model: the formation of a diffraction grating pattern on a metal plane diffraction grating on the substrate forming process, solder process in metal plane diffraction grating substrate, and forming a diffraction grating pattern surface on the opposite side of the surface; in the bonding material film substrate surface process general and eutectic solder; and the use of surface fixed substrate and the fixed substrate surface clamped metal plane diffraction grating substrate and the applied load process.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及曲面衍射光栅的模型的制造方法、曲面衍射光栅的制造方法、曲面衍射光栅以及光学装置，尤其涉及将光进行分光、聚光的曲面衍射光栅以及使用该曲面衍射光栅的光学装置。
技术介绍
作为本
的
技术介绍
，作为搭载于分光光度计等光学装置上的光学元件的曲面衍射光栅具有光的分光、聚光两种性能，能够减少部件数量，从而能够简化装置的构成。目前，曲面衍射光栅通过利用刻线机等机械在曲面基板上进行刻印的方法制造衍射光栅的模型，并将刻印得到的图案转印至树脂、金属等上，从而制造出曲面衍射光栅。作为曲面衍射光栅的制造方法，日本专利特开2014-134568号公报(专利文献1)中公开了如下方法，即：通过全息曝光法在凹面基板上形成衍射光栅的抗蚀图案，并从一个点或者一条线照射活性离子束来进行蚀刻，从而制成具有锯齿形状的衍射光栅图案的凹面闪耀型衍射光栅。在日本专利特开昭61-72202号公报(专利文献2)中，在树脂、金属薄膜等的柔软材料上形成衍射光栅图案，并将其贴在呈规定曲率弯曲的基板上，从而制成模型。使该模型与固化前的液状的曲面衍射光栅材料接触，并使其固化，从而制造曲面衍射光栅。在日本专利特开平8-2961本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，包括：在平面基板上形成衍射光栅图案的工序；在所述平面基板的、与形成有衍射光栅图案的面相反侧的面上形成第1接合材料的工序；在曲面基板上将与所述第1接合材料共晶的第2接合材料成膜的工序；以及利用所述曲面基板和凹面基板夹住所述平面基板并施加负荷的工序。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.16 JP 2014-2113101.一种曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，包括：在平面基板上形成衍射光栅图案的工序；在所述平面基板的、与形成有衍射光栅图案的面相反侧的面上形成第1接合材料的工序；在曲面基板上将与所述第1接合材料共晶的第2接合材料成膜的工序；以及利用所述曲面基板和凹面基板夹住所述平面基板并施加负荷的工序。2.如权利要求1所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，通过机械加工执行在所述平面基板上形成衍射光栅图案的工序。3.如权利要求1所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，通过光刻和蚀刻执行在所述平面基板上形成衍射光栅图案的工序。4.如权利要求1所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，所述衍射光栅图案呈锯齿形状。5.如权利要求1所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，所述平面基板为金属。6.如权利要求1所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，通过在另一平面基板上形成衍射光栅图案，在所述另一平面基板的形成有衍射光栅图案的面上层叠基板材料，并剥离所述基板材料，将衍射光栅图案转印至所述基板材料上，从而制造形成有衍射光栅图案的平面基板。7.如权利要求6所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，通过机械加工执行在另一平面基板上形成衍射光栅图案的工序。8.如权利要求6所述的曲面衍射光栅的模型的制造方法，其特征在于，通过光刻和蚀刻执行在另一平面基板上形成衍射光栅图案的工序。9.如权利要求6所述的曲面衍射光栅的模型的...

【专利技术属性】
技术研发人员：青野宇纪，松井繁，江畠佳定，八重樫健太，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本;JP