一种可侦测腔体真空度的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种可侦测腔体真空度的装置，所述装置至少包含：基座；位于基座上的腔体；经由基座一端收容于腔体内的热电偶；位于基座另一端管道上的惰性气体侦测装置。本实用新型专利技术中先在热电偶中预先充入惰性气体，并在基座另一端管道上安装对应的惰性气体的侦测装置，这就保证一旦热电偶破裂，热电偶中预先充入的惰性气体就会进入腔体而被安装在基座另一端管道上的惰性气体侦测装置侦测到，进而触发与之相连接的报警触发装置，在机台上显示出相应的报警信息，能够及时准确的发现热电偶的破裂；同时，高纯的惰性气体的充入，避免了热电偶破裂情况下空气进入腔体，保证了腔体的相对干净，减小了产品报废的风险。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体器件
，特别是涉及一种可侦测腔体真空度的 装直。 一种可侦测腔体真空度的装置
技术介绍
在半导体工艺炉管制程中常会发生热电偶破裂的情况，原因在于在薄膜沉积工艺 中，通常需要使用C1F 3气体来做干洗，而C1F3气体会对热电偶的表面石英保护层造成损伤， 再加上多晶硅薄膜有很大的应力，这就有很大的概率会在产品的正常制程中发生热电偶破 裂的现象。图1为现有技术中热电偶破裂示意图，由图1可以看出，热电偶10内经由基座 11 一端收容于腔体12内，在基座11处使用密封圈13密封起来，热电偶10外端与外界直接 连通，一旦热电偶10破裂，外界的空气就会通过热电偶破裂处14进入腔体12,从而导致产 品报废。 而目前业界对于热电偶制程中的破裂没有有效的预防方法，只有当在制程过程中 发现测漏超过设定规格或者在控压无法达到要求的时候才会拆下热电偶做检查，但这样并 不能在热电偶破裂的时候及时发现，从而无法避免产品报废的风险。 鉴于此，有必要设计一种新的结构以解决上述技术问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种可侦测腔体真空 度的装置，用于解决现有技术中热电偶破裂以后不能及时侦测发现，以及热电偶破裂以后 外界空气进入腔体，从而导致产品报废的问题。 为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种可侦测腔体真空度的装 置，所述装置至少包含： 基座； 位于基座上的腔体； 经由基座一端收容于腔体内的热电偶，设置于热电偶与基座结合处的密封圈，所 述热电偶内预先充入惰性气体； 位于基座另一端管道内的惰性气体侦测装置； 与所述惰性气体侦测装置相连通的报警触发装置。 作为本技术的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述热电偶与 基座结合处设置有用于保证热电偶内的惰性气体始终充满的压力控制阀门。 作为本技术的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述热电偶内 预先充入的惰性气体为氦气。 作为本技术的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述热电偶的 外端与惰性气体源相连接，热电偶破裂时惰性气体源通过压力控制阀门为热电偶充入惰性 气体。 作为本技术的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述惰性气体 源为氮气气体源。 作为本技术的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述惰性气体 侦测装置为氦气侦测装置。 如上所述，本技术的一种可侦测腔体真空度的装置，具有以下有益效果：本 技术中先在热电偶中预先充入惰性气体，并在基座另一端管道上安装对应的惰性气体 的侦测装置，这就保证一旦热电偶破裂，热电偶中预先充入的惰性气体就会进入腔体而被 安装在基座另一端管道上的惰性气体侦测装置侦测到，进而触发与之相连接的报警触发装 置，在机台上显示出相应的报警信息，能够及时准确的发现热电偶的破裂；同时，热电偶的 外端与惰性气体源相连接，并在热电偶与基座结合处的密封圈外侧设置有压力控制阀门， 这就保证一旦热电偶破裂，在压力控制阀门的调节下，惰性气体源向热电偶内充入惰性气 体，高纯的惰性气体的充入，避免了热电偶破裂情况下空气进入腔体，保证了腔体的相对干 净，减小了产品报废的风险。 【附图说明】 图1显示为现有技术中热电偶破裂示意图。 图2a显示为本技术的可侦测腔体真空度的装置的示意图。 图2b显示为本技术的可侦测腔体真空度的装置中的热电偶破裂示意图。 元件标号说明 10、20 热电偶 11、21 基座 12、22 腔体 13、23 密封圈 14、24 热电偶破裂处 25 压力控制阀门 26 基座另一端管道 27 惰性气体侦测装置 28 报警触发装置 29 惰性气体气流 【具体实施方式】 以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说 明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另 外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应 用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。 请参阅图2a至图2b。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅 用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用 新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大 小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用 新型所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如上、下、左、 右、中间及一等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的 范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的 范畴。 请参阅图2a，显示为本技术的可侦测腔体真空度的装置的示意图，所述装置 至少包含：基座21 ;位于基座21上的腔体22 ;经由基座21 -端收容于腔体22内的热电偶 20,设置于热电偶20与基座21结合处的密封圈23,所述热电偶20内预先充入惰性气体； 位于基座另一端管道26内的惰性气体侦测装置27 ;与所述惰性气体侦测装置27相连通的 报警触发装置28。 所述热电偶20大致呈L形，其由外层石英管和内部的热电偶丝组成，本实施例 中，所述热电偶20的外层石英管的弯角处采用直角设计，直角设计可以增加弯角处的管壁 的厚度，因此可以增加弯角处的外层石英管所能承受的剪应力，从而避免外层石英管弯角 处的断裂。 所述热电偶20内预先充入有惰性气体，充入的惰性气体量以将热电偶20内的空 气全部排出为限。热电偶20内预先充入的惰性气体用于热电偶20破裂时的检测，因此，所 充入的惰性气体应为便于检测到的惰性气体。由于氦气具有将强的扩散性，穿透能力较强， 易于捕捉，对漏点有很好的检出能力，因此，本实施例中，优选地，热电偶20内预先充入的 惰性气体为氦气。 所述热电偶20与基座21结合处的密封圈23外侧设置有压力控制阀门25,通过所 述压力控制阀门25来保证热电偶20内的惰性气体始终充满，不留有空气。 所述热电偶20的外端（即靠近压力阀的一端）通过气体管道与惰性气体源相连 接，一旦热电偶20破裂，惰性气体源就可以通过压力控制阀门25为热电偶20充入惰性气 体。图2b为本实施例中可侦测腔体真空度的装置中的热电偶破裂示意图，由图2a和图2b 可知，当热电偶20破裂时，热电偶20内预先充入的惰性气体就会从热电偶破裂处24泄露 到腔体22内，而同时，由于热电偶20内压力变小，压力控制阀门25打开，惰性气体源的气 体充入热电偶20及腔体22。在后续充入惰性气体的不断充入下，热电偶20内的惰性气体 由热电偶破裂处24形成由上至下的惰性气体气流29,使得惰性气体经由腔体22进入基座 21另一端管道26,被设置于基座21另一端管道26内的惰性气体侦测装置27侦测到，进而 触发报警触发装置28,在机台上显示相应的报警信息予以警示。 需要说明的是，由于惰性气体侦测装置27位于基座本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可侦测腔体真空度的装置，其特征在于，所述装置至少包含：基座；位于基座上的腔体；经由基座一端收容于腔体内的热电偶，设置于热电偶与基座结合处的密封圈，所述热电偶内预先充入惰性气体；位于基座另一端管道内的惰性气体侦测装置；与所述惰性气体侦测装置相连通的报警触发装置。

【技术特征摘要】
1. 一种可侦测腔体真空度的装置，其特征在于，所述装置至少包含： 基座； 位于基座上的腔体； 经由基座一端收容于腔体内的热电偶，设置于热电偶与基座结合处的密封圈，所述热 电偶内预先充入惰性气体； 位于基座另一端管道内的惰性气体侦测装置； 与所述惰性气体侦测装置相连通的报警触发装置。2. 根据权利要求1所述的可侦测腔体真空度的装置，其特征在于：所述热电偶与基座 结合处设置有用于保证热电偶内的惰性气体始终充满的压力控制阀门。3. 根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈建飞，李广宁，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11