【技术实现步骤摘要】
一种被动式脉动流体滤波装置
本专利技术涉及流体滤波领域，尤其涉及一种被动式脉动流体滤波装置。
技术介绍
近年来，许多非机械泵被用于微流动系统的驱动部件中，这些非机械泵利用电流体驱动、电磁致动、电渗等原理，向外泵送微量、稳定的流体。然而，由于这些非机械泵有电场、磁场等直接作用在流体之上，只能泵送特定组分的溶液且生物相容性低，不适用于输出试剂体积的精确控制。因而，利用压电元件(压电片或压电叠堆)作为换能器进行流体传输的压电泵，同于其具有结构简单、体积小、重量轻、驱动力大、低泄漏、响应时间短、耗能低、无噪声、无电磁干扰等优点，被广泛用于微流动系统的驱动部件中。通过流量传感器与压电泵的配合，建立压电泵闭环控制系统对于实现对压电泵输出试剂体积的精确控制具有重要的意义。然而由于压电泵泵送的流体是脉动的，且在每个工作周期内受压电陶瓷的磁滞、蠕变等影响，泵送的流量并不相等，以及流量传感器的响应频率低等影响，传感器难以精确的检查流量。针对现有技术中存在的上述问题，2005年卡内基梅隆大学的Bozhi Yang提出了一种用于稳定波动流动的结构，但是难以通过调节微通道的尺寸来调...
【技术保护点】
一种被动式脉动流体滤波装置，其特征在于：包括上基板、下基板、薄膜层，所述薄膜层设置于所述上基板、下基板之间，所述上基板、下基板、薄膜层之间密封贴合，所述上基板底部横向设置有用于流体流动的微通道，并且在所述微通道的两端分别开设有供流体流入的进口与供流体流出的出口，所述下基板纵向设置有通孔。
【技术特征摘要】
1.一种被动式脉动流体滤波装置，其特征在于:包括上基板、下基板、薄膜层，所述薄膜层设置于所述上基板、下基板之间，所述上基板、下基板、薄膜层之间密封贴合，所述上基板底部横向设置有用于流体流动的微通道，并且在所述微通道的两端分别开设有供流体流入的进口与供流体流出的出口，所述下基板纵向设置有通孔。2.根据权利要求1所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于:所述薄膜层为PDMS薄膜层，所述上基板、下基板为玻璃基板。3.根据权利要求2所述的被动式脉动流体滤波装置，其特征在于:所述PDMS薄膜层的弹性模量为750kPa，泊松比...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈立国，贺文元，吴宣，潘明强，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。