化学机械研磨刷子及化学机械研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出了一种化学机械研磨刷子及化学机械研磨装置，化学机械研磨刷子包括本体及设置于本体表面的多个条纹状刷头，每个条纹状刷头上设有多个间隔排列的通孔，通孔贯穿条纹状刷头的两侧面。在化学机械研磨刷子本体的表面上设有多个条纹状刷头，且条纹状刷头上间隔设有多个通孔便于化学物品由通孔流出。多个条纹状刷头能够增加其与晶圆表面的接触面积，有效减少残留物的产生，条纹状刷头能够减少化学物品的流失，提高利用率。此外条纹状刷头上设有多个通孔有利于化学物品在晶圆表面的均匀分布，提高清洗的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种化学机械研磨刷子，其特征在于，包括本体及设置于所述本体表面的多个条纹状刷头，每个所述条纹状刷头上设有多个间隔排列的通孔，所述通孔贯穿所述条纹状刷头的两侧面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐强，孙延松，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11