芯片固定装置及芯片固定系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术所提供的芯片固定装置及芯片固定系统中，当芯片固定时，待固定芯片设置于载具上，通过对芯片固定装置中的承托部件及支撑部件的结构设计，实现对芯片的固定。避免了由于胶带材质不适用于高温环境或者银的液态胶需要较长的固化时间，使得芯片上有残胶或者芯片表面易被氧化的情况，提高了芯片在进行测试时的测量结果的精准度及芯片在进行量产时的成品率。

【技术实现步骤摘要】
芯片固定装置及芯片固定系统
本技术涉及半导体集成电路的
，尤其涉及一种芯片固定装置及芯片固定系统。
技术介绍
随着科技的发展，芯片以其高度的集成化及稳定的性能被广泛应用，比如激光器、光电探测器、调制器等仪器都应用到了芯片。在芯片的制程中，对芯片的精确测试作为芯片制备、建立等效电路模型和封装设计的重要参考。在芯片进行量产时，最终完成出货前都需对其进行测试，以此来筛选出有瑕疵的或者是不能够满足使用条件的电子芯片。但是由于芯片体积较小，在进行测试时为了方便和防止对芯片造成损伤，现有技术采用的方法是将芯片放置于导电的金属载具上，使用铜胶带、铝胶带、或者碳胶带，将芯片固定在金属载具上或者使用银的液态胶将芯片固定在载具上。但是，对于现有技术的方法中:使用铜胶带、铝胶带或者碳胶带将芯片固定在金属载具上的方法，这种方法在应用于背面金属工艺过程中，其背面金属工艺过程中高温会让胶带上的胶粘附在芯片正面，形成残胶，粘附在芯片正面上的残胶很难去除，降低了芯片加工的成品率；而对于使用银的液态胶将芯片固定在载具上，由于银的液态胶需要较长的固化时间，使得芯片表面在固化过程中容易被氧化，不仅降低了工作效率，同时影响了芯片的正常性能，降低了芯片在测试时的测量结果的精准度及芯片在进行量产时的成品率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供芯片固定装置及芯片固定系统，以解决现有技术中在固定芯片时采用的方法中，由于胶带材质不适用于高温环境或者银的液态胶需要较长的固化时间，使得芯片上有残胶或者芯片表面易被氧化，致使芯片在进行测试时，测量的结果精度不高的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供了芯片固定装置及芯片固定系统，其中，所述芯片固定装置，包括:承压部件及与所述承压部件连接的支撑部件；所述支撑部件包括:杆体及与杆体连接的压扣部件；其中，所述杆体上设置有螺纹套及弹簧，所述螺纹套靠近所述承压部件，所述弹簧靠近所述压扣部件。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述压扣部件包括:第一活动单元及与所述第一活动单元连接的第二活动单元。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述第一活动单元与所述第二活动单元通过圆柱轴连接。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述杆体与所述第一活动单元通过圆柱轴连接。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述杆体的形状为圆柱体。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述承压部件的形状为长方体、正方体或者圆柱体。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述螺纹套及所述弹簧均嵌套于所述杆体上。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述承压部件、所述支撑部件、所述螺纹套及所述弹簧的材质均为导电材料。可选的，在所述的芯片固定装置中，所述承压部件、所述支撑部件、所述螺纹套及所述弹簧的材质均为铜或者铝。一种芯片固定系统，包括:载具及多个所述的芯片固定装置；当固定芯片时，待固定芯片设置于所述载具上，芯片固定装置固定于所述载具上并且夹持住所述芯片。在本技术所提供的芯片固定装置及芯片固定系统中，当芯片固定时，待固定芯片设置于载具上，通过对芯片固定装置中的承托部件及支撑部件的结构设计，实现对芯片的固定。避免了由于胶带材质不适用于高温环境或者银的液态胶需要较长的固化时间，使得芯片上有残胶或者芯片表面易被氧化的情况，提高了芯片在进行测试时的测量结果的精准度及芯片在进行量产时的成品率。【附图说明】图1是本技术芯片固定装置的剖面结构示意图；图2是本技术芯片固定系统的剖面示意图；图3是本技术芯片固定系统的俯视示意图。【具体实施方式】以下结合附图和具体实施例对本技术提出的芯片固定装置及芯片固定系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图1、图2及图3，其为本技术实施例的芯片固定装置及芯片固定系统的相关示意图。如图1所示，所述芯片固定装置100包括:承压部件I及与所述承压部件I连接的支撑部件2 ;所述支撑部件2包括:杆体20及与杆体20连接的压扣部件25 ;其中，所述杆体20上设置有螺纹套21及弹簧22，所述螺纹套21靠近所述承压部件1，所述弹簧22靠近所述压扣部件I。请参照图3，其为本技术芯片固定系统的俯视示意图，所述芯片固定系统包括:载具3及多个所述的芯片固定装置100 ;当固定芯片5时，待固定芯片5设置于所述载具3上，芯片5固定装置固定于所述载具3上并且夹持住所述芯片5。本技术的芯片固定装置100应用的原理:参照图2及图3，具体列举一个芯片固定装置100在实际应用时的操作。当对芯片5进行固定时，第一步，将待固定的芯片5放置于载具3上(载具3是现有
中通用的)；第二步，手动按住承压部件I，使得支撑部件2在螺纹套21的作用下嵌入到载具3中，直至压扣部件25接触到待固定芯片5，此时螺纹套21完全嵌入载具3中；第三步，手动将承压部分I往远离载具的方向移动，使得杆体20上的弹簧22呈压缩状态，弹簧22给予固定芯片5 —个水平压力，进一步固定芯片5的位置。第四部，完成对芯片5的固定操作。请继续参照图2，为本技术芯片固定系统的剖面示意图，从中可以清楚的看到芯片固定装置100较好的将芯片5固定于载具3上。具体的，为进一步确保芯片5在载具3上的稳固性，如图3所示，在芯片5的每一边上都设置一芯片固定装置100。较佳的，在芯片的同一边上可设置多个芯片固定装置100，具体操作同上面的具体操作，不再赘述。优选的，所述压扣部件25包括:第一活动单元23及与所述第一活动单元23连接的第二活动单元24。在使用芯片固定装置100进行芯片5固定操作时，第一活动单元23与杆体20成直角(即第一活动单元23接触到芯片5的一端)，有利于对芯片5的夹持固定；第二活动单元24可以给芯片5—个下压的分力。进一步，提高了芯片固定装置100对芯片5的固定性能。优选的，所述第一活动单元23与所述第二活动单元24通过圆柱轴连接。进一步，在实际应用中，对所要固定的芯片5产生一个下压的分力，较好的固定芯片5的位置。优选的，所述杆体20与所述第一活动单元23通过圆柱轴连接。进一步，第一活动单元23可以围绕杆体20自由旋转，在遇到芯片5的边缘时，可以形成稳固的直角，起到对芯片5进行支持加固的作用。优选的，所述杆体20的形状为圆柱体。优选的，所述承压部件I的形状为长方体、正方体或者圆柱体。进一步，承载手动时的压力，便于操作。优选的，所述螺纹套21及所述弹簧22均嵌套于所述杆体20上。优选的，所述承压部件1、所述支撑部件2、所述螺纹套21及所述弹簧22的材质均为导电材料。较佳的，所述承压部件1、所述支撑部件2、所述螺纹套21及所述弹簧22的材质均为铜或者铝。进一步，确保整个芯片固定装置100适用于实际的芯片5测试的情况。综上，在本技术所提供的芯片固定装置及芯片固定系统中，当芯片固定时，待固定芯片设置于载具上，通过对芯片固定装置中的承托部件及支撑部件的结构设计，实现对芯片的固定。避免了由于胶带材质不适用于高温环境或者银的液态胶需要较长的固化时间，使得芯片上有残胶或者芯片表面易被氧化的情况，提高了芯片在进行测试时的测量结果本文档来自技高网...

【技术保护点】
芯片固定装置，其特征在于，包括：承压部件及与所述承压部件连接的支撑部件；所述支撑部件包括：杆体及与杆体连接的压扣部件；其中，所述杆体上设置有螺纹套及弹簧，所述螺纹套靠近所述承压部件，所述弹簧靠近所述压扣部件。

【技术特征摘要】
1.芯片固定装置，其特征在于，包括:承压部件及与所述承压部件连接的支撑部件； 所述支撑部件包括:杆体及与杆体连接的压扣部件；其中，所述杆体上设置有螺纹套及弹簧，所述螺纹套靠近所述承压部件，所述弹簧靠近所述压扣部件。2.如权利要求1所述的芯片固定装置，其特征在于，所述压扣部件包括:第一活动单元及与所述第一活动单元连接的第二活动单元。3.如权利要求2所述的芯片固定装置，其特征在于，所述第一活动单元与所述第二活动单元通过圆柱轴连接。4.如权利要求2所述的芯片固定装置，其特征在于，所述杆体与所述第一活动单元通过圆柱轴连接。5.如权利要求1所述的芯片固定装置，其特征在于，所述杆体的形状为圆柱体。6.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦，赖李龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11