一种MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS麦克风，包括电路板、与电路板密封相连的外壳、均设置在电路板上且彼此电联接的MEMS传感器和ASIC芯片，外壳包括与电路板围成第一空腔主外壳和与电路板围成第二空腔且设置有音孔的辅外壳，MEMS传感器和ASIC芯片设置在第一空腔中，MEMS传感器与电路板共同围成第三空腔，电路板内部设置有连通第二空腔与MEMS传感器后腔的传输通道；第二空腔与第三空腔的体积之和小于第一空腔。由于第一空腔的体积大于第二空腔与第三空腔的体积之和，显著提高了MEMS麦克风的灵敏度。同时，第二空腔和传输通道起到了缓冲气流和保护作用，解决了因异物的进入而失效的问题。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
—种MEMS麦克风
本技术涉及声电转换
，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
现有MEMS (Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)麦克风米用顶部进音设计。即如图1中所示，音孔05设置在外壳01之上；MEMS传感器04与ASIC(ApplicationSpecific Integrated Circuit,功能集成电路)芯片03均设置在电路板02上，并通过导线形成电连接。声音从音孔05进入由外壳01与电路板02围成的前腔06 (与外界相连通)之中，并作用在MEMS传感器04振膜上。由于前腔06的体积远大于MEMS传感器04的后腔07CMEMS传感器04中振膜、传感器外壳和电路板02共同围成的腔体，不与外界连通)，导致采用该类设计的MEMS麦克风灵敏度较低。同时，由于前腔06通过音孔05直接与外部相连通，外界的气流和异物容易进入到MEMS麦克风内部，导致MEMS麦克风失效。由以上所述，如何提供一种新型结构的MEMS麦克风，以解决现有产品灵敏度低，容易因异物的进入而失效的问题，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。技术内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS麦克风，包括电路板、与所述电路板密封相连的外壳、均设置在所述电路板上且彼此电联接的MEMS传感器和ASIC芯片，其特征在于，所述外壳包括主外壳和辅外壳，所述主外壳与所述电路板围成第一空腔，所述MEMS传感器和所述ASIC芯片设置在所述第一空腔中；所述辅外壳上设置有音孔，所述辅外壳与所述电路板围成第二空腔；所述MEMS传感器与所述电路板共同围成第三空腔；所述电路板内部设置有连通所述第二空腔与所述第三空腔的传输通道；所述第二空腔与所述第三空腔的体积之和小于所述第一空腔。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风,包括电路板、与所述电路板密封相连的外壳、均设置在所述电路板上且彼此电联接的MEMS传感器和ASIC芯片，其特征在于，所述外壳包括主外壳和辅外壳，所述主外壳与所述电路板围成第一空腔，所述MEMS传感器和所述ASIC芯片设置在所述第一空腔中； 所述辅外壳上设置有音孔，所述辅外壳与所述电路板围成第二空腔； 所述MEMS传感器与所述电路板共同围成第三空腔； 所述电路板内部设置有连通所述第二空腔与所述第三空腔的传输通道； 所述第二空腔与所述第三空腔的体积之和小于所述第一空腔。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述辅外壳设置在所述主外壳外靠近所述MEM...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯杰，
申请(专利权)人：山东共达电声股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37