玻璃板的研磨装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供玻璃板的研磨装置。本发明专利技术的研磨装置(10)中使用的研磨垫(26)为软质树脂聚氨酯制，A硬度为80以上，密度为0.7g/cm3以上。另外，研磨垫(26)的A硬度为90以下，密度为0.9g/cm3以下。由此，根据本发明专利技术的研磨装置(10)，能够利用兼具平坦化能力和伤痕抑制能力的研磨垫(26)对玻璃板(G)进行研磨，因此，能够缩短利用仅具有伤痕抑制能力的后段的研磨垫的精密研磨工序中花费的加工时间。因此，根据研磨装置(10)，比现有研磨装置相比，能够使玻璃板(G)的研磨效率显著提高。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】玻璃板的研磨装置
本专利技术涉及玻璃板的研磨装置。
技术介绍
在专利文献1、2等中公开了利用通过将熔融玻璃浇注到熔融锡浴上来制造玻璃板的浮法的玻璃板的制造装置。另外，以往还已知将利用浮法制造的玻璃板研磨成液晶显示器、等离子体显示器等FPD(Flat Panel Display，平板显示器)用玻璃基板的研磨装置。利用浮法制造的玻璃板在其表面上存在微小的凹凸、起伏(间距为3?30mm、最大高度为0.3 μ m的起伏)和伤痕，这种微小的凹凸、起伏和伤痕成为导致图像产生变形、颜色不均的原因。因此，需要利用研磨装置将微小的凹凸、起伏和伤痕除去。在专利文献3公开的研磨装置中，将由玻璃保持构件保持的玻璃板按压到安装在平台上的研磨垫上，并且使上述平台与玻璃保持构件发生相对移动，从而将玻璃板的微小凹凸、起伏除去。另外，在专利文献4中公开了如下技术:玻璃板的研磨工序具备两道工序，在前段的粗研磨工序中使用硬度高(70?80度)的树脂制研磨垫对玻璃板的表面进行平滑加工，然后，在后段的精密研磨工序中使用硬度低(20度)的树脂制研磨垫将存在于玻璃板的表面上的伤痕研磨除去。即，在现有的玻璃板研磨装置中，一般实施如下做法:在使用硬质树脂的研磨垫将玻璃板的微小凹凸、起伏除去后，使用软质树脂的研磨垫，由此提高研磨速率，将上述伤痕除去。另外，在专利文献5中公开了如下内容:硬质树脂的研磨垫由氨基甲酸酯构成，软质树脂的研磨垫由发泡氨基甲酸酯构成。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2008-239370号公报专利文献2:日本特开2009-46366号公报专利文献3:W02007/020859号公报专利文献4:日本特开平7-244947号公报专利文献5:日本特开2009-211782号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是，在如现有研磨装置这样使硬质树脂的研磨垫具备平坦化能力、使软质树脂的研磨垫具备伤痕抑制能力的情况下，即，在将平坦化能力和伤痕抑制能力由两个研磨垫分担的情况下，利用软质树脂的研磨垫将伤痕除去所花费的加工时间变长，因此存在研磨效率降低的问题。本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够使研磨效率提高的玻璃板的研磨装置。用于解决问题的方法为了实现上述目的，本专利技术提供一种玻璃板的研磨装置，利用树脂制研磨垫对玻璃板进行研磨，其特征在于，所述研磨垫的树脂的密度为0.7g/cm3以上，依据IS07619的A硬度为80以上。另外，根据本专利技术，上述研磨垫的A硬度为90以下。另外，根据本专利技术，上述研磨垫的树脂的密度为0.9g/cm3以下。另外，根据本专利技术，上述树脂为聚氨酯。在利用研磨垫的玻璃板的研磨中，为了发挥伤痕抑制能力，优选例如软质树脂的聚氨酯，但为了发挥平坦化能力，树脂的A硬度需要为80以上。因此，本专利技术使用软质树脂作为研磨垫，通过使该软质树脂的密度为0.7g/cm3以上，使A硬度为80以上。由此，根据本专利技术，能够利用兼具平坦化能力和伤痕抑制能力的研磨垫对玻璃板进行研磨，因此，能够缩短在利用仅具备伤痕抑制能力的后段的研磨垫的精密研磨工序中花费的加工时间。因此，根据本专利技术的玻璃板的研磨装置，能够使研磨效率提高。另外，通过将上述树脂的A硬度的上限值规定为90，使伤痕抑制能力进一步提高。这种情况下，上述树脂的密度的上限值为0.9g/cm3。另外，通过实验确认了:对于即使作为软质树脂但密度或A硬度中的至少一项超过上述上限值的研磨垫、和即使树脂的A硬度为80以上且90以下但密度低于0.7g/cm3的研磨垫而言，伤痕抑制能力降低。另外，本专利技术涉及一种玻璃板，利用上述研磨装置进行了研磨，其中，在上述玻璃板的研磨面上，深度0.1 μ m以上、宽度2μ m以上、长度5μ m以上的伤痕为100个以下。此外，在上述玻璃板中，以Iym的研磨量对研磨前的研磨面的起伏高度为0.02 μ m、起伏间距为P的玻璃板进行研磨时,将研磨后的研磨面的起伏高度设为H时，H/P优选为1.6X10—6以下。专利技术效果根据本专利技术的玻璃板的研磨装置，能够利用兼具平坦化能力和伤痕抑制能力的研磨垫对玻璃板进行研磨，因此，能够使研磨效率提高。【附图说明】图1是表示应用了实施方式的研磨垫的研磨装置的整体构成的立体图。图2是图1所示的研磨装置的侧视图。图3是表示试样N0.1?18的研磨垫的密度、A硬度的一览的表。图4是表示试样N0.1?18的密度与A硬度的相关的表。图5是用于说明研磨垫的平坦化能力的评价方法的说明图。图6是对规定尺寸的一片玻璃板上的伤痕个数与Η/P的关系进行归纳的表。【具体实施方式】以下，依照附图对本专利技术的玻璃板的研磨装置的优选实施方式进行详细说明。图1是表示实施方式的玻璃板的研磨装置10的整体构成的立体图。图2是图1所示的研磨装置10的侧视图。这些图中所示的研磨装置10，使用树脂制研磨垫26将通过浮法制造的玻璃板G、例如厚度为1.1rnm以下、一边长度为300mm以上的矩形玻璃板G的表面研磨至FPD用玻璃基板所需的平坦度。即，该研磨装置10是如下装置:对以3?30mm的间距存在最大高度为0.3 μ m的起伏的玻璃板G的研磨面进行研磨,使该起伏的最大高度降低至0.05 μ m以下,并且将伤痕研磨除去，由此制造最合适作为不给图像带来变形、颜色不均的Fro用玻璃基板的玻璃板。另外，上述起伏的测定方法为JIS B0601 ；2001中记载的方法。另外，用于使上述起伏的最大高度为0.05 μ m以下的研磨量根据研磨垫26的硬度来确定。研磨垫26的硬度越高，则平坦化能力越高，因此，若为上述研磨量，则至少能够降低起伏的最大高度。另外，作为研磨垫26的材料的树脂单体的硬度越低，则越能发挥伤痕抑制能力。对于研磨垫26，在后面进行说明。研磨装置10由研磨头12和平台14构成。研磨头12具备保持玻璃板G的非研磨面的玻璃保持构件16、通过密封材料18安装有玻璃保持构件16的玻璃保持平台20以及安装有玻璃保持平台20的支座22。在支座22上固定有旋转轴24，旋转轴24以作为其轴心的自转轴P1为中心旋转，由此使研磨头12进行自转，并且旋转轴24以公转轴P2为中心进行公转，由此使研磨头12进行自转和公转。另外，通过中空的旋转轴24由空气泵(未图示)向支座22的空气室23中供给压缩空气，该压缩空气的压力通过玻璃保持平台20、密封材料18和玻璃保持构件16传递到玻璃板G上。平台14具备研磨垫26、通过密封材料28安装有研磨垫26的研磨垫保持平台30，研磨垫26的表面与玻璃板G的研磨面相对。密封材料28为软质且用于提高吸附保持性的树脂制(例如聚氨酯制)的密封材料。研磨垫保持平台30可以在研磨垫26的表面的面内方向上摇动。因此，实施方式的研磨装置10利用上述压缩空气的压力将玻璃板G的研磨面以均匀的压力按压到研磨垫26上，并且使研磨头12进行自转和公转，由此对玻璃板G的研磨面进行研磨。另外，实施方式的研磨装置10例示了利用一片研磨垫26对玻璃板G进行研磨并且利用压缩空气(加压流体)的研磨装置，但本专利技术的研磨装置不限定于上述研磨装置10。例如，也可以适用于排列多个研磨垫、使玻璃板G沿着排列的多个研磨垫移动的同时利用多个研磨垫对玻璃板G进行研磨的连续式研磨装置。研磨垫26为软质树脂的聚氨酯制，A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃板的研磨装置，利用树脂制研磨垫对玻璃板进行研磨，其特征在于，所述研磨垫的树脂的密度为0.7g/cm3以上，依据ISO7619的A硬度为80以上，所述研磨垫的A硬度为90以下，所述研磨垫的树脂的密度为0.9g/cm3以下。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.12.02 JP 2011-2649011.一种玻璃板的研磨装置，利用树脂制研磨垫对玻璃板进行研磨，其特征在于， 所述研磨垫的树脂的密度为0.7g/cm3以上，依据IS07619的A硬度为80以上，所述研磨垫的A硬度为90以下，所述研磨垫的树脂的密度为0.9g/cm3以下。2.如权利要求1所述的玻璃板的研磨装置，其中， 所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：横山哲史，渡边翔太郎，甲斐辰彦，福原裕，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP