【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种并联式压电微型泵，包括盖体、与盖体固定配合并与之形成泵腔的壳体、以及位于泵腔内的泵芯组件，其特征在于：所述泵芯组件包括：固定在盖体上的第一支座、固定在壳体上的第二支座、安装在第一支座上的第一弹性密封圈、安装在第二支座上的第二弹性密封圈、边缘周围预压在第一弹性密封圈上并抵顶盖体的第一压电振子、边缘周围预压在第二弹性密封圈上并抵顶壳体的第二压电振子、以及安装在第一支座和第二支座上的入口阀和出口阀；所述第一支座与第一弹性密封圈、第一压电振子围成的空间形成第一可变腔体，所述第二支座与第二弹性密封圈、第二压电振子围成的空间形成第二可变腔体，所述第一可变腔体和第二可变腔体通过相应的...
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。