本实用新型专利技术提供版盒加载卸载装置，包括：版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中，版盒加载卸载单元运送版盒、由取放版机械手交接，将版盒放置于版库，版库承载版盒，一掩模版放置于版盒中；人工加载窗口与版盒加载卸载单元交互；版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在安装框架上，并放置于所述防护框架内。通过运动轴将版盒送到特定位置处，减少了取放版机械手控制的复杂性下降；通过掩膜存在感应器来判断掩模及版盒的物料信息及通过LED指示灯更直观的反应信息，避免了物料信息混乱的局面；通过可升降运动轴，配合特定加载卸载版盒流程，在设计中更注重了人机工程学。
【技术实现步骤摘要】
一种版盒加载卸载装置
本技术涉及机械
，特别涉及一种版盒加载卸载装置。
技术介绍
光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到硅片或玻璃基板上的设备。掩模传输系统 负责物料在曝光成像单元(掩模台）和版盒(物料接口）之间的传送，掩模传输系统是光刻设 备的重要组成部分。 在现有掩模传输系统的工作流程中，首先将装有掩模版的版盒人工放置在加载卸 载装置上，所述版盒被加载卸载装置运送至取放版机械手交接工位，接着由所述取放版机 械手将版盒放入版库中，解锁机构进行解锁，机械手从版库中取出掩模版，送至掩模台进行 交接，最后曝光后由掩模台交接与机械手，由机械手送回，把曝光好的掩模版放回版盒，通 过加载卸载装置卸载到人工窗口取出，完成整体的掩模传输过程。 从上述流程可以发现，加载卸载装置是分系统与操作人员物料交接的窗口，物料 信息的管理、加载人员的安全性及加载卸载的效率都是影响掩模传输的因素。 由于现有技术中，在关于掩模的信息管理上，也存在管理弊端，对于存放版盒及版 盒中掩模版的存在状态也无明确的判断，往往会给掩模信息上带来混乱，掩模板的状态管 理也是掩模传输很关键的一个环节。加载卸载装置作为光刻设备与外界的接口，在现有设 备中，往往忽略了人机工程学对于取放版盒的合理设计，给操作人员带来操作不便，对于操 作人员的安全保护也是研究的重点。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种版盒加载卸载装置，包括：版盒、版盒 加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中， 所述版盒加载卸载单元运送所述版盒，由所述取放版机械手交接，将所述版盒放 置于所述版库，所述版库承载版盒，一掩模版置放于所述版盒中； 所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互； 所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上，并 放置于所述防护框架内。 进一步的，在所述的版盒加载卸载装置中，所述版盒有条码区。 进一步的，在所述的版盒加载卸载装置中，所述版盒加载卸载单元包括：运动轴； 支撑架，与所述运动轴连接；人工加载区，与所述支撑架连接；掩膜存在感应器，设置于所 述人工加载区的第一侧；条码读取器，设置于所述人工加载区的第二侧。 进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述人工加载区包括：第一定位件、第 二定位件、第三定位件和第四定位件，用于保证所述版盒加载时的位置精度； 微动开关，设置于所述第二定位件的一侧； LED指示灯，用于显示所述版盒和掩模版的有无状态。 进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述LED指示灯有2个。 进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述支撑架包括：真空吸附件，用于固 定加载完成的版盒；调平件，用于调整版盒加载卸载单元的位置，确保能与所述取放版机械 手受接。 进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述运动轴包括：人工加载位互锁件、 机械手加载位互锁件和锁紧气缸；当所述人工加载区运动至机械手加载工位时，所述锁紧 气缸锁紧所述机械手加载位互锁件，当所述人工加载区运动至人工加载工位时，所述锁紧 气缸锁紧所述人工加载位互锁件。 进一步的，在所述的版盒加载卸载单元中，所述人工加载窗口包括三组对射式安 全传感器，用于所述版盒加载卸载单元运动到所述人工加载窗口时，若出现异常场景，则触 发所述对射式安全传感器，并进行安全保护。 本技术提供的版盒加载卸载装置，具有以下有益效果：通过运动轴将版盒送 到特定位置处，减少了取放版机械手的工位，取放版机械手控制的复杂性下降。同时通过掩 膜存在感应器来判断掩模及版盒的物料信息及通过LED指示灯更直观的反应信息，避免了 物料信息混乱的局面。通过可升降运动轴，配合特定加载卸载版盒流程，在设计中更注重了 人机工程学。同时，根据原理简单的版盒定位及自锁结构，很好的保证了机械手取放版时的 重复性及取放版精度，更好的提高了加载卸载装置的使用性能。该装置充分考虑人机交互 时，各种安全保护，使人工操作加版更具安全性。 【附图说明】 图1是本技术实施例版盒加载卸载装置结构示意图； 图2是本技术实施例版盒加载卸载装置的版盒结构示意图； 图3是本技术实施例版盒加载卸载装置的版盒加载卸载单元结构示意图； 图4是本技术实施例版盒加载卸载装置的人工加载区结构示意图； 图5是本技术实施例版盒加载卸载装置的支撑架结构示意图； 图6是本技术实施例版盒加载卸载装置的运动轴结构示意图； 图7是本技术实施例版盒加载卸载装置的人工加载窗口结构示意图； 图8是本技术实施例版盒加载卸载装置运动流程图。 【具体实施方式】 以下结合附图和具体实施例对本技术提出的版盒加载卸载装置作进一步详 细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附 图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新 型实施例的目的。 请参考图1，其是本技术实施例版盒加载卸载装置结构示意图。如图1所示， 本技术提供一种版盒加载卸载装置，包括：版盒（图1中未示出）、版盒加载卸载单元1、 版库2、取放版机械手3、安装框架4、防护框架5、人工加载窗口 6 ;其中， 所述版盒被所述版盒加载卸载单元1运送，由所述取放版机械手3交接，将所述版 盒放置于所述版库2,所述版库2承载版盒，所述版盒中置有掩模版； 所述人工加载窗口 6与所述版盒加载卸载单元1交互； 所述版库2、版盒加载卸载单元1和取放版机械手3均固定安装在所述安装框架4 上，并放置于所述防护框架5内。 请参考图2,其是本技术实施例版盒加载卸载装置的版盒结构示意图。如图2 所示，图中示出本技术优选的版盒7的优选尺寸，进一步的，所述版盒7有条码区，对版 盒7进行编码。 请参考图3,其是本技术实施例版盒加载卸载装置的版盒加载卸载单元结构 示意图。如图3所示，所述版盒加载卸载单元包括：运动轴la ;支撑架lb，与所述运动轴la 连接；人工加载区lc，与所述支撑架lb连接；掩膜存在感应器ld，设置于所述人工加载区 lc的第一侧；条码读取器le，设置于所述人工加载区lc的第二侧。 特别的，所述运动轴la为同步带传动，导轨导向及直流电机驱动。 所述版盒加载卸载单元设有固定所述版盒的人工加载区lc，人工加载区lc通过 运动轴la可做升降运动，满足大行程间的加载问题；人工加载区lc可以对版盒进行机械的 粗定位，通过状态信息给出版盒中的物料状态。在整体加载卸载流程中，设计合理取放版盒 的运动工位，保证每槽版盒的放置和取出都满足人机工程学，作出更合理的人机化设计。 所述版盒加载卸载单元设有掩膜存在感应器ld，用于检测每槽版盒状态及掩模版 的存在状态。 所述版盒加载卸载单元设有条码读取器le，用于读取版盒的条码，对版盒的物料 信息进行管理。 请参考图4,其是本技术实施例版盒加载卸载装置的人工加载区结构示意图。 如图4所示，所述人工加载区包括：第一定位件lc-Ι，第二定位件lc-2,第三定位件lc本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种版盒加载卸载装置，其特征在于，包括：版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中，所述版盒加载卸载单元运送所述版盒，由所述取放版机械手交接，将所述版盒放置于所述版库，所述版库承载版盒，一掩模版放置于所述版盒中；所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互；所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上，并放置于所述防护框架内。
【技术特征摘要】
1. 一种版盒加载卸载装置，其特征在于，包括：版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版 机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中， 所述版盒加载卸载单元运送所述版盒，由所述取放版机械手交接，将所述版盒放置于 所述版库，所述版库承载版盒，一掩模版放置于所述版盒中； 所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互； 所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上，并放置 于所述防护框架内。2. 如权利要求1所述的版盒加载卸载装置，其特征在于，所述版盒有条码区。3. 如权利要求2所述的版盒加载卸载装置，其特征在于，所述版盒加载卸载单元包括： 运动轴；支撑架，与所述运动轴连接；人工加载区，与所述支撑架连接；掩膜存在感应器，设 置于所述人工加载区的第一侧；条码读取器，设置于所述人工加载区的第二侧。4. 如权利要求3所述的版盒加载卸载装置，其特征在于，所述人工加载区包括：第一定 位件、第二定位件、第三定位件和第四定位件，用于保证所述版盒...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙鹤源，王长刚，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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