【技术实现步骤摘要】
一种多腔室制绒系统
本技术涉及链式太阳能清洗设备和湿法处理设备,尤其涉及一种应用于光伏行业中的多晶硅片的制绒清洗设备。
技术介绍
多晶硅片的生产中,通常使用链式太阳能清洗设备对硅材进行制绒清洗处理。当硅片在和化学药品发生反应时,会造成清洗设备的反应槽内的药液浓度出现区域性不一致,以及反应槽内各点温度存在差异性,这将导致硅片表面处理的均匀性大大降低。因此,改善反应槽内的药液浓度差异,以及反应槽内各点药液温度差异,是业内亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术为了解决上述技术问题,提供一种换液速度快、反应槽内液体浓度及温度差异性小的多腔室制绒系统。本技术提出的一种多腔室制绒系统,其包括反应槽及滚筒。所述反应槽中设有多对隔板并将反应槽分隔成多个工作液腔室,每对隔板的两板之间为溢流循环的缓冲腔室,该缓冲腔室的底部设有输出口,该输出口通过管路与反应槽外的液体循环系统连接;所述隔板的高度低于所述反应槽周边的高度。本技术使用多对隔板将反应槽腔体分隔成多个工作液腔室,当槽体内液面到达一定高度时,反应槽内上层的药液从隔板上部流入溢流循环的缓冲腔室而快速流走,从而加快反应槽 ...
【技术保护点】
一种多腔室制绒系统,包括反应槽(1)及滚筒(2),其特征在于,所述反应槽(1)中设有多对隔板(3),并将反应槽(1)分隔成多个工作液腔室(4),每对隔板的两板之间为溢流循环的缓冲腔室(5),该缓冲腔室的底部设有输出口,该输出口通过管路(6)与反应槽外的液体循环系统连接;所述隔板(3)的高度低于所述反应槽(1)周边(7)的高度。
【技术特征摘要】
1.一种多腔室制绒系统,包括反应槽(I)及滚筒(2),其特征在于,所述反应槽(I)中设有多对隔板(3),并将反应槽(I)分隔成多个工作液腔室(4),每对隔板的两板之间...
【专利技术属性】
技术研发人员:左国军,
申请(专利权)人:常州捷佳创精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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