一种可切换电阻式探针卡制造技术

本发明专利技术的可切换电阻式探针卡，包括多个探针，若干电路走线单元，每个电路走线单元具有多个支路、以及位于支路上的可更换电阻；切换装置，用于在电路走线单元中的各个支路之间进行切换；电阻容纳装置，位于探针卡正面，且电阻容纳装置与相应的支路相连通，用于将置于其中的电阻与支路相电连；封闭装置，用于将电阻容纳装置和切换装置与外界相隔离；切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个切换装置在相应的电路走线单元中的各个支路之间进行切换。本发明专利技术实现了在测试时，自由的选择与更换电阻，并且避免了重复大量测试对电阻造成的污染，不仅使得测试更加便利，还提高了测试精度，实现了测试的自动化。

【技术实现步骤摘要】
—种可切换电阻式探针卡
本专利技术涉及半导体
，特别涉及一种可切换电阻式探针卡。
技术介绍
在全自动测试系统上进行晶圆级别的可靠性测试时，就会用到探针卡(如图1，为现有的探针卡的示意图)，探针卡的作用就是通过扎针焊垫使得测试机台信号和被测试结构导通。现有的探针卡会按照不同测试项目对连接电阻的需求分成两类，如图2和3所示，图2为现有的不带电阻的探针卡的示意图，图3为现有的每根针串接电阻的探针卡示意图。目前需要购买以上这两种探针卡来满足不同测试的需求，因为有些测试是不能用加电阻的探针卡进行测试，否则会有分压的情况发生；而有些测试必须用到加电阻的探针卡，来防止测试过程中产生的瞬间大电流烧坏测试结构和损伤探针卡，对于这种测试每根针上都需串接电阻。由于每次在测试之前都需要购买上述两种探针卡，并且在测试时需要从这两种探针卡之间进行选择，从而给测试带来了不便。专利号为CN103592474A的专利公开了一种可切换式探针卡，其在每根探针的走线上设置了支路选择装置，用于在配有探针电阻的支路和未配置有探针电阻的支路之间进行切换，虽然能够解决不需在测试前选择两种探针卡的问题，但是，其只能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其特征在于，还包括： 若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻； 切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换； 电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连； 封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离； 切换装置控制单元，用...

【技术特征摘要】
1.一种可切换电阻式探针卡，包括多个探针，用于连接被测试结构和测试机台，其特征在于，还包括: 若干电路走线单元，位于所述探针卡背面，一端与所述探针相连接，另一端用于连接测试机台；每个所述电路走线单元具有多个支路、以及位于所述支路上的可更换电阻； 切换装置，所述切换装置的一端与所述电路走线单元相连接，另一端可选择地与所述电路走线单元中的所述支路相连接；用于在所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换； 电阻容纳装置，位于所述探针卡正面，且所述电阻容纳装置与相应的所述支路相电连，用于将置于其中的电阻与所述支路相电连； 封闭装置，用于将所述电阻容纳装置和所述切换装置与外界相隔离； 切换装置控制单元，用于在封闭状态下，控制各个所述切换装置在相应的所述电路走线单元中的各个所述支路之间进行切换。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，在所述电阻容纳装置中具有顶出...

【专利技术属性】
技术研发人员：王炯，尹彬锋，吴奇伟，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31