喷墨头装置制造方法及图纸

本发明专利技术所要解决的技术问题是，在一种使用具有多个喷嘴的喷墨头，将材料涂布在基板上的多个位置的装置中，测量从头安装时的目标位置开始的偏差，通过有效且高精度的修正，成品率高地制造制品基板。本发明专利技术中，通过在多个设置于装置上的喷墨头中，以中央的头为基准，使用喷嘴照相机，测量该头１的两端喷嘴（间距ｄ）的位置，来预先对所有的头进行位置校正。进而，将材料图案涂布到调整用基板，通过观测涂布点的位置，来测量从目标位置的偏差（间距Ｄ），从其差量计算移动量，进行各头间的喷嘴的ＸＹθ方向位置校正。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及排出液滴的液滴排出装置，更详细地说是涉及头移动 框架移动型的多头的喷墨液滴涂布装置。
技术介绍
喷墨头是指用于利用气泡或者压电元件，高精度地排出少量的液 滴的装置，喷墨涂布装置作为使用它，以实现高精度.高机密的液滴涂 布为目的的装置，近年引人注目，期待在各种各样的领域得到应用。如专利文献l所述，伴随着在成为涂布对象的基板的大型化，在 装置实际安装的喷墨头也增加，在向基板高精度涂布时，由于这些喷 墨头安装时的偏差产生的喷嘴位置的不一致会对涂布性能有很大的影 响。因此，需要使用夹具进行头安装、喷嘴观测进行的位置校正等， 据此，来谋求提高喷嘴位置精度。专利文献1日本特开2004-148180号公才艮(图1)在专利文献l的方法中，通过设置在头部的照相机，观测排出到 基板的液滴状态，计算从安装的基准位置开始的偏差量，通过使头移 动来进行校正。另外，通过固定照相机，从涂布液的飞翔状况来观测 涂布量。但是，在该方法中，由于各个头的射出速度*射出角度的不同，在 实际涂布了的情况下，存在着在各头之间的涂布状态产生差，在膜上 产生条痕的可能性。另外，需要准备实验用的基板，也需要进行实验 用的排出，还产生了涂布液的浪费。本专利技术的目的是提供一种涂布装置，该涂布装置除了进行以往的 根据喷嘴位置的检测结果进行的喷嘴位置的校正以外，还通过点位置 检测照相机，观测涂布后的基板上的各点位置，求出涂布偏差量，进 行喷嘴位置校正，同时，观测实际的排出液滴的飞翔状态，根据该观测结果，进行排出控制，据此，实现高精度的涂布。
技术实现思路
为了消除头的射出状态的不同造成的影响，在基板上进行图案涂布，通过照相机，测量该涂布点的位置偏差，计算移动量，使头在XY0 方向移动，据此，进行位置校正。 专利技术效果在本专利技术中，喷墨头的射出速度、射出角度等的不一致在单一头 中比较小，但是，通过着眼于在排列的各头的喷嘴之间制造时产生的 初期特性不一致造成的不一致非常大的情况、装置设置时的产生安装 误差或者进行涂布时的环境变化、即，例如气温变化、使用材料的粘 度变化、阻塞等造成的上述喷墨头的经时特性变化的影响大的情况， 在即将进行涂布前，测定每个头的射出特性，根据上述测定结果，进 行涂布控制，据此，可以降低每个涂布点的位置不一致，能够制造均 匀，没有斑点的高品质的面板。附图说明图l是表示喷墨涂布装置的整体构造的图。图2是表示涂布装置的后方的图。图3是表示喷墨头的喷嘴排列的图。图4是表示头移动机构的细节图。图5是表示喷嘴的观测方法的图。图6是表示基于喷嘴观测的位置校正方法的图。图7是表示涂布点的观测方法的图。图8是图7的涂布点的局部放大图。图9是喷嘴位置调整方法的流程图。符号说明l...喷墨头、2...移动框架、3.,.头移动机构、4...托架、6...喷嘴照 相机、7...飞溅液滴检查照相机、8...涂布点检查照相机、9...喷嘴、17.,. 移动台、18...直线轨道、20...基板台。具体实施方式以喷墨涂布装置为例，说明本专利技术的实施例。在图1~2中，是表示作为喷墨涂布装置，安装着6个喷墨头的概 略图。在本喷墨装置中，设有栽置作为涂布对象物的基板21，通过未图 示出的吸引吸附机构，固定在台面上的基板台20。设有被构成为跨越 该基板台20，能够在前后方向移动的移动框架2。在该移动框架2上， 在前方侧，能够在框架的长度方向(左右方向)移动地设置三个喷墨 头1 (下面简称头)，同样地在后方侧设置三个头1。在移动框架2 的两脚的部分，设有设置了直线马达的移动台17，通过驱动直线马达， 能够在设置于台架侧的直线轨道18上在前后方向移动，另外，虽然没 有图示出，但是在移动台17上，还具有使移动框架2在上下运动的机 构。各头l被连结在头移动机构3上，头移动机构3净皮固定在移动框 架2上。在头移动机构3上借助安装托架4安装着头l，相对于基板台20， 头1的排出口 (喷嘴9)以隔开间隔平行的方式被配置。这些头移动 机构3、安装托架4以及头1的组合在前列有三个、在后列有三个共 六个锯齿状地设置在移动框架2上。另外，在装置(基板台20)前方 (或者后方)设置有喷嘴照相机6以及飞溅液滴检查照相机7。喷嘴 照相机6为了能够观测头1的喷嘴，朝向上方设置，飞溅液滴检查照 相机7为了观测从喷嘴9排出的液滴的状态，朝向水平方向设置。另 外，如图2所示，在移动框架2的后方(或者前方)侧，设置覆盖移 动框架2的后方侧头的罩，在该罩部分安装涂布点检查照相机8。该 涂布点检查照相机8为了观测涂布在基板面上的液滴的状态，向下设 置。该涂布点检查照相机8具有直线马达，以便能够沿设置在罩部的 直线轨道22在框架2的长度方向移动。接着，说明装置的各部分的功能以及动作。如图3所示，各头l在底面二维地多列配置用于排出液材料的多 个喷嘴9。另外，在各头1内置着用于从喷嘴9排出液滴材料的压电 驱动机构。另外，喷嘴9等间隔配置。在本实施例中，锯齿地配置两列喷嘴9，但是，并不限定于此，也可以是一列，还可以增加列数。如图4所示，头移动机构3具有三个离合器10、 11、 12以及轴 13、 14、 15和驱动力传递箱35。离合器10是解除头1向轴13的连结 的部件，通过使离合器10为ON，能够使头在X轴方向移动。离合器 11是用于解除轴14和头1的连结的部件，通过使离合器11为ON， 使头1在Y轴方向移动。离合器12是解除头1向轴1的连结的部件， 通过使离合器12为ON，能够用于使头l在0方旋转。各轴13、 14、 15通过内置在连结部16的头驱动用马达旋转。因此，通过使各离合 器为ON/OFF，可以选择各安装托架以及安装在该托架上的头，在 X-YW方向^f壬意地移动。如前面所说明的那样，移动框架2借助移动台17设置在直线轨道 18上，移动框架2具有相对于移动台17用于在垂直方向上下移动的 驱动机构，和沿直线轨道18在前后方向移动的驱动机构。另外，设置用于观测各头1的喷嘴的状态，检测各喷嘴的阻塞， 进行喷嘴的清扫、头的更换的喷嘴照相机6。再有，设置用于观测从 喷嘴排出的液滴的飞翔状态的飞溅液滴检查照相机7。图5表示喷嘴 照相机的观测状况，图6表示多个头的排出口的配置状态。使用喷嘴 照相机观测到的结果、至此为止的喷嘴的使用来历等，通过未图示出 的控制部进行是应该清扫，还是应该更换头的判断，进行以该判断结 果为基础的处理。上述的喷嘴照相机6以及飞溅液滴检查照相机7在左右方向能够 移动地被设置于在基板台20的前方侧设置的同轴的移动轨道19上。 首先，在移动框架2上升了的(各头在上方的)状态下，移动框架2 沿直线轨道18移动，使设置在移动框架2上的头1的喷嘴位置成为喷 嘴照相机6的位置(移动轨道位置)。接着，通过使喷嘴照相机6移 动到所观测的头1的喷嘴的位置，能够从下侧观测各头1的喷嘴的状 态。另外，飞溅液滴检查照相机7向能够观测从各头射出的飞賊液滴 的位置移动，瞄准飞溅液滴， 一面与喷嘴面平行移动， 一面进行飞賊 液滴的观测。通过观测该飞'溅液滴，能够预测头1的偏差喷嘴9的阻塞等，同时，能够作为用于头1的驱动控制的信息使用而构成。在该飞溅液滴的观测时，如有可能，通过真空吸附等，在基板台20上设置 调整用基板2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨装置，其特征在于，在具有将多个喷嘴二维地直线状配置数列的喷墨头和能够设置多个上述喷墨头的移动框架以及能够设置各种基板的基板台的框架移动型液材料涂布装置中，　具有用于设置上述喷墨头的安装托架和具有在ＸＹθ方向任意驱动上述安装托架 的功能的头移动机构以及用于观测各部分的状态的照相机。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：水鸟量介，山本英明，片田一哉，德安良纪，渡濑直树，中村秀男，引地圭，
申请(专利权)人：株式会社日立工业设备技术，
类型：发明
国别省市：JP[日本]