下载基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器的技术资料

文档序号:10367439

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本发明涉及一种基于声表面波的具有温度补偿的感测加速度传感器,包括密封连接的壳体和壳盖,还包括压电基片、压电薄膜、基座和三个声表面波谐振器,压电薄膜设在压电基片的上表面,基座固定在壳体内的底面上,压电基片的一端为固定端,另一端为悬伸端,压电薄...
该专利属于常州智梭传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州智梭传感科技有限公司授权不得商用。

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