空气流量测量装置制造方法及图纸

为了提供一种提高了湿度检测元件的耐污损性并实现了高精度的流量检测的空气流量控制装置，空气流量控制装置具有：检测空气的流量的流量检测元件(11)；检测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件(12)；以及在内部具有对上述流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装件(13)，其中，上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及计量物理量的测量装置，特别涉及计量在内燃机内流动的空气的物理量的空气流量测量装置。
技术介绍
作为计量在内燃机内流动的空气的物理量的空气物理量传感器的结构，例如，能够列举在专利文献1中记载的技术。在专利文献1中记载了该空气物理量传感器具备用于计量空气流量的流量传感器元件和用于计量压力及湿度中任一项的环境传感器元件，并将收纳环境传感器元件的计量室配置于比配置流量传感器的副通路更远离主通路的通路壁的通路中央侧。另外，在专利文献2中记载了一种半导体装置，其在半导体基板上至少形成发热体而构成检测流体的流量的流量检测部，在半导体的同一面侧，流量检测部和检测流体的湿度的湿度检测部以湿度检测部位于流量检测部的上游侧的方式沿流体流动方向排列而形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-151795号公报专利文献2：日本特开2008-157742号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题流量检测元件、湿度检测元件以及压力检测元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气流量测量装置，具有：检测空气的流量的流量检测元件；检测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件；以及在内部具有对上述流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装件，上述空气流量测量装置的特征在于，上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.10.31 JP 2013-2261321.一种空气流量测量装置，具有：检测空气的流量的流量检测元件；检
测湿度和压力中的至少一个物理量的物理量检测元件；以及在内部具有对上述
流量检测元件或上述物理量检测元件的输出信号进行处理的电路的电路封装
件，上述空气流量测量装置的特征在于，
上述流量检测元件和上述物理量检测元件配置在同一个上述电路封装件
内。
2.根据权利要求1所述的空气流量测量装置，其特征在于，
上述流量检测元件和上述物理量检测元件中的至少一个由塑料封装部件
构成。
3.根据权利要求1所述的空气流量测量装置，其特征在于，
上述流量检测元件和上述物理量检测元件以相对于在主通路流动的空气
的流动方向为垂直方向的方式配置在上述电路封装件内。
4.根据权利要求1所述的空...

【专利技术属性】
技术研发人员：余语孝之，星加浩昭，三木崇裕，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP