【技术实现步骤摘要】
晶圆切割传送装置
本技术涉及晶圆制作
,尤其涉及一种晶圆切割传送装置
技术介绍
随着硅半导体集成电路的广泛应用,硅半导体集成电路都要用到晶圆,传统的晶圆切割设备都是采用人工对晶圆进行传送,效率低下,传送时步骤不一致,导致切割出来的晶圆芯片大小不一致,生产过程出现不稳定现象,由于这种方式的受到人为因素的影响,晶圆芯片在切割过程中会出现局部变形,极易损坏芯片。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种晶圆切割传送装置,该晶圆切割传送装置可以传送同步、且在速度稳定的情况下对晶圆进行传送,从而使得生产出来的晶圆芯片稳定性好,大小尺寸一致,不会出现局部变形,外观效果好。 为解决上述技术问题,本技术提供的晶圆切割传送装置包括装置本体、容置于所述装置本体内的控制组件、装设于所述装置本体上的横向运动结构组件、装设于所述横向运动结构组件上的垂直运动结构组件,所述垂直运动结构组件包括吸盘结构、至少三个装设于所述吸盘结构上的用于将晶圆吸起的吸盘,所述横向运动结构组件可相对于所述装置本体直线来回运动,所述垂直运动结构组件可相对于所述装置本体上下移动。 优选地,所述横向运动结构组件包括横向运动结构组件本体、装设于所述横向驱动结构组件本体上的丝杆、与丝杆装配在一起的丝杆座、与丝杆装配在一起并用于驱动所述丝杆转动的电机。 优选地,所述垂直运动结构组件包括装设于所述横向运动结构组件上的垂直运动结构本体、装设于垂直运动结构本体远离横向运动结构组件一端的气缸,所述气缸装设于所述吸盘结构上。 优选地,所述横向运动结构组件还包括装设于所述横向驱动机 ...
【技术保护点】
晶圆切割传送装置,其特征在于:包括装置本体、容置于所述装置本体内的控制组件、装设于所述装置本体上的横向运动结构组件、装设于所述横向运动结构组件上的垂直运动结构组件,所述垂直运动结构组件包括吸盘结构、至少三个装设于所述吸盘结构上的用于将晶圆吸起的吸盘,所述横向运动结构组件可相对于所述装置本体直线来回运动,所述垂直运动结构组件可相对于所述装置本体上下移动。
【技术特征摘要】
1.晶圆切割传送装置,其特征在于:包括装置本体、容置于所述装置本体内的控制组件、装设于所述装置本体上的横向运动结构组件、装设于所述横向运动结构组件上的垂直运动结构组件,所述垂直运动结构组件包括吸盘结构、至少三个装设于所述吸盘结构上的用于将晶圆吸起的吸盘,所述横向运动结构组件可相对于所述装置本体直线来回运动,所述垂直运动结构组件可相对于所述装置本体上下移动。2.根据权利要求1所述的晶圆切割传送装置,其特征在于:所述横向运动结构组件包括横向运动结构组件本体、装设于所述横向驱动结构组件本体上的丝杆、与丝杆装配在一起的丝杆座、与丝杆装配在一起并用于驱动所述丝杆转动的电机。3.根据权利要求1所述的晶圆切割传送装置,其特征在于:所述垂直运动结构组件包括装设于所述横向运动结构组件上的垂直运动结构本体、装设于垂直运动结构本体远...
【专利技术属性】
技术研发人员:邹武兵,张德安,段家露,曾波,余猛,
申请(专利权)人:深圳市韵腾激光科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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