温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于扫描振镜技术领域，提供一种高精度快速扫描振镜及驱动方法，扫描振镜包括：第一扫描振镜偏转镜片、第二扫描振镜偏转镜片、第一振镜转轴、第二振镜转轴、第三振镜转轴和第四振镜转轴；第一振镜转轴和第二振镜转轴组合驱动第一扫描振镜偏转镜片偏转；...
该专利属于广州安特激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州安特激光技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。