一种可切换电阻式探针卡制造技术

本发明专利技术的可切换电阻式探针卡，包括多个探针，若干电路走线单元，每个电路走线单元具有多个支路、以及位于支路上的可更换电阻；切换装置，用于在电路走线单元中的各个支路之间进行切换；电阻容纳装置，位于探针卡正面，且电阻容纳装置与相应的支路相连通，用于将置于其中的电阻与支路相电连；封闭装置，用于将电阻容纳装置和切换装置与外界相隔离；切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个切换装置在相应的电路走线单元中的各个支路之间进行切换。本发明专利技术实现了在测试时，自由的选择与更换电阻，并且避免了重复大量测试对电阻造成的污染，不仅使得测试更加便利，还提高了测试精度，实现了测试的自动化。

【技术实现步骤摘要】
—种可切换电阻式探针卡
本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种可切换电阻式探针卡。
技术介绍
在全自动测试系统上进行晶圆级别的可靠性测试时，就会用到探针卡(如图1，为现有的探针卡的示意图)，探针卡的作用就是通过扎针焊垫使得测试机台信号和被测试结构导通。现有的探针卡会按照不同测试项目对连接电阻的需求分成两类，如图2和3所示，图2为现有的不带电阻的探针卡的示意图，图3为现有的每根针串接电阻的探针卡示意图。目前需要购买以上这两种探针卡来满足不同测试的需求，因为有些测试是不能用加电阻的探针卡进行测试，否则会有分压的情况发生；而有些测试必须用到加电阻的探针卡，来防止测试过程中产生的瞬间大电流烧坏测试结构和损伤探针卡，对于这种测试每根针上都需串接电阻。由于每次在测试之前都需要购买上述两种探针卡，并且在测试时需要从这两种探针卡之间进行选择，从而给测试带来了不便。专利号为CN103592474A的专利公开了一种可切换式探针卡，其在每根探针的走线上设置了支路选择装置，用于在配有探针电阻的支路和未配置有探针电阻的支路之间进行切换，虽然能够解决不需在测试前选择两种探针卡的问题，但是，其只能选择切换连接电阻和不连接电阻，而不能进行不同电阻的更换，这样，无疑限制了测试时的灵活性。并且，这种可切换式探针卡在操作过程中暴露于空气中，这样多次重复使用会造成电阻的大量污染，降低测试精度。
技术实现思路
为了克服以上问题，本专利技术的目的是提供一种可切换式探针卡，其不仅能够更换电阻，可以在不同电阻之间进行切换，从而使得测试更加便利；其还能够避免在重复的大量测试过程中对电阻造成污染，从而提高测试精度。为了实现上述目的，本专利技术提供的一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其还包括:若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻；切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换；电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连；封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离，从而避免大量频繁测试对电阻造成的污染，提高了测试精度。切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。优选地，在所述电阻容纳装置中具有顶出部件，用于将置于其中的电阻顶出所述电阻容纳装置。通过顶出部件，可以便于将电阻从电阻容纳装置中取出，增加测试的便利性，并且，可以避免取出电阻的过程中对电阻容纳电源造成损伤。优选地，所述探针卡具有切换装置容纳槽，将所述切换装置放置其中；优选地，所述探针卡具有多个凹槽，用于将所述电阻置于其中；所述切换装置容纳槽位于所述凹槽的靠近所述探针卡中心的一端。优选地，所述封闭装置为遮挡帽，其一端与所述探针卡通过轴相连接，使所述遮挡帽可以绕所述轴进行上下翻动，从而完成开启或关闭动作。优选地，所述封闭装置连接有封闭装置控制器，所述封闭装置控制器用于控制所述封闭装置的开启或关闭动作。通过封闭装置控制器，可以实现自动化操作，更进一步增加测试的便利性。优选地，所述电阻容纳装置中，通过两个导电片与所述支路相连通。优选地，所述切换装置为电阻切换开关或单刀多掷开关。由此可见，本专利技术的可切换电阻式探针卡，通过设置切换装置、电阻容纳装置、封闭装置、切换装置控制单元，从而实现了在测试时，自由的选择与更换电阻，并且避免了重复大量测试对电阻造成的污染，不仅使得测试更加便利，还提高了测试精度，并且在一定程度上实现了测试的自动化。【附图说明】图1为现有的探针卡的示意图图2为现有的不带电阻的探针卡的示意图图3为现有的每根针串接电阻的探针卡示意图图4为本专利技术的可切换式探针卡的方块图图5为探针卡的内部电路示意图图6为本专利技术的一个较佳实施例的探针卡的示意图图7为本专利技术的一个较佳实施例的探针卡装上电阻后的示意图【具体实施方式】为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容作进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。如前所述，现有的主流使用的探针卡中，通常为不带电阻的探针卡和带有电阻的探针卡，在测试之前，需要在这两种探针卡之间进行购买和选择，增加了使用成本和测试的不便利性；虽然有人设计出可切换式探针卡，但是由于不能够进行电阻的更换，并且大量频繁测试过程会对电阻造成污染，降低测试精度；为此，本专利技术对现有的探针卡作了改进，在实现可选择切换有无电阻支路的前提下，可以根据实际需要更换不同的电阻，并且，可以避免大量频繁测试对电阻造成的污染，提高测试精度；进一步地，设计相关控制单元，实现测试的自动化。以下将结合附图4-7以及具体实施例对本专利技术的可切换电阻式探针卡作详细说明。其中，图4为本专利技术的可切换式探针卡的方块图，图5为探针卡的内部电路示意图，图6为本专利技术的一个较佳实施例的探针卡的示意图，图7为本专利技术的一个较佳实施例的探针卡装上电阻后的示意图。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。本专利技术的可切换电阻式探针卡，包括:多个探针，用于连接被测试结构和测试机台；请参阅图4，本专利技术的可切换电阻式探针卡还包括:若干电路走线单元101，位于探针卡背面，一端与探针相连接，另一端用于连接测试机台；其中，每个电路走线单元具有多个支路、以及位于支路上的可更换电阻；若干切换装置102，每个切换装置的一端与电路走线单元相连接，另一端可选择地与相同的电路走线单元中的支路相连接；用于在相同的电路走线单元中的各个支路之间进行切换；这样，通过在不接电阻、连接不通电阻的支路之间进行切换，从而使探针连接不通的电阻支路；在本专利技术的一个较佳实施例中，为了便于控制切换装置，探针卡具有切换装置容纳槽，将切换装置放置其中；在本专利技术的一个较佳实施例中，切换装置可以为电阻切换开关或单刀多掷开关。如图5所示，为探针卡的内部电路示意图，图中，201表示电阻切换开关，虚线表示电阻切换开关201可摆动的位置，202表示一条支路上的可更换电阻。若干电阻容纳装置103，位于探针卡正面，且每个电阻容纳装置与相应的支路相电连，用于将置于其中的电阻与相应的支路相电连；通过电阻容纳装置可以进行电阻的更换。例如，在一个电路走线单元101中，具有没有连接电阻容纳装置103的支路和连接有电阻容纳装置103的支路，切换装置102通过在各个支路之间进行切换，从而将选择需要使用的支路；根据实际需要，如果需要不同的电阻，只需要将电阻容纳装置103中的电阻取出进行更换即可。这里，在本专利技术的一个较佳实施例中，在电阻容纳装置中具有顶出部件，用于将置于其中的电阻顶出电阻容纳装置。通过顶出部件，可以便于将电阻从电阻容纳装置中取出，增加测试的便利性，并且，可以避免取出电阻的过程中对电阻容纳电源造成损伤，比如，电阻容纳装置中与支路相连是通过导电接点，重复大量的较为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其特征在于，还包括： 若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻； 切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换； 电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连； 封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离； 切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。

【技术特征摘要】
1.一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其特征在于，还包括: 若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻； 切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换； 电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连； 封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离； 切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，在所述电阻容纳装置中具有顶出...

【专利技术属性】
技术研发人员：王炯，尹彬锋，吴奇伟，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31