下载一种可测压比的嵌入式分子泵的技术资料

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一种可测压比的嵌入式分子泵,包括壳体、转子,在壳体的顶部设置有端面法兰,在壳体和转子之间设置第一级分子泵,第一级分子泵顶部连接盘状第三级分子泵,在第三级分子泵的装配槽内安装第二级分子泵,端面法兰和第三级分子泵连接。在壳体的下部外侧设置有入口...
该专利属于核工业理化工程研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业理化工程研究院授权不得商用。

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