本实用新型专利技术公开了一种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块，用于使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的反射镜旋转型波长自由切换系统，以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。本实用新型专利技术可根据需要改变输出波长以满足加工的多样性，整个激光器具有低功率泵浦、泵浦转换效率高、谐振腔损耗小，双通倍频、单向输出，频率变换转换效率高、体积小等优点，同时还能避免增益介质对倍频光的吸收的优点。
【技术实现步骤摘要】
—种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器
本技术涉及激光器
，更具体地说，特别涉及一种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器。
技术介绍
激光加工技术作为先进制造技术之一，在传统产业改造、加工技术革新、国防信息化等方面发挥着重要作用，激光被誉为“万能加工工具”、未来制造系统的共同加工手段。例如近年来，广泛应用于薄钢板、不锈钢、铝合金板、硬质合金等金属材料的切割、打标、冲孔的1064nm红外激光加工系统；以及最近几年逐渐兴起用于LED显示屏、手机面板、液晶面板、陶瓷、玻璃、PCB板、太阳能电池片等非金属材料的切割、钻孔的355nm紫外激光加工系统。 但是目前大部分激光器要不是单一波长输出，例如，专利“一种全固态355nm激光器(CN201310389409.2) ”等，要么是双波长同时输出，如专利“红绿双波长激光器” (CN02117364.8)等，不能自由切换选择某一波长输出，即使目前有选择波长输出的激光器也是几种波长分几路分别同时输出，相当于几台激光器同时使用，无法实现一棒多波长输出技术，使得激光器应用起来比较繁琐，不利于工业化现场的应用。 因此，有必要研究一种1064nm及355nm自由切换的激光器，可根据需要改变输出波长，满足加工的多样性的需要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种可根据需要改变输出波长以满足加工多样性的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器。 为了达到上述目的，本技术采用的技术方案如下: 一种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块，用于使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的反射镜旋转型波长自由切换系统，以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。 优选地，还包括全反射镜和输出镜,所述全反射镜的光轴与输出镜的光轴具有一夹角，所述1064nm波长谐振腔为由全反射镜和输出镜构成的谐振腔。 优选地，还包括依次设置的折叠镜和凹面镜，所述折叠镜和凹面镜构成的光路的光轴与全反射镜的光轴具有一夹角，所述355nm波长谐振腔为由折叠镜和凹面镜构成的谐振腔。 优选地，还包括设于折叠镜和凹面镜之间的倍频单元，所述倍频单元包括依次设置的二倍晶体和三倍晶体。 优选地，所述反射镜旋转型波长自由切换系统包括设置于全反射镜一端的旋转反射镜，以及驱动旋转反射镜旋转的旋转动力源，所述旋转动力源用于驱动旋转反射镜旋转以使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换。 优选地，所述旋转动力源为电机或液压马达。 优选地，所述泵浦模块包括设置于全反射镜输入端的泵浦单元，和设置于全反射镜输出端的晶体，且在所述晶体与旋转反射镜之间还设有Q开关。 优选地，还包括设置于泵浦单元和全反射镜之间的耦合系统，所述耦合系统包括两片镀有808nm增透膜的耦合镜组成，该耦合系统用于将泵浦单元发出的泵浦光聚焦到晶体上。 优选地，所述输出单元为一 45°短通片，所述输出镜与45°短通片之间还设有反射镜；所述45°短通片用于将反射镜反射的1064nm激光输出，以及还用于将折叠镜透射的355nm激光输出。 优选地，所述全反射镜为平面镜，该平面镜的左面镀有808nm增透膜，其右面镀有808nm、1064nm高反膜；所述晶体的双面均镀有1064nm增透膜；所述Q开关的双面均镀有1064nm增透膜；所述旋转反射镜的反射面镀有1064nm高反膜；所述折叠腔为平凹镜，该平凹镜的凹面曲率半径为200mm，其凹面镀有1064nm、532nm高反膜和355nm增透膜，其平面镀有355nm高透膜；所述二倍晶体的双面镀有1064nm、532nm和355nm增透膜；所述三倍晶体的双面均镀有1064nm、532nm和355nm增透膜；所述凹面镜为平凹镜，该平凹镜的凹面曲率半径为50臟，其凹面镀有1064nm、532nm、355nm高反膜；所述45°短通片的上面镀有1064nm、532nm高反膜和355nm增透，其下面镀有1064nm高反膜和355nm高透膜；所述输出镜为平面输出镜，其两面均镀有透过率为30%的1064nm透膜；所述反射镜的反射面镀有1064nm高反膜。 与现有技术相比，本技术的优点在于:本技术可根据需要改变输出波长以满足加工的多样性，整个激光器具有低功率泵浦、泵浦转换效率高、谐振腔损耗小，双通倍频、单向输出，频率变换转换效率高、体积小等优点，同时还能避免增益介质对倍频光的吸收的优点。 【附图说明】 为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 图1是本技术所述基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器的不意图。 图2是本技术所述基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器处于1064nm波长谐振腔的不意图。 图3是本技术所述基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器处于355nm波长谐振腔的不意图。 附图标记说明:1、泵浦单元,2、f禹合镜,3、全反射镜,4、晶体,5、Q开关,6、旋转反射镜，7、折叠镜，8、二倍晶体，9、三倍晶体，10、凹面镜，11、45°短通片，12、输出镜，13、反射镜。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术的优选实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。 参阅图1所示，本技术提供一种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块，用于使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的反射镜旋转型波长自由切换系统，以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。 具体的，本技术的激光器还包括全反射镜3和输出镜12，所述的全反射镜3的光轴与输出镜12的光轴具有一夹角，所述的1064nm波长谐振腔为由全反射镜3和输出镜12构成的谐振腔。且激光器还包括依次设置的折叠镜7和凹面镜10，所述的折叠镜7和凹面镜10构成的光路的光轴与全反射镜3的光轴具有一夹角，所述的355nm波长谐振腔为由折叠镜7和凹面镜10构成的谐振腔。 具体的，本技术的激光器还包括设于折叠镜7和凹面镜10之间的倍频单元，所述的倍频单元包括依次设置的二倍晶体8和三倍晶体9。 具体的，本技术中所述的反射镜旋转型波长自由切换系统包括设置于全反射镜3 —端的旋转反射镜6,以及驱动旋转反射镜6旋转的旋转动力源,所述的旋转动力源用于驱动旋转反射镜6旋转以使泵浦模块输出的激本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于：包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块，用于使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的反射镜旋转型波长自由切换系统，以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。
【技术特征摘要】
1.一种基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器,其特征在于:包括1064nm波长谐振腔、355nm波长谐振腔、用于产生激光的泵浦模块，用于使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换的反射镜旋转型波长自由切换系统，以及设置于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔出口端的输出单元。2.根据权利要求1所述的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于:还包括全反射镜(3)和输出镜(12),所述全反射镜(3)的光轴与输出镜(12)的光轴具有一夹角，所述1064nm波长谐振腔为由全反射镜(3)和输出镜(12)构成的谐振腔。3.根据权利要求2所述的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于:还包括依次设置的折叠镜(7)和凹面镜(10)，所述折叠镜(7)和凹面镜(10)构成的光路的光轴与全反射镜(3)的光轴具有一夹角，所述355nm波长谐振腔为由折叠镜(7)和凹面镜(10)构成的谐振腔。4.根据权利要求3所述的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于:还包括设于折叠镜(7)和凹面镜(10)之间的倍频单元，所述倍频单元包括依次设置的二倍晶体(8)和三倍晶体(9)。5.根据权利要求4所述的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于:所述反射镜旋转型波长自由切换系统包括设置于全反射镜(3) —端的旋转反射镜(6),以及驱动旋转反射镜(6)旋转的旋转动力源,所述旋转动力源用于驱动旋转反射镜(6)旋转以使泵浦模块输出的激光于1064nm波长谐振腔和355nm波长谐振腔之间切换。6.根据权利要求5所述的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于:所述旋转动力源为电机或液压马达。7.根据权利要求5所述的基于反射镜旋转的1064nm与355nm波长自由切换输出激光器，其特征在于:所述泵浦模块包括设置于全反射镜(3)输入端的泵浦...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈义红，何铁锋，陈聪，李贵林，
申请(专利权)人：广州安特激光技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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