本实用新型专利技术提供了一种芯片扩片机包括框架、框架下侧的吹风机以及框架上侧的气流探测器，所述框架用于固定塑料膜以及塑料膜表面的芯片，下侧的吹风机中进一步设置加热器使吹风机吹出热风，上侧的气流探测器能够探测该处的气流是否超过一设定阈值。本实用新型专利技术的优点在于，下方的吹风机可以吹出热风，使塑料膜发生向上的拱起，进而带动芯片分离，实现扩片；而上部的气流探测器用于检测塑料膜是否发生破裂，可以在塑料膜刚发生破裂时被发现，进而停止吹风，防治损失进一步扩大。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供了一种芯片扩片机包括框架、框架下侧的吹风机以及框架上侧的气流探测器，所述框架用于固定塑料膜以及塑料膜表面的芯片，下侧的吹风机中进一步设置加热器使吹风机吹出热风，上侧的气流探测器能够探测该处的气流是否超过一设定阈值。本技术的优点在于，下方的吹风机可以吹出热风，使塑料膜发生向上的拱起，进而带动芯片分离，实现扩片；而上部的气流探测器用于检测塑料膜是否发生破裂，可以在塑料膜刚发生破裂时被发现，进而停止吹风，防治损失进一步扩大。【专利说明】芯片扩片机
本技术涉及芯片封装领域，尤其涉及一种芯片扩片机。
技术介绍
扩片是指将排列紧密的IC晶片均匀分开，使之更好地植入焊接工件上。扩片工艺是一些特殊半导体器件的封装工序中不可或缺的工艺步骤之一。 附图1是现有技术中一种常见的扩片机的结构示意图，包括框架10和升降托11，芯片13被粘贴在塑料膜14上，并进一步固定于框架10内。升降托11内部具有加热机构(未图示)。将框架10和芯片13置于升降托11表面，升降托11被加热，并向上升起同塑料膜14接触。塑料膜14表面的芯片13在升降托11的支撑下发生弹性扩张，使芯片13分开，而加热升降托11有利于软化塑料膜14，利于芯片13的分开更为均匀。 现有技术的缺点在于，塑料膜14和升降托11的结合不能够完全对称，导致塑料膜14受理不均而形变不均，进而芯片13并非均匀分开。并且塑料膜14的受力很难精确控制，在升降托11过度上升的情况下容易导致塑料膜14破裂，导致扩片失败。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种芯片扩片机，能够提高芯片扩片的成功率。 为了解决上述问题，本技术提供了一种芯片扩片机包括框架、框架下侧的吹风机以及框架上侧的气流探测器，所述框架用于固定塑料膜以及塑料膜表面的芯片，下侧的吹风机中进一步设置加热器使吹风机吹出热风，上侧的气流探测器能够探测该处的气流是否超过一设定阈值。 可选的，上侧的气流探测器包括一警报器，并在超过该阈值的情况下实施报警操作。 可选的，所述框架上进一步包括一弹性连接件，用于连接安装芯片的塑料膜以及框架本体，以保证塑料膜在被加热情况下能够发生形变以使芯片分离。 本技术的优点在于，下方的吹风机可以吹出热风，使塑料膜发生向上的拱起，进而带动芯片分离，实现扩片；而上部的气流探测器用于检测塑料膜是否发生破裂，可以在塑料膜刚发生破裂时被发现，进而停止吹风，防治损失进一步扩大。 【专利附图】【附图说明】 附图1是现有技术中一种常见的扩片机的结构示意图。 附图2所示是本【具体实施方式】的结构示意图。 【具体实施方式】 下面结合附图对本技术提供的芯片扩片机的【具体实施方式】做详细说明。 附图2所示是本【具体实施方式】的结构示意图，包括框架20、框架20下侧的吹风机21以及框架20上侧的气流探测器22。所述框架20用于固定塑料膜24以及塑料膜24表面的芯片23。下侧的吹风机21中进一步设置加热器(未图示)，使吹风机吹出热风，热风的温度以能够加热塑料膜24使其软化但不融化为限。上侧的气流探测器22能够探测该处的气流是否超过一设定阈值。进一步地，上侧的气流探测器22包括一警报器25，塑料膜24和框架20之间进一步包括弹性连接件26。 上述装置可用于扩片操作。下方的吹风机21可以吹出热风，塑料膜24 —方面在热风的加热下发生软化，一方面收到热风向上的吹送而受到一个向上的力。塑料膜24在上述两个条件下会发生向上的拱起，进而带动芯片23分离，实现扩片。而上部的气流探测器22用于检测塑料膜24是否发生破裂。若风速过大或者加热过热，会导致塑料膜24发生破裂。一旦塑料膜24破裂，下方的风便会吹送至上方，进而被气流探测器22探测到。因此设置气流探测器22可以在塑料膜24刚发生破裂时被发现，进而停止吹风，防治损失进一步扩大。 进一步地，上侧的气流探测器包括一警报器25，并在超过该阈值的情况下实施报警操作，可以第一时间提醒操作者做出处理。 进一步地，所述框架20上进一步包括一弹性连接件26，用于连接安装芯片的塑料膜24以及框架本体20。塑料膜24在被加热情况下弹性增加，弹性连接件26可以带动塑料膜24向两侧延展，进而有利于芯片23分离。 以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。【权利要求】1.一种芯片扩片机，其特征在于，包括框架、框架下侧的吹风机以及框架上侧的气流探测器，所述框架用于固定塑料膜以及塑料膜表面的芯片，下侧的吹风机中进一步设置加热器使吹风机吹出热风，上侧的气流探测器能够探测该处的气流是否超过一设定阈值。2.根据权利要求1所述的芯片扩片机，其特征在于，上侧的气流探测器包括一警报器，并在超过该阈值的情况下实施报警操作。3.根据权利要求1所述的芯片扩片机，其特征在于，所述框架上进一步包括一弹性连接件，用于连接安装芯片的塑料膜以及框架本体，以保证塑料膜在被加热情况下能够发生形变以使芯片分离。【文档编号】H01L21/67GK204029769SQ201420339177【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年6月24日 优先权日:2014年6月24日 【专利技术者】蔡晓雄 申请人:上海胜芯微电子有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种芯片扩片机，其特征在于，包括框架、框架下侧的吹风机以及框架上侧的气流探测器，所述框架用于固定塑料膜以及塑料膜表面的芯片，下侧的吹风机中进一步设置加热器使吹风机吹出热风，上侧的气流探测器能够探测该处的气流是否超过一设定阈值。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡晓雄，
申请(专利权)人：上海胜芯微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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