宽波段、大量程激光功率计检定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出的是宽波段、大量程激光功率计检定装置。激光辐射源包括633nm激光器、532nm激光器和1064nm激光器，在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜，在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜，在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜，翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑和激光分束片，激光分束片反射的激光照向监测探测器上，经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪后又经过第二可变光阑，直至照射在宽波段标准激光功率计传递给宽波段标准待检定激光功率计上。本发明专利技术能够实现宽波段、大量程激光功率计的计量检定。适宜作为激光功率检定的装置使用。

【技术实现步骤摘要】
宽波段、大量程激光功率计检定装置
本专利技术属于光学计量测试
，涉及宽波段、大量程激光功率计检定装置。
技术介绍
激光技术作为一种前沿高科技在军事国防中具有重要应用，在精确测距、精密制导、保密通信等领域具有重要优势。激光辐射最基本的参数是辐射功率，激光功率计量技术是保障激光各种应用的关键，激光技术的这些应用都离不开激光功率的精密测量，因此激光功率计量受到国内外计量部门高度重视，德国物理技术研究院（PTB）、美国国家标准与技术研究院（NIST）、英国国家物理实验室（NPL）、中国计量科学研究院（NIM）等国内外计量技术机构都建立了激光功率计检定校准装置。目前，国内外计量技术机构的激光功率计检定校准装置在不同的激光波段，不同的功率范围分别建立若干独立的激光功率计检定装置。每套独立的激光功率计检定装置均具有有限的检定激光波段范围和检定激光功率范围。实现宽波段、大量程激光功率计检定校准需要多个系统的组合，组合的系统设备复杂、体积庞大、对实验室面积提出苛刻要求。另外，同一台激光功率计在不同的检定系统检定校准，引入了系统误差和面均匀性校准误差等检定不确定度分量，难以实现战术要求的高精度激光功率计检定校准。专利技术一种宽波段、大量程激光功率计检定装置成为高精度激光功率计检定校准迫切需要解决的问题。
技术实现思路
为了克服现有技术存在的缺点，本专利技术提出了宽波段、大量程激光功率计检定装置。该装置激光光源经过可变光阑和激光分束片及激光衰减器对待检激光功率计进行检定，解决激光器功率检测的技术问题。本专利技术解决技术问题所采用的方案是：激光辐射源包括633nm激光器、532nm激光器和1064nm激光器，在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜，在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜，在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜，翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑和激光分束片，激光分束片反射的激光照向监测探测器上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组，在激光衰减器组前侧装有可调占空比式激光衰减器，后侧装有中性激光衰减片，经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪后又经过第二可变光阑，直至照射在宽波段标准激光功率计上，宽波段标准激光功率计光路直接照射到待检定激光功率计上。633nm激光器经光路使第三可翻转反射镜放下，经光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；532nm激光器经光路入射到第二可翻转反射镜，使第二可翻转反射镜打开，经第二可翻转反射镜反射后，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；1064nm激光器经光路入射到第一可翻转反射镜，使第一可翻转反射镜打开，第二可翻转反射镜放下，沿光路入射到第三可翻转反射镜，使第三可翻转反射镜打开，经第三可翻转反射镜反射后，沿光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；通过第一可翻转反射镜、第二可翻转反射镜和第三可翻转反射镜的打开和放下，调整不同波长的激光沿同一位置穿过第一光阑，实现不同波长激光辐射源的切换，实现宽波段激光功率计的校准；光路穿过第一光阑，入射到激光分束片后，一部分沿光路反射到监测探测器，另一部分沿光路透射到激光衰减器组；透射到激光衰减器组的激光辐射沿光路入射到激光功稳仪；透过激光功稳仪的激光辐射沿光路穿过第二光阑；穿过第二光阑的激光辐射入射到宽波段标准激光功率计或待检定激光功率计。所述激光辐射源至少包括532nm、633nm和1064nm三个波长点，光谱上包含了从可见绿光、可见红光到不可见近红外激光辐射三个波长，通过更多的激光器和可翻转反射镜组合可实现更多波长的激光功率计检定。所述激光功率分束监测与修正装置至少包括激光辐射分束片、激光功率计探头和激光功率计显示仪表；所述激光辐射分束片具有平行或楔形平面结构，前表面没有镀膜，后表面镀有高损伤阈值的激光增透膜，用于将激光分束，一束进入监视激光功率计，一束进入标准激光功率计和待检定激光功率计；所述激光功率计探头，为热电型，传感器为热电堆，或光电型，传感器为半导体材料，用于接收激光光束；激光功率计显示仪表，用于将激光功率计探头输出光信号转换为电信号，并显示功率值。所述激光衰减器至少包括机械斩波式可调衰减器和中性激光衰减片。所述机械斩波式衰减器只有两片金属扇叶，且扇叶较厚，抗激光损伤能力较强，用于瓦级功率激光检定校准；所述的中性激光衰减片由一组中性灰玻璃组成，实现毫瓦级宽波段激光功率的衰减；所述的机械斩波式可调衰减器和中性激光衰减片可单独使用，也可组合使用，扩展激光功率计检定量程，实现大量程激光功率计检定。所述激光可变光阑由多个叶片组成，每个叶片具有类似于圆的渐开线的形状结构，调节旋钮改变叶片的角度，用于光束定位，保证不同波长的激光沿同一位置入射到宽波段标准激光功率计和检定待检定激光功率计。所述激光功率计测量光路对准装置至少包括光学移动平台和固定支架。用于固定所述标准激光功率计和所述被测激光功率计，并通过计算机控制标准激光功率计和所述被测激光功率计进行位移切换，使两功率计分别移入光路。所述激光功率计至少包括宽波段标准激光功率计和待检定激光功率计。所述宽波段标准激光功率计采用宽波段、具有高吸收率的吸收涂层作为吸收体，采用孪生补偿的探测器结构降低了环境背景的影响，用于作为计量标准实现量值溯源；所述待检定激光功率计与所述宽波段标准激光功率计进行交替测量，通过比较法实现待检定激光功率计的检定校准。积极效果，本专利技术用宽波段标准激光功率计提高被检激光功率计光谱范围，用可调占空比式激光衰减器和中性激光衰减片扩大可检定激光功率计的功率范围，实现了宽波段、大量程激光功率计的计量检定。适宜作为激光功率检定的装置使用。附图说明图1是本专利技术装置结构示意图。图中，0.激光辐射源，1.633nm激光器，1.1.第一翻转反射镜，2.532nm激光器，2.1.第二翻转反射镜，3.1064nm激光器，3.1.第三翻转反射镜，4.第一可变光阑，5.激光分束片，6.监测探测器，7.激光衰减器组，7.1.可调占空比式激光衰减器，7.2.中性激光衰减片，8.激光功稳仪，9.第二可变光阑，10.宽波段标准激光功率计，11.待检定激光功率计。具体实施方式以下结合附图进一步说明本专利技术。如图所示，激光辐射源0包括633nm激光器1、532nm激光器2和1064nm激光器3，在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜1.1，在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜2.1，在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜3.1，翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑4和激光分束片5，激光分束片反射的激光照向监测探测器6上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组7，在激光衰减器组前侧装有可调占空比式激光衰减器7.1，后侧装有中性激光衰减片7.2，经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪8后又经过第二可变光阑9，直至照射在宽波段标准激光功率计10上，宽波段标准激光功率计光路直接照射到待检定激光功率计11上。633nm激光器经光路使第三可翻转反射镜放下，经光路穿过第一可变光阑，入射到激光分束片；532nm激光器经光路入射到第二可翻本文档来自技高网...

【技术保护点】
宽波段、大量程激光功率计检定装置，包括宽波段、大量程、高精度、高稳定的激光功率计检定校准，包括激光辐射源、可翻转反射镜、光阑、激光功率分束片、监测探测器、激光衰减器组、激光功稳仪、宽波段标准激光功率计、待检定激光功率计和激光光路，其特征在于：激光辐射源（0）包括633nm激光器（1）、532nm激光器（2.）和1064nm激光器（3），在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜（1.1），在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜（2.1），在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜（3.1），翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑（4）和激光分束片（5），激光分束片反射的激光照向监测探测器（6）上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组（7），在激光衰减器组前侧装有可调占空比式激光衰减器（7.1），后侧装有中性激光衰减片（7.2），经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪（8）后又经过第二可变光阑（9），直至照射在宽波段标准激光功率计（10）上，宽波段标准激光功率计光路直接照射到待检定激光功率计（11）上。

【技术特征摘要】
1.宽波段、大量程激光功率计检定装置，包括宽波段、大量程、高精度、高稳定的激光功率计检定校准，包括激光辐射源、可翻转反射镜、光阑、激光功率分束片、监测探测器、激光衰减器组、激光功稳仪、宽波段标准激光功率计、待检定激光功率计和激光光路，其特征在于：激光辐射源（0）包括633nm激光器（1）、532nm激光器（2.）和1064nm激光器（3），在633nm激光器光路上装有第一翻转反射镜（1.1），在532nm激光器光路上装有第二翻转反射镜（2.1），在1064nm激光器光路上装有第三翻转反射镜（3.1），翻转反射镜所反射的激光汇聚在水平光路上，在水平光路初始位置上装有第一可变光阑（4）和激光分束片（5），激光分束片反射的激光照向监测探测器（6）上，没有被激光分束片反射的激光通过激光衰减器组（7），在激光衰减器组前侧装有可调占空比式激光衰减器（7.1），后侧装有中性激光衰减片（7.2），经过激光衰减器组的激光经过激光功稳仪（8）后又经过第二可变光阑（9），直至照射在宽波段标准激光功率计（10）上，宽波段标准激光功率计光路直接照射到待检定激光功率计（11）上。2.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置，其特征在于：所述激光辐射源至少包括532nm、633nm和1064nm三个波长点，光谱上包含了从可见绿光、可见红光到不可见近红外激光辐射三个波长，通过更多的激光器和可翻转反射镜组合可实现更多波长的激光功率计检定。3.根据权利要求1所述的宽波段、大量程激光功率计检定装置，其特征在于：所述激光功率分束监测与修正装置至少包括激光辐射分束片、激光功率计探头和激光功率计显示仪表；所述激光辐射分束片具有平行或楔形平面结构，前表面没有镀膜，后表面镀有高损伤阈值的激光增透膜，用于将激光分束，一束进入监视激光功率计，一...

【专利技术属性】
技术研发人员：付永杰，才滢，闫道广，邓玉强，方波，
申请(专利权)人：中国人民解放军九二四九三部队计量测试中心，中国计量科学研究院，中国计量大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21