一种生产铜锌锡旋转靶材的模具制造技术

技术编号:10665619 阅读:130 留言:0更新日期:2014-11-20 11:31
本实用新型专利技术涉及一种铜锌锡旋转靶材的生产模具,属于机械设备技术领域。其包括浇铸口,浇铸口与模具外套连接;模具外套内设置有衬管,模具外套和衬管之间设置有圆环型空腔;模具外套和衬管的底部采用底部密封环密封。本实用新型专利技术结构简单紧凑,利于工业化生产,制备得到的靶材致密度高,纯度高,成分分布均匀性好,晶粒细小,并且制备工艺简单。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种铜锌锡旋转靶材的生产模具,属于机械设备
。其包括浇铸口,浇铸口与模具外套连接;模具外套内设置有衬管,模具外套和衬管之间设置有圆环型空腔;模具外套和衬管的底部采用底部密封环密封。本技术结构简单紧凑,利于工业化生产,制备得到的靶材致密度高,纯度高,成分分布均匀性好,晶粒细小,并且制备工艺简单。【专利说明】一种生产铜锌锡旋转靶材的模具
本技术涉及一种铜锌锡旋转靶材的生产模具,属于机械设备

技术介绍
随着世界能源的日益紧缺、减少和人们环保意识的增强,薄膜太阳能电池的研究 应用已成为世界各国研究的热点。其中铜锌锡硫薄膜太阳能电池以其不断提高的转化效 率,较低的制作成本,没有性能衰减和环境友好等优良特性日益受到人们的广泛关注。 Cu2ZnSnS4 (简称CZTS)薄膜太阳能电池作为一种新型的薄膜太阳能电池具有多层 膜结构,其主要结构为金属栅极A1,窗口层n-ZnO :A1,缓冲层CdS,吸收层CZTS,背电极钥, 钠钙玻璃衬底SLG等。 目前制备ZSTS薄膜的方法很多,主要分为3个步骤:首先制备铜锌锡薄膜;然后 硫化,以达到最佳配比的四元化合物;最后对薄膜进行热处理,进一步优化薄膜的结晶度和 表面形貌。 其中制备铜锌锡薄膜就需要用到铜锌锡靶材。而旋转靶材与平面靶材相比具有以 下优势:镀膜均匀性好,溅射面积大,生产效率高,靶材利用率高,更换操作方便。因此大量 应用旋转铜锌锡靶材是铜锌锡硫薄膜太阳能电池发展的必然趋势,目前还没有看到有关生 产旋转铜锌锡靶材技术方面的报道。 【专利技术内容】 本技术的目的是提供一种铜锌锡旋转靶材的生产模具及其生产方法。 按照本技术提供的技术方案,一种生产铜锌锡旋转靶材的模具,包括浇铸口, 浇铸口与模具外套连接;模具外套内设置有衬管,模具外套和衬管之间设置有圆环型空腔; 模具外套和衬管的底部采用底部密封环密封。所述浇铸口与圆环型空腔之间通过流淌管连 通,流淌管向圆环型空腔内部倾斜。所述外套内壁上涂覆有一层隔离层。 本技术的有益效果:本技术结构简单紧凑,利于工业化生产,制备得到的 靶材致密度高,纯度高,成分分布均匀性好,晶粒细小,并且制备工艺简单。 【专利附图】【附图说明】 图1是本技术生产铜锌锡旋转靶材的模具示意图。 图2-a是本技术冷却装置主视图。 图2-b是本技术冷却装置俯视图。 【具体实施方式】 实施例中DY08涂料购自市场。 实施例1 如图1所示,一种生产铜锌锡旋转靶材的模具,包括浇铸口 1,浇铸口 1与模具外套 2连接;模具外套2内设置有衬管4,模具外套2和衬管4之间设置有圆环型空腔3 ;模具外 套2和衬管4的底部采用底部密封环5密封。 所述浇铸口 1与圆环型空腔3之间通过流淌管连通,流淌管向圆环型空腔3内部 倾斜。所述外套2内壁上涂覆有一层隔离层,隔离层为DY08涂料。 实施例2 一种生产铜锌锡旋转靶材的方法,步骤为: (1)熔炼:按铜:锌:锡摩尔比为1. 5-2. 3 :0. 7-1. 2 :0. 8-1. 1取原料;开启真空感 应熔炼炉,抽真空至〇. ΟΙ-lPa,通氮气,压力达到0. 08-0. IMPa时,再次抽真空至0. 01-lPa ; 向熔炼炉中投入原料锡,250-270°C熔炼至完全熔化,控制温度为250-300°C,投入铜,继续 熔炼至完全熔化,升温至670-750°C,精炼25-35min,最后投入锌,控制温度不超过700°C快 速熔化,全部熔化后,在680-690°C精炼8-12min,得到浇铸液; (2)浇铸:取生产铜锌锡旋转靶材的模具,在200-450°C烘干,并预热至 200-600°C,将步骤(1)得到的浇铸液浇铸进模具中;通过流淌管进入圆环型空腔,涂覆在 外套内壁上的涂料防止模具溶解在浇铸液中,浇铸完成后,去除浇铸口,用石墨环盖住模具 上端,在 800-850°C保温 8-12min ; (3)冷却:将保温后的模具置入水箱中进行冷却,水箱中设置有水循环和搅拌装 置,保持水温在15-25°C之间,冷却4-6min后取出,脱模,即得到铜锌锡旋转靶材。 如图2_a和图2_b所不,冷却模具的水箱,包括箱体6,箱6体上部分密封,开有一 个和模具同样大小的圆环状孔7,模具通过圆环状孔7能够顺利的放入水箱中,水箱上还设 置有一个通气孔8。水箱中同样设有水循环和搅拌装置,使水温均匀并保持在一定的范围 内。 从熔炼炉的侧门取出步骤(2)所得模具,用天车吊住模具上口。之后以0. lm/s的 速度把模具通过圆环状孔7放入冷却装置,当模具还剩50毫米露在水箱外部时停止放入, 冷却5分钟后吊出模具。【权利要求】1. 一种生产铜锌锡旋转靶材的模具,其特征是:包括浇铸口( 1 ),浇铸口( 1)与模具外 套(2)连接;模具外套(2)内设置有衬管(4),模具外套(2)和衬管(4)之间设置有圆环型空 腔(3);模具外套(2)和衬管(4)的底部采用底部密封环(5)密封。2. 如权利要求1所述生产铜锌锡旋转靶材的模具,其特征是:所述浇铸口( 1)与圆环型 空腔(3)之间通过流淌管连通,流淌管向圆环型空腔(3)内部倾斜。3. 如权利要求1所述生产铜锌锡旋转靶材的模具,其特征是:所述外套(2)内壁上涂覆 有一层隔离层。【文档编号】C22C1/02GK203947152SQ201420335186【公开日】2014年11月19日 申请日期:2014年6月20日 优先权日:2014年6月20日 【专利技术者】胡习光, 秦国强, 常金永, 张志祥 申请人:江阴恩特莱特镀膜科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生产铜锌锡旋转靶材的模具,其特征是:包括浇铸口(1),浇铸口(1)与模具外套(2)连接;模具外套(2)内设置有衬管(4),模具外套(2)和衬管(4)之间设置有圆环型空腔(3);模具外套(2)和衬管(4)的底部采用底部密封环(5)密封。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡习光秦国强常金永张志祥
申请(专利权)人:江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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