脱模处理方法和防反射膜的制造方法技术

本发明专利技术的实施方式的脱模处理方法包含：准备包含氟系硅烷偶联剂和溶剂的脱模剂和在表面具有多孔氧化铝层(14)的模具(100A)的工序(a)；在表面施加脱模剂的工序(b)；以及在工序(b)前或后，在相对湿度为50％以上的环境中将表面加热到40℃以上且不足100℃的温度的工序(c)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脱模处理方法和防反射膜的制造方法
本专利技术涉及脱模处理方法和防反射膜的制造方法。在此所说的“模具”包含用于各种加工方法(压印、铸造)的模具，有时也称为压模。另外，也可用于印刷(包含纳米印刷)。
技术介绍
在电视机、手机等所用的显示装置、照相机透镜等光学元件中，通常为了减少表面反射来提高光的透射量而实施防反射技术。这是因为，例如，如光在空气和玻璃的界面入射的情况那样，在光通过折射率不同的介质的界面的情况下，由于菲涅耳反射等，光的透射量减少，视认性降低。近年来，作为防反射技术，在基板表面形成凹凸的周期被控制在可见光(λ＝380nm～780nm)的波长以下的微细的凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1至4)。构成实现防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小为10nm以上且不足500nm。该方法利用了所谓的蛾眼(Motheye；蛾子的眼睛)结构的原理，使入射到基板的光的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率到基板的折射率为止连续地发生变化，由此抑制希望防止反射的波段的反射。蛾眼结构具有除了在宽广的波段内能发挥入射角依赖性小的防反射作用之外，还能应用于很多的材料、能将凹凸图案直接形成于基板等优点。其结果是：能以低成本提供高性能的防反射膜(或者防反射表面)。作为蛾眼结构的制造方法，使用对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2至4)。在此，简单地说明对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层。以往，利用了阳极氧化的多孔质结构体的制造方法作为能形成有规律地排列的纳米级圆柱状细孔(微细的凹部)的简单方法而受到关注。当将基材浸渍到硫酸、草酸或者磷酸等酸性电解液或者碱性电解液中，将其作为阳极施加电压时，能在基材的表面同时进行氧化和溶解，形成在其表面具有细孔的氧化膜。该圆柱状的细孔相对于氧化膜垂直地进行取向，在一定的条件下(电压、电解液的种类、温度等)示出自组织的规则性，因此可期待应用于各种功能材料。在特定的条件下形成的多孔氧化铝层在从垂直于膜面的方向观看时取大致正六边形的单元以二维最高密度进行填充的排列。各个单元在其中央具有细孔，细孔的排列具有周期性。单元是局部的皮膜的溶解和生长的结果所形成的，在被称为阻挡层的细孔底部，皮膜的溶解和生长同时进行。已知此时相邻的细孔间的距离(中心间距离)相当于阻挡层的厚度的大致2倍，与阳极氧化时的电压大致成比例。另外，已知细孔的直径依赖于电解液的种类、浓度、温度等，但是，通常是单元的尺寸(从垂直于膜面的方向观看时的单元的最长对角线的长度)的1/3程度。这样的多孔氧化铝的细孔在特定的条件下形成具有高规则性的(具有周期性的)排列，另外根据条件形成某种程度规则性紊乱的排列，或者形成不规则(不具有周期性)的排列。专利文献2公开了如下方法：使用在表面具有阳极氧化多孔氧化铝膜的压模来形成防反射膜(防反射表面)。另外，在专利文献3中公开了如下技术：通过反复进行铝的阳极氧化和孔径扩大处理来形成细孔孔径连续地变化的锥形形状的凹部。本申请人在专利文献4中公开了如下技术：使用微细的凹部具有阶梯状的侧面的氧化铝层来形成防反射膜。另外，如专利文献1、2以及4所记载的那样，除了蛾眼结构(微观结构)之外，还设置大于蛾眼结构的凹凸结构(宏观结构)，由此能对防反射膜(防反射表面)赋予防眩功能。构成发挥防眩功能的凹凸的凸部的二维大小为1μm以上且不足100μm。在本说明书中援用专利文献1、2以及4的全部公开内容用于参考。通过利用阳极氧化多孔氧化铝膜，能容易制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(下面称为“蛾眼用模具”。)。特别是当如专利文献2和4所记载的那样，将铝的阳极氧化膜的表面原样用作模具时，降低制造成本的效果大。将能形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面的结构称为“反转的蛾眼结构”。作为使用蛾眼用模具的防反射膜的制造方法，已知使用光固化性树脂的方法。首先，在基板上施加光固化性树脂。接着，将实施了脱模处理的蛾眼用模具的凹凸表面在真空中按压到光固化性树脂，由此在蛾眼用模具的表面的凹凸结构中填充光固化性树脂。接着，对凹凸结构中的光固化性树脂照射紫外线，使光固化性树脂固化。然后，从基板分离出蛾眼用模具，由此使转印有蛾眼用模具的凹凸结构的光固化性树脂的固化物层形成于基板的表面。使用光固化性树脂的防反射膜的制造方法记载于例如专利文献4。作为用于防反射膜的制造的具有多孔氧化铝层的模具的脱模处理，例如，在专利文献5中记载了如下：利用喷涂法施加氟系脱模剂，由此进行脱模处理。另外，在专利文献6中记载了如下：在利用注模成型法制造透镜时，为了将脱模剂均匀地施加到模具，在仅施加1次用溶剂稀释的脱模剂后仅施加溶剂，由此能遍及整体均匀地形成脱模剂的层的厚度。现有技术文献专利文献专利文献1：特表2001－517319号公报专利文献2：特表2003－531962号公报专利文献3：特开2005－156695号公报专利文献4：国际公开第2006/059686号专利文献5：国际公开第2008/001847号专利文献6：特开2005－270801号公报专利文献7：国际公开第2011/111669号
技术实现思路
专利技术要解决的问题本申请人开发了如下方法：使用辊状的蛾眼用模具，利用辊对辊方式有效地制造防反射膜(例如，专利文献7)。众所周知，氟系脱模剂具有比硅酮系脱模剂等其它脱模剂优良的脱模性，但是在利用辊对辊方式的连续的制造工艺中，脱模性的降低快，成为阻碍量产效率提高的主要原因。在此例示防反射膜用的辊状的蛾眼用模具说明现有技术的问题，但是脱模性的持续性低的问题在表面具有亚微米的微细的凹部的多孔氧化铝层的模具中是共同的问题。本专利技术的目的在于改善在表面具有多孔氧化铝层的模具的脱模性的持续性。用于解决问题的方案本专利技术的实施方式的脱模处理方法包含：准备包含氟系硅烷偶联剂和溶剂的脱模剂和在表面具有多孔氧化铝层的模具的工序(a)；在未施加脱模剂的上述多孔氧化铝层的表面施加上述脱模剂的工序(b)；在上述工序(b)前在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述多孔氧化铝层的上述表面加热到40℃以上且不足100℃的温度的工序(c1)；以及在上述工序(b)后在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述表面加热到50℃以上且不足100℃的温度的工序(c2)。在某实施方式中，上述工序(c)包含在上述工序(b)前在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述表面加热到40℃以上且不足100℃的温度的工序(c1)。某实施方式的脱模处理方法还包含用氟系溶剂冲洗施加了上述脱模剂的上述表面的工序。在某实施方式中，上述工序(c)包含在上述工序(b)后在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述表面加热到50℃以上且不足100℃的温度的工序(c2)。在某实施方式中，上述工序(c)包含：在上述工序(b)前在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述表面加热到40℃以上且不足100℃的温度的工序(c1)；以及在上述工序(b)后在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述表面加热到50℃以上且不足100℃的温度的工序(c2)。某实施方式的脱模处理方法还包含用氟系溶剂冲洗施加了上述脱模剂的上述表面的工序。在某实施方式中，上述脱模剂所包含的上述氟系硅烷偶联剂的浓度不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脱模处理方法，其特征在于，包含：准备包含氟系硅烷偶联剂和溶剂的脱模剂和在表面具有多孔氧化铝层的模具的工序(a)；在上述表面施加上述脱模剂的工序(b)；以及在上述工序(b)前或后，在相对湿度为50％以上的环境中将上述表面加热到40℃以上且不足100℃的温度的工序(c)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.03.26 JP 2012-0692291.一种脱模处理方法，其特征在于，包含：准备包含氟系硅烷偶联剂和溶剂的脱模剂和在表面具有多孔氧化铝层的模具的工序(a)；在未施加脱模剂的上述多孔氧化铝层的表面施加上述脱模剂的工序(b)；在上述工序(b)前在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述多孔氧化铝层的上述表面加热到40℃以上且不足100℃的温度的工序(c1)；以及在上述工序(b)后在相对湿度为50％以上且90％以下的环境中将上述模具的上述表面加热到50℃以上且不足100℃的温度的工序(c2)，施加上述脱模剂的工序仅为工序(b)。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林秀和，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP