一种流量测量工具制造技术

本实用新型专利技术提供一种流量测量工具，所述流量测量工具包括测量槽、插板、盖体、卡扣、密封圈、凹槽和卡口凸起。所述测量槽采用塑料材质，大大减轻了其本身的重量，且可视性强；将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分，且两部分侧板上均设有刻度，可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度，可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异，通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的，大大简化了操作步骤，且提高了测量的精确度；将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用，测量读数时，可以将密封好的测量槽竖立起来读数，进一步提高了测量的精确度。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种流量测量工具，所述流量测量工具包括测量槽、插板、盖体、卡扣、密封圈、凹槽和卡口凸起。所述测量槽采用塑料材质，大大减轻了其本身的重量，且可视性强；将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分，且两部分侧板上均设有刻度，可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度，可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异，通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的，大大简化了操作步骤，且提高了测量的精确度；将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用，测量读数时，可以将密封好的测量槽竖立起来读数，进一步提高了测量的精确度。【专利说明】一种流量测量工具
本技术涉及一种半导体工艺设备
，特别是涉及一种流量测量工具。
技术介绍
目前，电子器件的制造往往用到光刻工艺，其主要步骤包括:清洗、涂胶、前烘、曝光、显影、后烘、刻蚀和去胶等工序。显影是将感光部分的光刻胶通过显影液去掉，一般采用与光刻胶相配套的显影液。 现有的显影装置为Track(光刻显影机)，如图1所示，所述光刻显影机包括两根显影液输送管11、若干个显影液喷嘴12和用于连接所述显影液输送管11和显影液喷嘴12的固定装置13，所述固定装置13内设有空腔131，所述空腔131用于连通所述显影液输送管11和显影液喷嘴12。在显影的过程中，所述显影液喷嘴12将所述显影液输送管11输送来的显影液喷洒在待显影晶圆上。在整个显影过程中，为了使得整个晶圆上显影完全，一般需要控制显影液喷嘴12喷涂的均匀性。由于所述显影液喷嘴12是通过所述固定装置13的空腔131与所述两个显影液输送管11相连通的，因此，在日常的机台维护过程中，只要控制所述两根显影液输送管11的流量相同，即可保证所述显影液喷嘴12的均匀性。 在现有工艺中，在对所述显影液输送管进行流量调整时，需要分别对两根显影液输送管的流量均匀性进行测量，具体的方法为:将一个不锈钢船型容器置于显影液喷嘴下方，关闭一根显影液输送管，打开另一个显影液输送管，待显影液喷嘴喷洒完毕后，将所述不锈钢船型容器内的显影液倒入量筒中进行测量，即可得到所打开显影液输送管的流量；使用同样的方法，可以测试另一根显影液输送管的流量。整个过程中，若两根显影液输送管的流量不一致，需要不断调节两根显影液输送管的流量并分别进行测量。由于在测量过程中，盛放喷洒显影液的容器为不锈钢船型容器，所述不锈钢船型容器本身较重且可视性差，对于拿取并保持平衡难以控制，加大了操作的难度；同时，待显影液喷嘴喷洒完毕后，还需要将不锈钢船型容器内的显影液倒入量筒中进行测量，在这个过程中容易导致显影液的少量溢出，影响测量的精准度，甚至导致必须重新测量一次。在整个过程中，两根显影液输送管的平衡只能靠不断分别调节两根显影液输送管来找到最终的平衡点，且还需要测量的步骤，这个过程步骤较多且繁琐，耗时较长，可操作性差。 鉴于此，有必要设计一种新的流量测量工具用以解决上述技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种流量测量工具，用于解决现有技术中由于在显影液喷嘴喷洒完毕后，需要将所喷洒的显影液倒入量筒中测量，而盛放显影液喷嘴喷洒的显影液的容器自身较重且可视性差，在测量的过程中容易导致显影液少量溢出而影响测量的精准度，甚至导致重新测量，使得整个过程步骤较多繁琐，耗时较长的问题。 为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种流量测量工具，所述流量测量工具适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置，所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴，所述流量测量工具至少包括:测量槽和插板；所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板，所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接；所述插板固定于所述第一侧板的中部，将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分；所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述流量测量工具还包括:盖体，所述盖体与所述底板的大小相同；所述盖体四周设置有一端固定于所述盖体上的卡扣；凹槽，位于所述第一侧板和第二侧板的顶部和插板顶部；密封圈，置于所述凹槽内，适于密封所述测量槽；且所述第一侧板和第二侧板上设置有与所述卡扣配合使用的卡扣凸起。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述刻度沿垂直于所述底板的方向设置，零刻度与所述底板相平齐。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述刻度沿平行于所述底板的方向设置，所述第一子测量槽的零刻度与一所述第二侧板相平齐，所述第二子测量槽的零刻度与所述插板相平齐。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述插板的高度等于所述测量槽的深度。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述测量槽为透明测量槽。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述测量槽为塑料测量槽。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述密封圈为橡胶密封圈。 作为本技术的流量测量工具的一种优选方案，所述底板的大小大于或等于所述显影液喷嘴所分布区域的大小。 如上所述，本技术的流量测量工具，具有以下有益效果:所述测量槽采用塑料材质，大大减轻了其本身的重量，且可视性强；将所述测量槽通过一插板均等地分割为两部分，且两部分侧板上均设有刻度，可以在显影液喷洒完毕后直接读取刻度，可以直观地发现两根显影液输送管流量的差异，通过微调节就可以达到两显影液输送管流量平衡的最终目的，大大简化了操作步骤，且提高了测量的精确度；将所述测量槽与所述盖体、密封圈配合使用，测量读数时，可以将密封好的测量槽竖立起来读数，进一步提高了测量的精确度。 【专利附图】【附图说明】 图1显示为现有技术中光刻显影机的结构示意图。 图2显示为本技术实施例一中提供的测量工具的结构示意图。 图3显示为本技术实施例一中提供的测量工具与涂胶显影机配合使用的示意图。 图4显示为本技术实施例二中提供的测量工具的结构分解示意图。 图5显示为本技术实施例二中提供的测量槽与涂胶显影机配合使用的示意图。 图6显示为本技术实施例二中提供的测量工具各部分组合后的结构示意图。 图7显示为本技术中图6沿aa’方向的截面示意图。 图8显示为本技术中图6沿bb’方向的截面示意图。 图9显示为本技术实施例二中提供的测量工具进行读数时的结构示意图。 元件标号说明 11显影液输送管 12显影液喷嘴 13固定装置 131空腔 21测量槽 211第一侧板 212第二侧板 213底板 214刻度 22插板 23盖体 24卡扣 25凹槽 26密封圈 27卡口凸起 28显影液输送管 29显影液喷嘴 20固定装置 【具体实施方式】 以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量测量工具，适于对涂胶显影机中显影液流量均匀性进行测量，所述涂胶显影机包括显影液喷嘴和固定所述显影液喷嘴的固定装置，所述固定装置底部分布设有显影液喷嘴，其特征在于，至少包括：测量槽和插板；所述测量槽至少包括两块与所述插板垂直连接的第一侧板、一块与所述插板垂直连接的底板和两块与所述插板平行的第二侧板，所述第一侧板、底板和第二侧板相互垂直连接；所述插板固定于所述第一侧板的中部，将所述测量槽均等地分割为第一子测量槽和第二子测量槽两部分；所述第一子测量槽和第二子测量槽对应的第一侧板上均标示有刻度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邹迎庆，阮春军，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11