【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的是一种可拆卸式PLASMA电极，具体涉及一种真空镀膜机可拆 卸P1ASMA电极。 真空镀膜机可拆卸PIASMA电极
技术介绍
真空镀膜机用于在真空条件下，通过中频电源产生的电弧环境下HMDS0 (硅油） 和氩气在几千伏的高电压下反应成硅胶，并附着在前工序镀好的金属膜上起到防止氧化作 用。传统的真空镀膜机采用的电极结构如图1所示，电极D上固定有陶瓷A和陶瓷B，陶瓷 A和陶瓷B之间设置有0型圈C，此种电极结构不可拆卸，一旦损坏，需要更换整个部件，大 大增加了成本，而且绝缘效果差，使用很不方便。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种真空镀膜机可拆卸 P1ASMA电极，延长电极使用寿命。此结构因电极在后部不会污染，节约成本更好的绝缘效 果。 为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：真空镀膜机可拆 卸P1ASMA电极，包括第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷、可调节式电极轴、第一 0型氟橡胶密封 圈、〇型保护套、第二〇型氟橡胶密封圈，可调节式电极轴上设置有第一绝缘陶瓷、第二绝缘 陶瓷，第一绝缘陶瓷外侧分别设置有第一 0型氟橡胶密封圈和第二0型氟橡胶密封圈，第一 〇型氟橡胶密封圈与第一绝缘陶瓷配合，第二〇型氟橡胶密封圈与〇型保护套相配合，〇型 保护套右侧设置有第二绝缘陶瓷。 根据上述的真空镀膜机可拆卸P1ASMA电极，其中，所述的第二绝缘陶瓷外设置有 防尘保护套。 本技术的有益效果：可拆卸式PLASMA电极，可以单独拆卸后清扫，可以随意 更改距离，无需整体更换，如果有部件损坏可以...
【技术保护点】
真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，其特征在于，包括第一绝缘陶瓷(1)、第二绝缘陶瓷(2)、可调节式电极轴(4)、第一O型氟橡胶密封圈(5)、O型保护套(6)、第二O型氟橡胶密封圈(7)，可调节式电极轴(4)上设置有第一绝缘陶瓷(1)、第二绝缘陶瓷(2)，第一绝缘陶瓷(1)外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈(5)和第二O型氟橡胶密封圈(7)，第一O型氟橡胶密封圈(5)与第一绝缘陶瓷(1)配合，第二O型氟橡胶密封圈(7)与O型保护套(6)相配合，O型保护套(6)右侧设置有第二绝缘陶瓷(2)。
【技术特征摘要】
1. 真空镀膜机可拆卸P1ASMA电极，其特征在于，包括第一绝缘陶瓷（1)、第二绝缘陶瓷 (2)、可调节式电极轴（4)、第一 0型氟橡胶密封圈（5)、0型保护套￠)、第二0型氟橡胶密 封圈（7)，可调节式电极轴（4)上设置有第一绝缘陶瓷（1)、第二绝缘陶瓷（2)，第一绝缘陶 瓷（1)外侧分别设置有第一 〇型氟橡胶密...
【专利技术属性】
技术研发人员：李龙哲，夏伟，朱小凤，孙海澄，周征华，
申请(专利权)人：上海哈呐机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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