【技术实现步骤摘要】
基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器
本专利技术涉及激光器
,更具体地说,特别涉及一种基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器。
技术介绍
激光加工技术作为先进制造技术之一,在传统产业改造、加工技术革新、国防信息化等方面发挥着重要作用,激光被誉为“万能加工工具”、未来制造系统的共同加工手段。例如近年来,广泛应用于薄钢板、不锈钢、铝合金板、硬质合金等金属材料的切割、打标、冲孔的1064nm红外激光加工系统;以及最近几年逐渐兴起用于LED显示屏、手机面板、液晶面板、陶瓷、玻璃、PCB板、太阳能电池片等非金属材料的切割、钻孔的355nm紫外激光加工系统。 但是目前大部分激光器要不是单一波长输出,例如,专利“一种全固态355nm激光器(CN201310389409.2)”等,要么是双波长同时输出,如专利“红绿双波长激光器” (CN02117364.8)等,不能自由切换选择某一波长输出或者选择双波长同时输出,即使目前有选择波长输出的激光器也是几种波长分几路分别同时输出,相当于 ...
【技术保护点】
一种基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块,用于将泵浦模块产生的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的液晶可变相位延迟器型波长自由切换系统,以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。
【技术特征摘要】
1.一种基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块,用于将泵浦模块产生的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的液晶可变相位延迟器型波长自由切换系统,以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。2.根据权利要求1所述的基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:还包括全反镜(3)和输出镜(14),所述全反镜(3)的光轴与输出镜(14)的光轴具有一夹角,所述1064nm波长谐振腔为由全反镜(3)和输出镜(14)构成的谐振腔。3.根据权利要求2所述的基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:还包括依次设置的折叠镜(9)和凹面镜(12),所述折叠镜(9)和凹面镜(12)构成的光路的光轴与全反镜(3)的光轴具有一夹角,所述355nm波长谐振腔为由全反镜⑶和凹面镜(12)构成的谐振腔。4.根据权利要求3所述的基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:所述355nm波长谐振腔的形状为V形结构。5.根据权利要求3所述的基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:还包括设于折叠镜(9)和凹面镜(12)之间的倍频单元,所述倍频单元包括依次设置的二倍晶体(10)和三倍晶体(11),所述二倍晶体(10)和三倍晶体(11)构成的光路的光轴与折叠镜(9)和凹面镜(12)构成的光路的光轴共线。6.根据权利要求5所述的基于液晶可变相位延迟器的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:所述液晶可变相位延迟器型波长自由切换系统设于全反镜(3)的输出侧,包括依次设置的起偏器¢)、液晶可变相位延迟器(7)和偏振分光棱镜(8),所述起偏器(6)和液晶可变相位延迟器(7)构成的光路的光轴与全反镜(3)的光路共线,所述起偏器(6)用于产生一线S偏振光,所述液晶可变相位延迟器(7)用于根据所加载的电压调制光的偏振以产生S偏振光、S+P偏振光或P偏振光;在液晶可变相位延迟器(7)在未加载电压时,产生S偏振光,在液晶可变相位延迟器(7)在加载电压时,产生P偏振光或S+P偏振光;且当液晶可变相位延迟器(X)产生S偏振光时,该S偏振光经偏振分光棱镜(8)输出至1064nm波长谐振腔中产生1064nm波长激光,当液晶可变相位延迟器(7)产生P偏振...
【专利技术属性】
技术研发人员:何铁锋,陈义红,陈聪,吴热平,
申请(专利权)人:广州安特激光技术有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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