基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括密封连接的壳体和壳盖，还包括压电基片、压电薄膜、基座和三个声表面波谐振器，压电薄膜设在压电基片的上表面，基座固定在壳体内的底面上，压电基片的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜的一端和压电基片的固定端均固定在基座上，且高于壳体内的底面；至少有一个声表面波谐振器设在压电薄膜的上表面，剩余的声表面谐振器设在压电薄膜和压电基片之间；三个声表面波谐振器谐振频率各不相同；三个声表面波谐振器所产生的声表面波均在x方向传播，而所述x方向是指沿着压电基片的固定端向压电基片的悬伸端的伸出方向。本发明专利技术具有能够监测加速度和温度，以及测量精度高的优点。

【技术实现步骤摘要】
基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器
本专利技术具体涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器。
技术介绍
现有实时结构健康监测(Structural Health Monitoring, SHM)是许多工业过程控制的关键。在许多工业应用中，监测运动状态下机械部件的健康状况，如对高速列车车轮的负荷轴承的振动状态的实时监控，是非常重要的。用基于状态的维修(Condition BasedMaintenance, CBM)来替代目前的按计划检修(Schedule Based Maintenance, SBM)是降低维护及运营成本的一种有效方法。在所有这些情况下，采用多种类型的传感器进行实时健康监测是最大限度地保持连续运行时间的关键。结构紧凑、无线和无源的传感器特别适用于在危险的环境中，如在室外恶劣天气环境下、高温、高电磁辐射等环境下连续实时地进行实时结构健康监测。这些小型的无线无源传感器可以不断实时地监视设备的健康状态，并在关键物理量超过了特定的范围时向中央控制室提供报警信号。基于声表面波(SAW)的传感器，外形尺寸小、无线、无源，很适合于这类结构健康监测应用。基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括壳体（1）和壳盖（2），所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：a、还包括压电基片（3）、压电薄膜（6）、基座（8）和三个声表面波谐振器（4），所述压电薄膜（6）设在压电基片（3）的上表面，所述基座（8）固定在壳体（1）内的底面上，压电基片（3）的一端为固定端，另一端为悬伸端，压电薄膜（6）的一端和压电基片（3）的固定端均固定在基座（8）上，且高于壳体（1）内的底面；b、至少有一个声表面波谐振器（4）设在压电薄膜（6）的上表面，剩余的声表面谐振器（4）设在压电薄膜（6）和压电基片（3）之间；c、所述三个声表面波谐振器（4）并联连接，...

【技术特征摘要】
1.一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器，包括壳体(I)和壳盖(2)，所述壳体(I)和壳盖(2 )密封连接，其特征在于: a、还包括压电基片(3)、压电薄膜(6)、基座(8)和三个声表面波谐振器(4)，所述压电薄膜(6)设在压电基片(3)的上表面，所述基座(8)固定在壳体(I)内的底面上，压电基片(3)的一端为固定端,另一端为悬伸端,压电薄膜(6)的一端和压电基片(3)的固定端均固定在基座(8)上，且高于壳体(I)内的底面； b、至少有一个声表面波谐振器(4)设在压电薄膜(6)的上表面，剩余的声表面谐振器(4)设在压电薄膜(6)和压电基片(3)之间； C、所述三个声表面波谐振器(4)并联连接，且谐振频率各不相同；d、所述三个声表面波谐振器(4)所产生的声表面波均在X方向传播，而所述X方向是指沿着压电基片(3)的固定端向压电基片(3)的悬伸端的伸出方向。2.根据权利要求1所述的基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：高翔，刘文，
申请(专利权)人：常州智梭传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32