【技术实现步骤摘要】
一种从氯娃院中去除三氯化铝的装置
本技术涉及氯硅烷的生产领域,,具体涉及一种从氯硅烷中去除三氯化铝的 装直。
技术介绍
氯硅烷是一种重要的化工产品,氯硅烷的生产成本很低,但是在它们生产过程中 容易生成卤化物,如卤化铝。卤化铝的存在使提高温度时的氯硅烷性能很不稳定,能够在提 高温度过程中导致氯硅烷分解。在制备过程中,不纯的固态硅与含氯气体反应,而且许多固 体杂质滞留在该反应器内或诸如旋流器的除尘设备中。然而,铝及一些其它污染物例如锑、 硼、碳、铟、镓、磷、铊、锡、钛、锌及锆的性质使得它们形成挥发性化合物,与所需要的氯硅烷 一起被带出反应器。因此,反应器的流出气体中含有这些挥发性化合物,流出气体随后被冷 却形成液态氯硅烷混合物,其主要成份为二氯硅烷(SiH2C12)、三氯硅烷(SiHC13)及四氯 化硅(亦称为四氯硅烷)(SiC14),该混合物可通过常规方法主要采用蒸馏进行纯化。铝与 硼一样是主要的杂质,二者皆可在高纯度硅中用作具有电学活性的掺杂剂,因此必须将铝 的含量降至极低。此外,由于氯化铝(A1C13)具有在大气压下不会形成液相的异常 ...
【技术保护点】
一种从氯硅烷中去除三氯化铝的装置,其特征在于,该装置依次包括原液储罐(1)、第一蒸馏塔(2)、第一除杂器(3)、缓冲罐(4)、第二蒸馏塔(5)、第二除杂器(6)、冷凝器(7)和提纯储罐(8),原液储罐与第一蒸馏塔(2)下部连接,第一蒸馏塔(2)顶部与第一除杂器(3)连接,第一除杂器(3)与缓冲罐(4)顶部连接,缓冲罐(4)底部与第二蒸馏塔(5)连接,第二蒸馏塔(5)与第二除杂器(6)顶部连接,第二蒸馏塔(5)顶部与冷凝器(7)顶部连接,冷凝器(7)与提纯储罐(8)连接,各部件均通过管路连接。
【技术特征摘要】
1. 一种从氯硅烷中去除三氯化铝的装置,其特征在于,该装置依次包括原液储罐(1 )、 第一蒸馏塔(2)、第一除杂器(3)、缓冲罐(4)、第二蒸馏塔(5)、第二除杂器(6)、冷凝器(7) 和提纯储罐(8),原液储罐与第一蒸馏塔(2)下部连接,第一蒸馏塔(2)顶部与第一除杂器 (3)连接,第一除杂器(3)与缓冲罐(4)顶部连接,缓冲罐(4)底部与第二蒸馏塔(5)连接, 第二蒸馏塔(5)与第二除杂器(6)顶部连接,第二蒸馏塔(5)顶部与冷凝器(7)顶部连接, 冷凝器(7 ...
【专利技术属性】
技术研发人员:舒忠斌,李波,陶崇花,
申请(专利权)人:浙江精功新材料技术有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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