消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统技术方案

技术编号:13453243 阅读:47 留言:0更新日期:2016-08-02 12:11
本实用新型专利技术公开了一种消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,所述系统包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒。对被测样品进行BSDF测量时,在每个测量点测量之前,由电机传动模块驱动棱柱形反射镜转动,使其反射激光光源的光路至激光功率计中测量激光功率的变化,再传输到PC机中根据变化情况校正该测量点的BSDF结果,从而消除激光光源功率变化所引起的误差。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
消除BSDF测量中激光光源功率变化误差的系统,其特征在于包括激光光源、棱柱形反射镜、激光功率计探头、激光功率计、电机传动模块、运动控制卡、BSDF信号探头、BSDF信号处理器、PC机和遮光套筒;所述激光光源、棱柱形反射镜、电机传动模块、激光功率计探头安装在所述遮光套筒中;所述棱柱形反射镜位于所述激光光源出光口的前端处,且其中心轴与所述电机传动模块的输出轴同心连接,并由所述电机传动模块驱动进行旋转;所述棱柱形反射镜在旋转的过程中,先使激光光路反射到所述激光功率计探头中测得激光此时的实际功率与其额定参考功率之间的偏差值,再使激光光路顺利通过并穿出所述遮光套筒的出光孔照射到被测样品表面进行BSDF测量,并按照所述激光光源功率的偏差值对测量结果进行相应的修正。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李宗涛陈家晓汤勇梁观伟万珍平袁伟
申请(专利权)人:华南理工大学
类型:新型
国别省市:广东;44

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