【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种可测压比的嵌入式分子泵,包括壳体(1),在壳体(1)内安装有转子(2),在壳体(1)的顶部设置有端面法兰(3),其特征在于:在壳体(1)和转子(2)之间设置有第一级分子泵(4),第一级分子泵(4)顶部过盈连接盘状第三级分子泵(6),在第三级分子泵(6)的装配槽(23)中过盈连接第二级分子泵(5),端面法兰(3)和第三级分子泵(6)螺钉连接,在壳体(1)的下部外侧设置有入口测压装置(7),在端面法兰(3)的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置(8)、第二级出口测压装置(9)和第三级出口测压装置(10)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘巍,韩莉果,郭子学,庞志莹,
申请(专利权)人:核工业理化工程研究院,
类型:新型
国别省市:天津;12
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