具有使用者可选值的工艺可调式电阻器制造技术

工艺可调式电阻器通过在制造过程期间调节电阻器的元件而制造。该元件包括接脚、线匝、以及诸如平行的子接脚的元件，其在制造过程中被调节以提供特定用户定义的电阻值。该工艺可调式电阻器提供固定接触点以便支持预先存在或定义电路设计。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有使用者可选值的工艺可调式电阻器
技术介绍
在半导体部件和装置的制造中，工艺完成并改变。一个部件(例如晶体管)工艺的改变会影响其它部件(诸如电阻器)的工艺。典型地，这是当这些部件采用普通材料、接触点等时的情形。例如，相同的工艺步骤可以用于制造晶体管和电阻器。例如，晶体管的性能变化可指定工艺的改变。因此工艺的改变同样导致受影响的电阻器。因此，受影响的电阻器可能必须能够应对由新工艺所指定的任何改变，例如不同的沟槽电阻。此外，随着工艺完成，可能采用不同材料，因此影响电阻器的电阻值。在电路架构的设计中，会要求特定电阻值。因此，任何未来的工艺变化必须考虑特定的电阻值。为了适应工艺变化，典型方法是在电路设计的电阻中提供一较大的变化范围；然而，这会导致在架构设计中的折衷。其它方法包括新式电路设计、修正管芯、重新调整处于开发阶段的产品、和/或采用精密电阻器。这些解决方案已被显示出是耗时且昂贵的。附图说明参照附图来描述具体实施方式。在附图中，附图标记的最左侧数字表示该附图标记首次出现的附图。采用相同的数字贯彻所有图以表示相同特征和部件。图1是示出实现可调式电阻器的示例性装置的视图。图2是示出利用滑动可调接脚(leg)和线匝来调整电阻值从而具有可选值的示例性工艺可调式电阻器的视图。图3是示出具有可被添加或移除以调整电阻的平行元件/接脚的示例性工艺可调式电阻器的视图。图4是示出了对电阻器进行工艺调整的示例性方法的流程图。具体实施方式概述在此描述的是用以在制造过程中调整电阻器来匹配预定值的工艺。该电阻器提供固定连接点，其不影响电路设计。在某些实施方式中，绘制掩模层被更改，以在不影响电路设计中的电阻器的布置或连接的情况下调节该电阻器。为了提供不同电阻值，该电阻器可由元件的集合构建而成。在一实施方式中，“线匝”部分或电阻器的各部分被调整或滑动以调整电阻器的电阻值。在另一实施方式中，平行元件或子接脚可以被添加或移除，以实现特定电阻值。在以下详细描述中，对许多特定细节进行了阐述，以便提供对本专利技术彻底的理解。然而，本领域技术人员将会理解的是，本专利技术可以在没有这些特定细节的情况下实现。在其它情况中，未详细描述众所周知的方法、例程、部件和电路，以不会使得本专利技术模糊不清。示例性半导体装置图1示出包括工艺可调式电阻器102的示例性半导体装置100。该工艺可调式电阻器100连同诸如部件A104和部件B106的一个或更多其它部件一起制造。应当理解的是，半导体装置100连同工艺可调式电阻器102以及部件A104和部件B106可以采用诸如掩模层、沉积法等各种已知半导体工艺制造。同样应当理解的是，可以采用各种材料制造半导体装置100、工艺可调式电阻器102、部件A104和部件B106。半导体装置100连同工艺可调式电阻器100以及部件A104和部件B106可以是大型电路设计或架构的部分。在某些实施方式中，工艺可调式电阻器100具有不会发生变化的固定电路设计电阻，而不管半导体装置100的制造工艺如何。换句话说，当制造工艺完成或变化时，该工艺可调式电阻器102的电阻值保持相同。工艺可调式电阻器102提供一个或更多固定输入连接点108(例如连接点108-1、108-2和108-3)、以及一个或更多固定输出连接点110(例如连接点110-1、110-2和110-3)。具体地，输入连接点108和输出连接点110分别被用于给工艺可调式电阻器102输入电流和输出电流。在图2的示例中，输入电流可由部件A104提供，并且输出电流被提供至部件B106。示例性工艺可调式电阻器现在参考图2，示出了示例性工艺可调式电阻器102。如上所述，在制造半导体装置(诸如半导体装置100)时，该工艺可调式电阻器102与一个或更多其它部件一起被制造或处理。输入电流200可以通过一个或更多固定输入连接点108(例如连接点108-1、108-2和108-3)被一个或更多部件接收。此外，输出电流202可以通过一个或更多固定输出连接点110(例如连接点110-1、110-2和110-3)而提供。提供管芯区域204以用于工艺可调式电阻器102。管芯区域204可以是固定的。换句话说，当用于工艺可调式电阻器102的制造工艺变化(完成)时，管芯区域204保持不变。各种已知材料可以制成管芯区域204以及工艺可调式电阻器102。在该示例中，工艺可调式电阻器102包括三个接脚206-1、206-2和206-3。当该制造工艺改变(完成)时，接脚206可保持固定长度。接脚206-1与固定输入连接点108连接，并且接脚206-3与固定输出连接点110连接。接脚206-1通过线匝208连接到接脚206-2。在此示例中，提供了三个线匝208-1、208-2以及208-3；然而，应当意识到可以提供不同数目的线匝。此外，应当理解是，除了线匝，不同的构造可被实施。同样地，接脚206-3通过线匝210连接到接脚206-2。在此示例中，提供了三个线匝210-1、210-2和210-3；然而，应当预期到可以提供不同数目的线匝。因此，通过连接108和110、接脚206以及线匝208和210提供了实际电阻。可以将线匝208分组为集合组212，并且可以将线匝210分组为集合组216。组212和216、以及线匝208和210最初可以与接脚206一起设置在特定位置，并且位于管芯区域204上。初始设置可用于提供预期的电阻目标再定位。例如，如果该管芯区域材料具有特定电阻值，组212和216的初始设置可以朝向接脚206的端部或管芯区域204的端部。实际上，组212和216的滑动类似于滑动一“长号”，其中“调整”指向特定电阻值。在后续的工艺中，可以将组212和216朝向中心(即连接108和110)引入，以减小电阻。在其它实例中，当工艺完成或变化时，管芯区域204的材料电阻可以改变。换句话说，在后续的工艺中用于管芯区域204的材料可以具有较大的电阻。因此，根据预先存在的架构设计，为了保持电阻器102的相同电阻值，组212和216可被带入，由此保持前述工艺的相同电阻值。为进一步支持预先存在的架构设计，如所述的，连接108和110保持在相同位置，从而使得新工艺对于架构设计是明显的。在特定实施方式中，接脚206-1和206-3以相等长度平衡，并且被认为是对称的。该对称接脚可补偿工艺中的额外变化。在其它实施方式中，可以采用不对称接脚。如以上所述的，掩模层可用于处理/制造工艺可调式电阻器102及其部件。在特定工艺中，可执行用于组212和216(即，线匝208和210)的掩模的重新胶封(re-tape)。工艺可调式电阻器、可替换的实施方式现在参考图3，示出了可替换的示例性工艺可调式电阻器102。如上所述，在制造半导体装置(诸如半导体装置100)时，工艺可调式电阻器102与一个或更多其它部件一起被制造或处理。输入电流300可以通过一个或更多固定输入连接点108(例如，连接点108-1、108-2和108-3)从一个或更多部件接收。此外，输出电流302可以通过一个或更多固定输出连接点110(例如，连接点110-1、110-2和110-3)而提供。提供管芯区域304以用于工艺可调式电阻器102。管芯区域204可以是固定的。换句话说，当用于工艺可调式电阻器10本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对半导体电阻器进行工艺调整的方法，包括：确定所述半导体电阻器的电阻值；为所述半导体电阻器提供输入接触点和输出接触点；通过调节所述半导体电阻器的长度来添加或移除电阻元件；以及与电路中的其它部件一起制造所述半导体电阻器。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对半导体电阻器进行工艺调整的方法，包括：确定所述半导体电阻器的电阻值；为所述半导体电阻器提供输入接触点和输出接触点；通过调节所述半导体电阻器的长度来添加或移除电阻元件；以及与电路中的其它部件一起制造所述半导体电阻器，其中所述添加或移除电阻包括沿着所述半导体电阻器的接脚来移动提供电阻的线匝，或者其中所述添加或移除电阻包括沿着所述半导体电阻器的接脚来添加或移除平行的子接脚元件。2.根据权利要求1所述的方法，其中基于制造所述半导体电阻器的材料的电阻值来确定所述电阻值。3.根据权利要求1所述的方法，其中通过所述电路的预定设计来确定所述输入接触点和所述输出接触点。4.根据权利要求1到3中的任一项所述的方法，其中通过沿着所述半导体电阻器的接脚滑动先前所构造的元件来进行所述添加或移除电阻元件。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述半导体电阻器的接脚是对称的。6.根据权利要求4所述的方法，其中所述半导体电阻器的接脚是不对称的。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述线匝在所述半导体电阻器的接脚的任一端被分组成三个线匝。8.根据权利要求1、2、3、5、6和7中的任一项所述的方法，还包括考虑所述电路中的所述半导体电阻器和所述其它部件的后序制造工艺的变化。9.一种半导体管芯，包括：管芯基板；所述管芯基板上的输入接触点和输出接触点，其接收并传送电流；以及电阻器，其位于所述管芯基板上，具有连接至所述输入接触点和所述输出接触点的多个可调节接脚，其中所述可调节接脚被制造成提供特定电阻值，但调节接脚在所述管芯基板上的长度，所述可调节接脚在任一侧面包括一组线...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·E·齐克尔，N·特里普蒂，A·M·克恩，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：美国;US