一种高精度快速扫描振镜及驱动方法技术

本发明专利技术属于扫描振镜技术领域，提供一种高精度快速扫描振镜及驱动方法，扫描振镜包括：第一扫描振镜偏转镜片、第二扫描振镜偏转镜片、第一振镜转轴、第二振镜转轴、第三振镜转轴和第四振镜转轴；第一振镜转轴和第二振镜转轴组合驱动第一扫描振镜偏转镜片偏转；第三振镜转轴和第四振镜转轴组合驱动第二扫描振镜偏转镜片偏转；第一扫描振镜偏转镜片和第二扫描振镜偏转镜片用于反射激光光束；第一扫描振镜偏转镜片和第二扫描振镜偏转镜片组合实现扫描。本发明专利技术提高了振镜的扫描精度和工作效率，有利于扫描振镜性能的发挥。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及扫描振镜，尤其涉及一种高精度快速扫描振镜及驱动方法。

技术介绍

1、目前，以振镜为关键部件的科研成果正越来越在国民经济中发挥作用，人们对振镜也提出更高的要求，其中精度高、速度快、偏角大、可靠性好是主要的性能要求，尤其是精度和速度二个指标尤为重要；

2、现有的振镜结构大多依托单个反射镜工作并且采取有限的驱动电压进行驱动控制，导致振镜的扫描精度和扫描速度都受到限制；在多种类别的复杂的工作面的扫描过程中，由于振镜的反射的激光光束的焦距有限，也会影响到扫描的质量和效率，满足不了预期的扫描要求。

3、因此，有必要提供一种高精度快速扫描振镜及驱动方法。

技术实现思路

1、本专利技术提供了一种高精度快速扫描振镜及驱动方法，通过基于两个反射镜，并利用不同的驱动电压值分别控制反射镜，实现组合扫描工作，提高了振镜的扫描精度和工作效率，有利于扫描振镜性能的发挥。

2、本专利技术提供了一种高精度快速扫描振镜，包括：第一扫描振镜偏转镜片、第二扫描振镜偏转镜片、第一振镜转轴、第二振镜转轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高精度快速扫描振镜，其特征在于，包括：激光器、第一扫描振镜偏转镜片、第二扫描振镜偏转镜片、第一振镜转轴、第二振镜转轴、第三振镜转轴和第四振镜转轴；第一振镜转轴、第二振镜转轴连接在第一扫描振镜偏转镜片上，第三振镜转轴、第四振镜转轴连接在第二扫描振镜偏转镜片上；第一振镜转轴和第二振镜转轴组合驱动第一扫描振镜偏转镜片偏转；第三振镜转轴和第四振镜转轴组合驱动第二扫描振镜偏转镜片偏转；第一振镜转轴的第一驱动电压包括若干个固定电压值，第二振镜转轴的第二驱动电压包括若干个固定电压值；第三振镜转轴的第三驱动电压包括若干个浮动电压值，第四振镜转轴的第四驱动电压包括若干个浮动电压值；第一扫描振镜偏转...

【技术特征摘要】

1.一种高精度快速扫描振镜，其特征在于，包括：激光器、第一扫描振镜偏转镜片、第二扫描振镜偏转镜片、第一振镜转轴、第二振镜转轴、第三振镜转轴和第四振镜转轴；第一振镜转轴、第二振镜转轴连接在第一扫描振镜偏转镜片上，第三振镜转轴、第四振镜转轴连接在第二扫描振镜偏转镜片上；第一振镜转轴和第二振镜转轴组合驱动第一扫描振镜偏转镜片偏转；第三振镜转轴和第四振镜转轴组合驱动第二扫描振镜偏转镜片偏转；第一振镜转轴的第一驱动电压包括若干个固定电压值，第二振镜转轴的第二驱动电压包括若干个固定电压值；第三振镜转轴的第三驱动电压包括若干个浮动电压值，第四振镜转轴的第四驱动电压包括若干个浮动电压值；第一扫描振镜偏转镜片和第二扫描振镜偏转镜片用于反射激光器发射的激光光束到工作面上。

2.根据权利要求1所述的一种高精度快速扫描振镜，其特征在于，第一扫描振镜偏转镜片按照预设的第一扫描轨迹进行扫描，第二扫描振镜偏转镜片按照预设的第二扫描轨迹进行扫描；第二扫描轨迹包括第一区间和第二区间；第一区间为：第二扫描轨迹与第一扫描轨迹重叠的区间；第二区间为：第二扫描轨迹与第一扫描轨迹未重叠的区间。

3.根据权利要求1所述的一种高精度快速扫描振镜，其特征在于，第一振镜转轴为主控制轴，用于对第一扫描振镜偏转镜片镜进行横向距离偏移的控制；第二振镜转轴为辅助控制轴，用于对第一扫描振镜偏转镜片进行第一辅助控制；第一辅助控制包括对第一扫描振镜偏转镜片偏转角度按照预设的第一调整范围和第一调整幅度进行调整；第三振镜转轴为主控制轴，用于对第二扫描振镜偏转镜片进行横向距离偏移的控制；第四振镜转轴为辅助控制轴，用于对第二扫描振镜偏转镜片进行第二辅助控制；第二辅助控制包括对第二扫描振镜偏转镜片偏转角度...

【专利技术属性】
技术研发人员：李陵江，田辉，裴浩，
申请(专利权)人：广州安特激光技术有限公司，
类型：发明
国别省市：